DigiTimes: TSMC wil ASML's high-NA-euv-machines gebruiken voor A14P-node

TSMC wil mogelijk gebruikmaken van ASML's volgende generatie euv-machines voor een A14P-procedé. Dat claimt de Taiwanese krant DigiTimes. De massaproductie moet in 2028 beginnen. TSMC werkt ook aan een 'gewone' A14-node, die nog gebruikmaakt van een ouder euv-systeem.

DigiTimes claimt dat de massaproductie van de A14-node, ook wel '1,4nm', ten vroegste in het derde kwartaal van 2027 begint. Er zal hierbij naar verluidt nog steeds gebruik worden gemaakt van het NXE:3800E-euv-systeem. Een verbeterde versie van dat procedé, genaamd A14P, moet een jaar later uitkomen. Die node zou gebruikmaken van de verbeterde high-NA-euv-machines. Bij het daarop volgende A10-procedé moet het gebruik van high-NA verder worden uitgebreid, stelt DigiTimes.

TSMC heeft tot op heden geen officiële aankondigingen gedaan over het gebruik van high-NA-systemen. De chipmaker kondigde eerder dit jaar een A16-procedé aan, wat zou neerkomen op '1,6nm'. Het bedrijf bevestigde daarbij stellig dat het voor dat procedé geen high-NA-euv zal gebruiken. Het deelde toen nog geen concrete details over zijn komende A14-procedé.

Eerder dit jaar maakte Intel bekend als eerste fabrikant aan de slag te gaan met de high-NA-euv-machines voor zijn 14A-procedé. Die chipmaker ontving vorig jaar ook het eerste high-NA-testsysteem. Ook TSMC, Samsung, Micron en SK hynix hebben volgens ASML inmiddels high-NA-euv-lithografiesystemen besteld. Hoeveel bestellingen voor high-NA-machines de chipmachinemaker heeft ontvangen, wilde het bedrijf eerder dit jaar niet zeggen. Het gaat volgens de fabrikant om een 'tweecijferig' aantal.

High-NA is de nieuwste generatie van de euv-technologie van ASML. De machines hebben een grotere numerieke apertuur: 0,55 in plaats van 0,33. Daardoor zijn ze in staat om kleinere 'features' op een wafer af te beelden. De resolutie zou in theorie 8nm bevatten. Die resolutie duidt op de omvang van het kleinst mogelijke detail dat geprint kan worden met een lithografiemachine. Dat betekent overigens niet dat de machines gebruikt zullen worden voor 8nm-procedés. De huidige euv-machines van ASML hebben bijvoorbeeld een resolutie van 13nm. Die machines worden, ondanks die resolutie, onder andere gebruikt voor de 7nm-, 5nm- en 3nm-chips van TSMC. Samsung gebruikt euv ook sinds zijn 7nm-procedés en Intel zette euv voor het eerst in voor de Intel 4-node.

ASML EXE:5000 high-NA-euv
ASML's EXE:5000-machine voor high-NA-euv. Bron: ASML

Door Sabine Schults

Redacteur

29-07-2024 • 16:32

86

Lees meer

Reacties (86)

