Door Daan van Monsjou

Nieuwsredacteur

TSMC Technology Symposium 2023

3nm-updates, 2nm-plannen en nieuwe fabrieken

28-05-2023 • 06:00

49

TSMC Technology Symposium 2023

Op dinsdag 23 mei hield TSMC zijn jaarlijkse Technology Symposium in Amsterdam. Net als voorgaande jaren deelde de Taiwanese chipmaker daar nieuwe details over technieken die het bedrijf in de komende jaren gaat introduceren. Bedrijven als Apple, AMD, Nvidia en Qualcomm zullen die technieken op termijn gebruiken om snellere en zuinigere chips te maken.

Tweakers was aanwezig bij het evenement en hoorde alle details over TSMC's 3nm-nodes en over zijn komende N2-serie, waarvoor TSMC voor het eerst gebruik zal maken van nanosheettransistors. Ook biedt TSMC een kleine blik op de toekomst voorbij de 2nm en gaat het in op zijn overwegingen bij de mogelijke bouw van zijn eerste chipfabriek in Europa.

Bannerfoto: Bloomberg Creative / Getty Images

3nm-update: N3E, N3P en N3X

TSMC begon zijn presentatie met een update over zijn N3-serie, waarvan het bedrijf vorig jaar al de eerste details aankondigde. Deze serie omvat TSMC's laatste procedés op basis van finfets, voordat de chipmaker over een paar jaar de overstap naar gaa-transistors maakt met N2. Het bedrijf introduceerde met die serie tegelijk zijn Finflex-programma, waarmee chipontwerpers de hoeveelheid vinnen in een standaardcel kunnen aanpassen voor hogere prestaties of een lager stroomverbruik. Details daarover zijn te lezen in ons achtergrondverhaal over het TSMC Technology Symposium van vorig jaar.

TSMC begon eind 2022 met de productie van zijn eerste N3-procedé, hoewel die node vooral bedoeld is voor early adopters. Volgens SemiAnalysis gebruikt TSMC euv-lithografie voor 25 N3-lagen, waaronder zelfs enkele lagen met euv-multipatterning, hoewel TSMC dat niet wil bevestigen. Bij multipatterning wordt een enkele laag meermaals belicht met euv om kleinere features te produceren. Euv is op zichzelf al duur en bij multipatterning stijgen de complexiteit en kosten nog verder.

TSMC 2023 Technology Symposium Kevin Zhang
Kevin Zhang, TSMC's senior vice president of business development, tijdens het Technology Symposium 2023 in Amsterdam. Bron: TSMC

Later dit jaar komt TSMC met N3E, waarbij de 'E' staat voor 'Enhanced'. Dat procedé is bedoeld voor een groter publiek. Volgens informatie van SemiAnalysis gebruikt het procedé negentien euv-lagen, waarvan geen met multipatterning. Daarmee moet N3E een versimpelde architectuur bieden met betere yields en goedkopere productie. Daartegenover staat dat de transistordichtheid iets lager is dan bij N3.

Volgens de chipmaker loopt de ontwikkeling van N3E nog altijd op schema. De fabrikant heeft samen met klanten de eerste tape-outs op dat procedé gedaan en volumeproductie begint in de tweede helft van dit jaar. Daarmee verschijnen de eerste N3E-chips waarschijnlijk in 2024 daadwerkelijk op de markt.

TSMC N3, N3E en N5
Node N3 (vs. N5) N3E (vs. N5) N5 (vs. N7)
Snelheidsverbetering
bij gelijk stroomverbruik
+10 tot 15% +18% +15%
Afname verbruik
bij gelijke snelheid
-25 tot -30% -32% -30%
Transistordichtheid Nnb 1,30x Nnb
Begin volumeproductie December 2022 H2 2023 Q2 2020

Na N3E heeft TSMC nog twee nieuwe 3nm-procedés op de roadmap: N3P en N3X. Het bedrijf heeft die nodes vorig jaar al aangekondigd, maar deelt dit jaar meer details. Beide bieden verdere verbeteringen ten opzichte van N3E, maar brengen verschillende voordelen met zich mee.

