De Nederlandse overheid breidt haar exportmaatregelen op geavanceerde chipproductieapparatuur uit. Die nieuwe regels zijn gericht op enkele duv-machines van ASML. De fabrikant moet voor meer machines toestemming vragen voor export buiten de EU.
Minister Klever van Economische Zaken bevestigt dat de exportcontroles voor geavanceerde halfgeleiderapparatuur vanaf zaterdag 7 september worden uitgebreid. Met de wijziging ligt het Nederlandse beleid nu in lijn met de Amerikaanse exportregels. Deze wijzigingen vereisen dat chipmachinemakers eerst een vergunning aanvragen bij de Nederlandse overheid voordat ze bepaalde apparatuur mogen leveren aan landen buiten de Europese Unie. Voorheen moest dat bij de regering van de Verenigde Staten.
Minister Klever zegt de beslissing te hebben genomen uit veiligheidsoverwegingen. "We zien dat door technologische ontwikkelingen er meer veiligheidsrisico’s zijn bij de export van deze specifieke productieapparatuur, zeker in de huidige geopolitieke context." De Rijksoverheid schrijft dat geavanceerde chiptechnieken bijvoorbeeld kunnen worden gebruikt in militaire toepassingen. "Ongecontroleerde export van de productieapparatuur heeft dus gevolgen voor Nederlandse veiligheidsbelangen."
De precieze beleidswijzigingen zijn gepubliceerd in de Staatscourant. Er gelden vanaf zaterdag extra maatregelen voor lithografiemachines die aan drie eisen voldoen. Zo moet de golflengte van de lichtbron 193nm of hoger zijn, moet de minimum resolvable feature size 45nm of minder zijn en moet de dedicated chuck overlay tussen de 1,5 en 2,4nm liggen. In de praktijk komt dat neer op een aantal immersielithografiemachines van ASML.
De Veldhovense chipmachinefabrikant bevestigt in een statement dat de nieuwe exportregels van toepassing zijn op twee machines. Het betreffen de TwinScan NXT:1970i en 1980i. Er waren al exportregels van toepassing op de geavanceerdere NXT:2000i en nieuwer en ASML's euv-apparatuur; daar komt geen verandering in. Voor lager gepositioneerde machines, zoals duv-lithografiemachines die geen gebruik maken van immersietechnieken, gelden nu geen restricties.
Het Nederlandse exportbeleid volgt op de Verenigde Staten, die in oktober 2022 vergaande exportbeperkingen oplegden voor geavanceerde chips en chipproductieapparatuur naar China. Het land wilde daarmee China's vorderingen op militair en AI-gebied hinderen. Vorig jaar volgden ook Nederland en Japan met beperkingen op de export van geavanceerde halfgeleiderapparatuur. Het kabinet benadrukt overigens dat er geen formeel exportverbod is. Als een bedrijf gecontroleerde apparatuur wil leveren aan een land buiten de EU, dan zal de overheid per geval bepalen of daar toestemming voor wordt gegeven.