86
82
35
7
0
31
Wijzig sortering
Het wordt tijd dat andere bedrijven eindelijk met dit soort machines op de proppen komen zodat niet een enkel bedrijf (ASML) het monopolie heeft. Concurrentie zal de markt goed doen.
Canon is net bezig om met nano imprint lithografie een concurrerende technologie neer te zetten. Zie oa https://www.canon-europe.com/view/nanoimprint-lithography/. Deze technologie moet nog wel volwassen worden.
Daar zijn de chinezen hard mee bezig, maar zodra ze zover zijn zal het waarschijnlijk alleen voor de chinese markt gebruikt worden, want die is groot zat. Zoniet, dan is dat zeker een probleem voor ASML, want die zullen een stuk duurder zijn.
Bron voor wat? Het is een feit dat China bezig is met het ontwikkelen van hun eigen machines, juist vanwege de sancties die de hypocriete VS hebben opgelegd.
Hoe lang het zal duren weet niemand, maar dat ze hun eigen machines gaan hebben zal zeker gebeuren. De chinezen zijn verre van dom, ze zijn veel beter dan de amerikanen in het gebruiken/implementeren van nieuwe technologieen, en DAT is dus de grootste reden waarom de VS die sancties oplegt, in de hoop dat het een tijdje hun voorsprong beperkt.
Aha, “het is een feit” ja zo lust ik er nog wel eentje. Ik geloof ook best dat er buiten Veldhoven gekeken wordt naar technieken om hoogwaardige chips in volume mee te kunnen produceren. Dat zijn bedrijfsgeheimen die mensen hier op Tweakers niet zullen delen of ze bij Nikon, Canon, ASML of welk bedrijf dan ook werken zullen delen. Voorlopig is het een feit dat de machine van ASML het op dit moment het beste doet qua nauwkeurigheid in resolutie en overlay en dat er met die machines de ‘beste’ chips mee geproduceerd kunnen worden.
Ik ontken ook niet dat op dit moment ASML de koploper/topper is, maar juist door sancties als wat de VS uithaalt zal het er alleen maar voor zorgen dat China nog meer geld gaat investeren om zelf dat soort machines te ontwikkelen/bouwen. En het mooie is dat dat mogelijk juist weer tot extra innovatie leidt omdat men weer opnieuw zaken moet bedenken.
En we moeten niet net doen alsof ASML niet ook voor miljarden subsidies krijgt.
Begin eens te lezen bij de uitgebreide artikelen die Tweakers over ASML heeft geschreven. Of kijk eens naar deze YouTube-video, waarin Asianometry op een documentaire-achtige manier uitlegt hoe ASML de race naar EUV won en alle concurrenten afhaakten.
Die chinezen bakken anders gewoon op ASML machines. Af en toe er een berichtje uitgooien dat ze het geheim van ASML hebben gekraakt en iedereen gaat weer los.
Ja, ze gebruiken nu misschien nog veel ASML machines, maar inmiddels ook eigen machines, die nog niet zo geavanceerd zijn, maar dat gaat daar hard. Heeft weinig met geheim en kraken te maken, maar gewoon met de algehele kennis en ontwikkeling, het is niet alsof hun kennis stil staat, zoals het bekende gezegde al aangeeft, er zijn meerdere wegen die naar Rome leiden. Kijk ook bv naar het Japanse Cannon, die ook met hun eigen geavanceerde machines komen.
Noem ‘de Chinezen’ eens bij naam. Er zijn maar twee andere bedrijven dan ASML die ook maar enigszins in de buurt komen met wat ze technisch kunnen: Canon en Nikon (allebei uit Japan). Deze bedrijven hebben allebei al zo’n 15 jaar geleden besloten geen EUV-machines te ontwikkelen, omdat dat een investering van vele miljarden euro’s zou vragen zonder enige garantie op succes.

Er is simpelweg geen enkel Chinees bedrijf dat in de komende tien jaar EUV-techniek zal weten te vertalen naar een productierijpe machine. Zelfs als ze de tientallen miljarden die ASML erin heeft geïnvesteerd weten op te hoesten, dan nog ontbreken vele andere cruciale schakels: extreem gespecialiseerde toeleveranciers (die zich exclusief aan ASML hebben gebonden), de technische know-how en niet te vergeten de factor tijd – een achterstand van vele jaren haal je niet ‘even’ in.
Dat is nu eens een top rationeel comment van iemand die inzicht heeft in situatie van ASML. Een bedrijf dat ik op voet volgen en waarvan ik begin verleden jaar aandelen gekocht heb? Verkopen omdat ze gedaald zijn? No way. Eerder bijkopen 👍👋
Ik denk dat we Huawei niet moeten onderschatten, ze hebben al mensen bij asml en tsmc weggekaapt, door staatssteun is geld ook niet het probleem. Ze hoeven in princiepe ook niet het wiel uit te vinden, enkel schaamteloos te kopieren wat asml zeiss en hun euv bron tak uit america nu al werkend gekregen hebben
Zelfs dat 'schaamteloos kopiëren', als in reverse engineren, is een even grote uitdaging als iets opnieuw ontwikkelen. Ze hebben in China wel eens een machine van ASML uit elkaar gehaald en opnieuw in elkaar gezet. Resultaat: ze kregen em niet meer aan de praat.

Het is bijna ondoenlijk als je niet precies weet hoe, waarom en waarvan een onderdeel gemaakt is en hoe dit in het grotere geheel wordt ingezet. Vergis je niet, er komt een partij kennis bij kijken op vele technische, optische en chemische gebieden om de huidige EUV machines productie waardig te maken. De ontwikkeling begon ruim 20 jaar geleden en ze zijn nog steeds niet uitontwikkeld.
Tenzij je al jaren aan een nieuwe, voor de westerse wereld, onbekende techniek aan het werken bent of b.v. ion-beam in volume productie rendabel hebt weten te maken. Er zijn meer technieken dan alleen DUV/EUV om hoogwaardige chips mee te produceren.
Er zijn nog twee andere leveranciers van wafer steppers: Nikon en Canon. Echter hebben deze besloten om niet met EUV te beginnen vanwege de (extreem) hoge kosten, voor zover ik weet. Dit was ~15 jaar (?) geleden al toen men besloot dat er een opvolger voor DUV moest komen.
Naast Canon en Nikon is er ook nog SMEE die op deze markt probeert te komen: https://www.scmp.com/tech...advanced-asml-lithography
High-end chips gebruiken EUV maar de meeste chips zijn geen high-end dus die kunnen gemaakt worden zonder EUV. Dat zou dus straks mogelijk ook met apparatuur van SMEE kunnen gebeuren. En dan is de vraag of SMEE ooit een gooi naar EUV gaat doen. Aangezien ze deze apparatuur mogelijk niet (buiten China) verkopen waardoor ze volgens mij geen EUV-patenten schenden. De bestaande 'low-end' markt is door deze concurrentie een competitievere markt dan EUV.

De technologie van Canon, nanoimprint, moet zich nog bewijzen. EUV is nu al een tijdje op de markt en heeft zich al bewezen. Mocht Canon nanoimprint goed werkend krijgen zou het een goede toevoeging op de EUV markt kunnen worden.
Aangezien ze deze apparatuur mogelijk niet (buiten China) verkopen waardoor ze volgens mij geen EUV-patenten schenden.
Dat zal ze toch de nodige problemen op kunnen leveren. Ook in China kennen ze patenten, al wordt daar voor Chinese bedrijven flexibel mee omgegaan. Wanneer ASML denkt dat hun patenten geschonden worden, kunnen ze de verkoop van hun eigen machines naar China stopzetten (de machines die ze nog wel naar China mogen exporteren) en buiten China een verkoopverbod eisen van alle apparatuur waar de chips in verwerkt zijn die met het Chinese EUV-proces gemaakt zijn.
Asl ASML dat wilt stopt die machine op elk moment, want de EUV machine draait alleen met een online connectie... er moet software op de achtergrond draaien Chine heeft al eerder geprobeerd om een door hen bestelde tool uit elkaar te halen en te dupliceren, Maar daarna heeft deze nooit meer gewerkt
Dat zal met de huidige generatie vermoed ik niet anders zijn.
Los van de extra aangebrachte safety plc's die de boel in de gaten houden.
Hopelijk niet, want dan verliest niet alleen Nederland, maar heel EU, hun enige waardevolle technologische voorsprong. Gelukkig is wat ASML doet zo ingewikkeld dat ze lopen tien jaar vooruit.
Is dit niet hetzelfde probleem als met NVidia? Namelijk: Zelfs áls je het al ontwikkelt mág je het niet de markt op brengen vanwege patenten.
Dat kan . Er zijn nl geen beperkingen, hooguit voor China. Maar het probleem is vaak geld !
Wat denk je dat zon machine kost, Los van de in te nemen vloer oppervlakte en benodigde infra ?
Vergete niet dat deze machine de meest in effeciente lamp nodig heeft, waar enorm veel (laser) vermogen in gaat, om er echt effectief wat euv licht uit te krijgen....
Wie het geld heeft besteld er een... Moet je denk ik wel tig millioen € voor op tafel leggen en achteraan in de rij aansluiten...want er zijn meer gegadigden
€350 miljoen. De "lamp" is een systeem van lasers en spiegels die 50.000 keer per seconde een druppel gesmolten tin verdampen.
In our laser-produced plasma (LPP) source, molten tin droplets of around 25 microns in diameter are ejected from a generator at 70 meters per second. As they fall, the droplets are hit first by a low-intensity laser pulse that flattens them into a pancake shape. Then a more powerful laser pulse vaporizes the flattened droplet to create a plasma that emits EUV light. To produce enough light to manufacture microchips, this process is repeated 50,000 times every second.
Bijna niet te bevatten, die afbeelding. Alsof je een genAI engine vraagt om een mysterieuze, complexe machine te renderen!
Dus eigenlijk kan die machine zichzelf maken.
Nee verre van. De machines van ASML zijn een soort diaprojectors. Ze projecteren een masterpatroon in een fotogevoelige laag die op de wafer ligt. Zo'n wafer met fotogevoelige laag is vergelijkbaar met een filmrolletje. ASML bouwt alleen de body en de lens. De chipbakker moet zelf met het masterpatroon en de filmrolletjes komen. Dan zorgt de machine van ASML ervoor dat het patroon met de juiste focus op de juiste positie komt, en dat het rolletje zo snel mogelijk vol wordt geschoten zodat hij de machine uit kan en ontwikkeld kan worden.
Nee (ben ook een voormalige ASML'er)

DUV systemen => verkleinende Lens (193nm)

EUV systemen => speciale Bragg spiegels.(13.5nm)

Het optisch systeem van een DUV is anders dan van een EUV.
Zowel machines met EUV als DUV hebben een lens. EUV heeft reflectieve lenselementen, DUV (vooral) transmissieve lenselementen. Dat wil zeggen dat een lens voor EUV bestaat uit alleen maar spiegels met inderdaad een Bragg coating wat jij ook aangeeft. Optisch gezien is het echter gewoon een lens, ook al wordt het binnen EUV vaak niet zo genoemd. Het creëert namelijk gewoon een beeld van een object (reticle/masker), net zoals in DUV of i-line.
Fout !
EUV machines hebben geen enkele lens !. Het EUV licht wordt nl geadsobeerd door het glas, hoe rein het ook is. EUV machines hebben alleen een aantal spiegels... Zelfs bij de refelectie van EUV licht gaat er vermogen verloren, daarom zit alles in het vacuum en is er een H2 omgeving die de boel schoonhoud
Volgens mij heb je mijn reactie niet goed gelezen. Optisch gezien is alles wat een object transformeert tot een beeld een lens. Het maakt niet uit wat voor lenselementen erin zitten. Het feit dat er louter spiegelende lenselementen (spiegels) in de lens zitten maakt hier niet uit. Misschien goed om deze video te kijken, daar krijg je wat meer context. YouTube: Imaging at ASML
Het is een definitieprobleem. Een lens is een optisch systeem dat een beeld projecteert van een object. Een lens bestaat vaak uit meerdere lenselementen. Die elementen kunnen zowel transmissief als reflectief zijn. Dat betekent dat een lens die volledig uit spiegels bestaat, ook gewoon optisch een lens is. De POB (zoals hij vaak bij EUV) genoemd wordt, is technisch dus gewoon een lens, ookal zitten er alleen maar spiegels in. Zo zie je ook dat er in patenten van Zeiss ook gewoon wordt gesproken over een projectielens https://patents.google.com/patent/WO2014075917A1/pt.
Misschien goed om mijn reacties nog een keer aandachtig te lezen. Dan zal je zien dat ik je niet tegenspreek.

EUV heeft inderdaad spiegels nodig, transmissieve lenselementen (wat jij volgens mij verward met de optische term 'lens') werken niet bij 13.5 nm, omdat de absorptie te hoog is. Vandaar dat je naar spiegels met Bragg reflectors moet. Die multilagen van molybdeen en silicium hebben als één van de weinige (maar niet de enige) materiaal combinaties een theoretische reflectie van 70%.

In de optische theorie worden spiegels reflectieve lenselementen genoemd. Met die lenselementen kan je ook gewoon een lens bouwen. Hubble heeft een lens, JWST heeft een lens, ondanks dat er geen glas ik zit waar het licht doorheen valt. Op dezelfde wijze is de POB in een NXE optisch gezien ook gewoon een lens.

Je kan zelfs combinaties maken. Zo zijn er ook lensontwerpem voor ArF immersie waar (onder andere) ook spiegels in zitten: https://media.springernat...5_0_En_7-1_Fig11_HTML.png.
Spiegels zijn heel iets anders dan lenzen.

En ASML heeft ook het "reticle" moeten aanpassen van "transmissive" (soort glas)
naar "reflective multilayer" (soort spiegel)
Spiegels zijn heel iets anders dan lenzen.
In de volksmond: ja. Vanuit optisch oogpunt: nee. Maar dat heb ik hierboven meermaals uitgelegd. Ik raad je aan om dat nog eens goed door te lezen.

Tip: kijk eens naar mijn avatar, google Source Mask Optimization en sla mijn profiel erop na. ;)
SMO is belangrijk voor de werking van de EUV, maar verklaard niet het gebruik van spiegels in de EUV.

En SMO is een "onderdeel" van de EUV
De jongste video's die ik hierover vind, zijn 11 jaar oud. Hoe is dit relevant?

En EUV gebruikt speciale vlakke SPIEGELS (Braggs)

SMO video's:


YouTube: Rigorous EUV OPC and Source Optimization

YouTube: HyperLith Tutorial: EUV Mask Inspection at 193nm

YouTube: HyperLith Tutorial #7- Customizing the mask technology to simulate q...

YouTube: Tricks in Lithography : Part 2 (OPC, PSM, Off Axis Illumination)

En nog steeds niet duidelijk gemaakt waar een EUV lenzen gebruikt?

[Reactie gewijzigd door obimk1 op 30 juli 2024 16:40]

Het punt dat Blokmeister probeert te maken, is dat 'lens' een bredere definitie heeft dan die in de klassieke optica. In ieder proces waarbij je straling (fotonen, electronen, andere deeltjes) probeert te focussen, wordt er gebruik gemaakt van lenzen. Voor klassieke optica is dat een glazen object, maar als je bijvoorbeelt je electronen in een electronenmicroscoop wilt focussen, dan gebruik je daar magneten voor. Toch spreek je nog steeds van een lens.

Een ander voorbeeld is een zwaartekrachtlens. Ook hier wordt het woord 'lens' gebruikt omdat er iets wordt gefocust, maar toch komt er geen klassieke glazen lens aan te pas.

Een laatste voorbeeld is in de röntgenoptica. Ook Röntgenstraling laat zich niet door klassieke lenzen sturen, maar als je met voldoende spiegels toch een gefocuste straal kunt maken, kun je nog steeds spreken van een lens.

Zo ook met EUV: je focust met spiegels omdat klassieke glazen lensen deze niet kunnen focussen, maar toch kan je het in vaktermen nog steeds over een lens hebben.
Dubbel.

[Reactie gewijzigd door Pe Nis op 29 juli 2024 21:11]

Wooosh. Ja dank voor de uitleg :|
Graag gedaan! Misschien leuk om toe te voegen hoe snel deze machine dat doet. Een standaard 3800 heeft grofweg een pixel grootte van 10 nanometer. Een standaardlithografieveld is 26mm, 32mm. Dat zijn 2,6 miljoen pixels bij 3,2 miljoen pixels. Ofwel 10 terapixel per veld. Een wafer heeft rond de 100 veldjes (dus een rolletje met 100 foto's). Dus 100x10 terapixel = 1 petapixel per wafer. Een machine doet daar ongeveer 20 seconden over. Dat betekent dat er grofweg 50 terapixel (50 biljoen, dus 50 duizend miljard pixels) per seconde worden geprint.

Als je dan wil weten hieveel pixels per seconde je krijgt per euro, delen we door grofweg 200 miljoen euro. Dan kom je neer op 250.000 pixels per seconde per euro. Vergeleken met welke printer dan ook, is het echt een koopje.

[Reactie gewijzigd door Blokmeister op 31 juli 2024 11:29]

U zit er een factor 1000 naast.
1000 Terapixel == 1 Petapixel.
https://en.wikipedia.org/wiki/Metric_prefix
Oeps! Je hebt natuurlijk gelijk! Dankje! De rekensom klopt verder wel gewoon als je petapixel leest in plaats van exapixel.
Anoniem: 78739 @yinx8429 juli 2024 18:43
Idd, die hoort zeker thuis in het lijstje van de quantum computer, ITER tokamak, CERN deeltjesversneller en James Webb telescoop. Allemaal machines waarvan de makers elk slechts een klein deel begrijpen.
Je mist hier een cruciaal verschil. De machines die jij noemt zijn unieke apparaten waarvan er maar één gebouwd is. De machines van ASML zijn bedoelt voor 'massa'-productie, dus om er veel van te bouwen. Dat maakt het nog indrukwekkender.
Ik wilde niet het aantal, maar de complexiteit vergelijken. Anderzijds geldt ook: als je er eentje kan bouwen, kan je er ook meerdere bouwen, als het rendabel is en als er vraag naar is.
Dat is niet helemaal waar. Voor JWST hoef je geen geïndustrialiseerde procedures te hebben waarin staat hoe je de verschillende lagen van het hitteschild moet monteren. Je kan gewoon de expert erbij halen en het één keer doen. Bij de machines van ASML moet er zo'n productielijn zijn dat Kevin die vijf weken geleden begonnen is, ook de lenskap juist op de lens kan schroeven met het juiste moment.

De complexiteit zit niet alleen in de machine, maar ook de productielijn eromheen. Er zijn hele afdelingen die ervoor zorgen dat het geen houtje-touwtje apparaat is waarbij de ontwikkelingsafdeling bij elke poep of scheet de ene module aan de andere moet Macguiveren. Het is relatief makkelijk om één auto te produceren, maar om een productielijn te maken waar elke paar minuten een nieuwe auto uit komt rollen is andere koek.

Daarmee wil ik niet zeggen dat de machines van ASML niet complex zijn. Nee, verre van. maar die complexiteit houdt niet op bij de machine zelf, die gaat veel en veel dieper.
Eens! Toen ik de foto zag was het echt een 'holy-shit' moment. Wat een beest van een machine.

Ik weet dat het wat off-topic is dus ik mag ge-nulled worden. Maar ik moet zeggen dat ik wel onder de indruk ben.
Ik heb er naast gestaan in de cleanroom, dat is pas een ervaring :) Veel meer dan "absurd" kwam er bij mij niet meer uit.
Ik sta elke dag naast die machines, EUV EN High -NA.
Indrukwekkend staaltje van oa Nl techniek...
Mooi weetje: De grootste verbetering van de NXE:3800E tegenover de vorige generatie = snelheid. Tot meer dan 200 wafers per uur. bron

De afgelopen jaren worden chips duurder omdat het procedé duurder en trager wordt. De NXE:3800E kan fijner 'printen' en is tegelijk sneller want kosten per chip zou moeten dalen.

Ik blijft het 'absurd' vinden dat wij in Europa geen bedrijf zoals TSMC of zelfs gelikaardig aan AMD of Intel die ARM chips maakt voor PC, smartphones, AI, auto's etc. Op ARM kan je een licentie nemen en de machines worden hier gemaakt. De basis ligt er dus.

Ik vermoed dat de opstartkosten zo gigantisch zijn dat er gewoon geen geld is in Europa om zoiets te starten en dat de running kosten hoger zijn omdat energie en grond hier duurder is.

[Reactie gewijzigd door Coolstart op 29 juli 2024 17:12]

En weer laat TSMC zien dat ze slimmer zijn dan Intel. Door dat de High Na een halve die size heeft van de Low NA machines Krijg je een Throughput vermindering kado want je moet 2 maal zo veel 180 graden bochten maken. Door Low NA uit te melken houden ze daar de kosten lager als bij Intel
Je doet het overkomen alsof high NA EUV slechter is dan low NA EUV vanwege de throughput. Terwijl onder de streep het gewoon de weg voorwaarts is, anders zou TSMC niet ook over gaan, zij het later dan Intel (volgens de planning)

Intel heeft de keuze; proberen TSMC bij te benen op low NA, terwijl ze daar jaren op achter lopen, of zsm naar high NA te gaan waar TSMC evengoed nog geen productie-kennis op heeft. Leveling the playing field zoals ze dat noemen.

Wat de juiste keuze is voor Intel weet ik niet, maar wat ik wel weet is dat je argument van throughput niet kan beslissen welke de juiste keuze gaat blijken.

[Reactie gewijzigd door A Lurker op 29 juli 2024 18:45]

als je de zelfde node kunt doen op Low en High NA zal Low NA altijd goekdoper zijn.
Niet waar. Het is altijd een kostenkwestie. Bij kleinere nodes worden de features steeds kleiner, wat zorgt voor een lager contrast van je plaatje. Lager contrast gaat bijna altijd gepaard met een hogere dosis en een bijbehorend lagere throughput. Bij high-NA kan je dat contrast weer opkrikken, de dosis omlaag brengen en een hogere throughput bereiken. Het kan zomaar zijn dat dezelfde laag daarmee goedkoper wordt op high-NA dan op low-NA.

[Reactie gewijzigd door Blokmeister op 29 juli 2024 22:37]

Niet alleen dat, maar ook de dichtheid van "random" patronen. Voor bepaalde lagen zal je met Low-NA eerder naar double patterning moeten dan met High-NA, en dat gaat uiteindelijk natuurlijk oplopen qua kosten als je 2-3-4 belichten moet doen ipv 1, ookal is die 1e belichting opzichzelf duurder.
Random via hoeft niet perse voor ultieme resolutie. Het is eerder dat je tegen de contrastgrens aanloopt als je alle pitches tegelijk wil printen.
Gelukkig blijven we niet hangen op die node en kan Intel (mogelijk) profiteren van zsm in high NA investeren om hun vervolgnodes weer beter te kunnen ontwikkelen. Waarbij je simpelweg kleinere nodes kunt bereiken met high NA dan met low NA.

Dát is de gedachte erachter bij Intel, niet dat ze hun eerste node daarop meteen goedkoper kunnen produceren.

Wederom, ik weet niet wat de beste keus gaat zijn, maar de strategie van Intel om low NA zo snel mogelijk achter zich te laten is een gegronde keuze.

[Reactie gewijzigd door A Lurker op 29 juli 2024 23:49]

TSMC komt naar Dresden (samenwerking met Bosch en NXP). Toegeven dat ze 16/12nm finfets gaan maken dus ik verwacht dat daar geen EUV voor nodig is. Maar het begin is er en wellicht dat ze in de toekomst gaan uitbreiden met EUV.

Bron: https://pr.tsmc.com/english/news/3049
Werken in een fab is geen pretje. Ploegendienst en altijd een pak aan, daarnaast werk je met gevaarlijke stoffen, gassen en vloeistoffen als er iets misgaat is dat slecht voor je gezondheid. Een leidinggevende functie is veel stress want een stilstaande machine kost veel geld heb je gelijk een VP aan je oor die wil weten wanneer er weer gedraaid wordt. Kosten van levensonderhoud en belasting is in azie veel lager, dus ben je al snel te duur.
Probeer in Europa maar eens hoogopgeleiden te vinden die nachtdiensten draaien voor minder dan 100k per jaar. In Europa werken we om te leven in plaats van andersom, en groot geld verdienen als werknemer is hier bijna onmogelijk, of überhaupt het waard met alle belastingen.

Daarnaast is hier een bedrijf beginnen nauwelijks mogelijk, investeurs zullen nooit groot geld terugverdienen uit een investering in een Europees bedrijf tov een Amerikaans bedrijf, en probeer hier maar eens 2 vierkante meter iets abnormaals te bouwen zonder dat er 400 buurtbewoners meerdere campagnes gaan voeren om het maar niet in "onze buurt" te hebben. 4 jaar aan gemeentelijke bureaucratie + 20 miljoen aan buurtbewoners afkopen later en je kan met de bouw beginnen... Oh wacht natuurlijk niet want aan de stikstof analyses te zien hebben we nu even geen ruimte voor het starten van een nieuw bouwproject. Ohja waterschap zit ook al vol en elektriciteitsnet is al overbelast dus je mag achteraan aansluiten in de 5 jaar lange wachtrij voor een nieuwe aansluiting.

Op lange termijn ga ik niet in Nederland of de EU blijven, we zijn helemaal vastgeroest in onze eigen systemen en bureaucratie.
Verbazingwekkend dus dat ASML nog steeds hier zit. Volgens jouw verhaal zou dat dus nooit kunnen...
Dat geld is helemaal niet naar ASML zelf gegaan. Overigens klopt het wel dat het een klein wonder is dat ASML nog niet eerder is weggegaan.
50% van de medewerkers zitten echter al buiten europa, en aangezien ze ook in oa Berlijn zitten zit dus minder dan de helft nog in Nederland. De enige reden dat Veldhoven nog het zwaartepunt is is vanwege de systeemintegratie die nergens anders plaats vindt.
Misschien moet je eens je eigen bronnen lezen voordat je ze met zulke overtuiging plaatst. Want het geld gaat naar opleiding, huisvesting, infrastructuur en dat soort zaken. ASML krijgt helemaal geen zak geld cadeau van de overheid.

Overigens zouden we dat soort investeringen met een grotere regelmaat moeten gaan doen. Pretenderen, en dat ook echt uitdragen, een kennis economie te zijn en vervolgens daar niet in investeren is wel echt heel dom, zeker voor een "kenniseconomie"...
Zo werkt het niet:

Elke ASML'er zorgt voor 3 tot 4 banen in Eindhoven regio.

ASML krijgt geen Miljarden aan geld "gratis"

Beschouw dit als een investering. (bv huisvesting)
Op lange termijn ga ik niet in Nederland of de EU blijven, we zijn helemaal vastgeroest in onze eigen systemen en bureaucratie.
Dus je zoekt je heil liever in een land waar ze ten gunste van een grote fabriek complete woonwijken met de grond gelijk maken, om daarna de omliggende woonwijken te 'plezieren' met giftig afvalwater en smog van een snel gebouwde steenkoolcentrale zonder filters? Dat is waar we in Europa vaandaan komen en waarvan we door schade en schande geleerd hebben dat het niet de meest gunstige en gezonde manier is.
Uiteindelijk komt al onze rijkdom voort uit dergelijke periodes, het leegpompen van Groningen vind niemand nu leuk, maar uiteindelijk is wel onze hele staat ermee opgebouwd, inclusief onze infrastructuur, zorg staat en sociale zekerheid.
Kun je achteraf heel naar vinden, maar zonder hadden we het veel slechter gehad.
Jammergenoeg is er geen gratis lunch, voort wat hoort wat, dat jij dan gelijk denkt dat alles en iedereen ons dood en ziek gaat maken zodra we de middenklasse van hun troon af gaan halen, ja dan klinkt het niet leuk, maar weet wel dat we hier niet zijn gekomen op een "mooie" manier, en we gaan hier ook zeker niet blijven met de "mooie" manier.
Het is me niet duidelijk welk pun je hier wilt maken. Behalve dat wanneer we welvaart willen hebben, we in onze eigen shit ten onder moeten willen gaan.
En jij lijkt graag daar te gaan wonen waar anderen flink bezig zijn om in hun eigen shit ten onder te gaan. Laat me raden, jij ziet jezelf in de rol van eigenaar of opzichter in een fabriek die voor het 'gemak' van de werknemers midden in een woonwijk is gebouwd, terwijl je zelf samen met een aantal andere westerlingen in een omheind stukje paradijs woont? Als de kolonisator nieuwe stijl.
Zie hier de macht van het grote geld. Geld dat wel degelijk bijeen is gebrachte door investeerders zoals TSMC. Intel en veel anderen. Waardoor ASML groot is geworden.
Zo groot dat ze nu hele buurten opkopen voor hun expansiedrift. Dat is macht
EN wanneer ASML een poepje laat loopt de gemeente uit om ze de kont te kuisen
Die chips gaan uiteindelijk allemaal naar China. Wat voor nut heeft het om die fabrieken hier neer te zetten? Ik zie enkel een prestige oogpunt.
Hoe kom je erbij dat ze allemaal naar China gaan? Natuurlijk is er een afzetmarkt in China, maar die is er overal ter wereld. Ik heb zelf ook een smartphone, een laptop en een pc. Als je het over packaging hebt, dat zit inderdaad ook in China, maar dat zit ook elders.

De reden om hier ook fabs neer te zetten is vooral omdat wij in Europa ook graag productiecapaciteit willen, zodat we minder afhankelijk zijn van andere landen en/of geopolitieke spanningen.
Waarin een klein landje groot in kan zijn.
Hoewel ASML hun origine in Nederland heeft, is het verre van een "Nederlands" bedrijf, maar meer een voorbeeld van hoe internationale samenwerking immens nuttig kan zijn. ASML is aangesloten op diverse universiteiten, en werft vanuit de hele wereld "de beste" mensen, niet alleen voor in Nederland (die regio zit vol met ASML-expats), maar ook in de hele toelever keten door de wereld heen. Elk apparaat is immers zelf ook weer opgebouwd uit diverse andere apparaten.

In totaal werken op meer dan 60 locaties er zo'n 42000 mensen voor ASML direct, en de internationale toeleverketen is vele malen groter. Het is een mooi voorbeeld van hoe Nederland een onderdeel is van een grote, internationale gemeenschap, en sterker nog: dit soort bedrijven zijn haast een "kijk eens wat de mensheid in zijn geheel kan doen" (als je de grenzen wegdenkt).
Hoewel het echt ene multinational is, zit het hoofdkantoor en de productiecapaciteit van de core business wel in Veldhoven.

Dit slechts ter nuance, want wat je zegt klopt wel degelijk.
VOC had een internationaal character en toch blijft het Nederlands. Intel liet destijds een nieuwe generatie cpu’s in Israel ontwerpen. Blijft toch een Amerikaans bedrijf.
ASML zal hier ook een killswitch op hebben gezet.

https://www.datacenterdyn...na-invades-taiwan-report/
In ander nieuws: water is nat en gras heeft wortels. Als je een datacenter hebt waar Netflix hun servers in zet, dan kan Netflix die ook remote uitzetten. Dat is niet persé bijzonder of nieuwswaardig.

Een beetje flauw natuurlijk. Maar zelfs zonder killswitch duurt het niet lang voordat er een klein dingetje misgaat waar een servicemonteur voor nodig is. Bij de meest ingewikkelde machines ter wereld kan er heel veel mis gaan. Zonder service van ASML hou je de machines echt niet aan de praat.

[Reactie gewijzigd door Blokmeister op 29 juli 2024 18:29]

Dat is ook zo, alleen al door het verhuizen kan deze complexe machine al stil komen te liggen. Maar met de Killsewitch (grotendeels SW en ook wat HW) heb je meteen zekerheid.

Zonder SW en zonder bepaalde HW krijg je deze machines NOOIT aam het werk.

[Reactie gewijzigd door obimk1 op 29 juli 2024 18:36]

Eh, dat verhuizen is toch logisch? Als jij je complete keuken wil verhuizen, dan kan je ondertussen niet je vaatwasser en oven laten draaien. Als je daarna ook niet weet hoe, in welke volgorde en met welk moment alle schroefjes erin moeten, dan krijg je hem ook niet aan de praat.
Kan ook niet anders, want bij de installatie hoort een support team dat bij elke machine meegaat en voor langere tijd support bied. Die hebben de know-how. voor in het veld
TSMC heeft meerdere type nodes en daarvoor gebruiken ze de volgende letters: A, C, E, P en X.
Wat de officiële betekenis is van deze letters heb ik nergens kunnen vinden dus bij deze mijn gok:
A=Automotive
C=Cost-competitive
E=Early Adopter
P=Performance
X=High Performance Computing

TSMC's roadmap gaat normaal met high-end als eerste (voor Apple's flagship CPU's bijvoorbeeld) en nadat deze geen latest-greatest meer is valt deze node terug naar mainstream (bijvoorbeeld mid-/low-end CPU's voor mobieltjes). Bijvoorbeeld: in 2022 kwam TSMC met N4 voor high-end en het jaar erna (2023) met N4P (Performance). In 2024 werd N4P mainstream en in 2025 komt er N4C (een node die iets goedkoper is voor klanten).
Voor A14 lijkt me dat ze de roadmap een vergelijkbare opbouw hebben. Speculatie: Eerst A14 in 2028 als introductie van deze nieuwe node met kort daarna A14P en A14X. Een jaar later mogelijk A14C en wie weet mogelijk A16A. Hoewel ik zou gokken dat dit wat optimistisch is maar TSMC het vrij staat de naamgeving te wijzigen en iets anders A14P kan gaan noemen. Backside-power delivery (SPR) is ook verschoven naar A16 ipv. N2. Dat A14P EUV double patterning zou kunnen vervangen met high-NA klinkt natuurlijk wel erg mooi (wat het A14 proces gaat zijn is mij/op-internet nog niet bekend).

Op dit item kan niet meer gereageerd worden.