N3P wordt een 'optische shrink' ten opzichte van N3E, met hogere prestaties en een grotere transistordichtheid. De ontwerpregels van N3P blijven daarmee ongewijzigd ten opzichte van N3E. Klanten kunnen hun bestaande N3E-chipontwerpen daardoor gemakkelijk overhevelen naar N3P voor betere prestaties of een lager stroomverbruik.

TSMC verwacht dat N3P vijf tot tien procent zuiniger is dan N3E bij dezelfde prestaties. Bij hetzelfde stroomverbruik zouden N3P-chips vijf procent beter presteren. De Taiwanese chipmaker rept verder over een transistordichtheid van 1,04x. N3P moet gereed zijn voor volumeproductie in de tweede helft van 2024.

Daarnaast werkt TSMC aan een N3X-procedé. Dat krijgt dezelfde transistordichtheid als N3P, maar krijgt extra optimalisaties voor high-performance computing. Daarmee is die node vooral bedoeld voor hpc-chips voor bijvoorbeeld datacenters en supercomputers. Producten op basis van N3X moeten betere prestaties en hogere kloksnelheden leveren. Volgens TSMC is N3X vijf procent sneller dan N3P bij een drive voltage van 1,2V.

TSMC N3E, N3P en N3X
Node N3E (vs. N5) N3P (vs. N3E) N3X (vs. N3P)
Snelheidsverbetering
bij gelijk stroomverbruik
+18% +5% +5% (bij Fmax op 1,2V)
Afname verbruik
bij gelijke snelheid
-32% -5 tot -10% Hoger stroomverbruik,
geen exact percentage
Transistordichtheid 1,30x 1,04x Zelfde
Begin volumeproductie H2 2023 H2 2024 2025

N2 met nanosheets krijgt hogere dichtheid

TSMC deelde daarnaast meer details over zijn komende N2-procedés, die op de planning staan voor 2025 en verder. N2 wordt TSMC's eerste serie procedés op basis van gate-all-aroundtransistors, ook wel nanosheets genoemd. We gingen vorig jaar al in op TSMC's nanosheettransistors en spraken over datzelfde onderwerp met het Leuvense onderzoeksinstituut imec.

In het kort bestaan gaa-transistors uit kanalen die volledig zijn omsloten door de gate, zoals de naam ook doet vermoeden. Dat moet onder meer leiden tot minder lekstroom ten opzichte van finfetkanalen, die aan drie kanten worden ingekapseld door de gate.

Nanosheettransistors bestaan uit verschillende brede en platte kanaaltjes die bovenop worden geplaatst. Dat is relatief compact, waardoor chipmakers bredere kanalen kunnen maken zonder dat dit ten koste gaat van de transistordichtheid. Dit zorgt er op zijn beurt voor dat er hogere stuurstromen gebruikt kunnen worden, wat de prestaties dan weer ten goede komt. Bovendien zijn de breedtes van nanosheets flexibel; chipmakers kunnen de kanalen ook smaller maken voor een lager stroomverbruik.

TSMC N2 nanosheet
Een TSMC N2-nanosheettransistor

TSMC kondigde vorig jaar al aan dat zijn eerste N2-procedé op de planning staat voor 2025. Het bedrijf benadrukte dinsdag dat die planning ongewijzigd is. Het zegt dat het al meer dan tachtig procent van zijn prestatiedoelen heeft gehaald bij de ontwikkeling van zijn N2-node en noteert momenteel N2-yields van 'meer dan vijftig procent' bij een interne sram-testchip. N2 zou tot vijftien procent sneller zijn dan N3E bij hetzelfde stroomverbruik of tot dertig procent zuiniger bij dezelfde prestaties. De transistordichtheid wordt met N2 opgehoogd met 'meer dan' 1,15x; het bedrijf sprak vorig jaar over een toename van 1,10x.

TSMC wordt niet de eerste chipmaker die nanosheettransistors introduceert. Samsung is vorig jaar al begonnen met de relatief kleinschalige productie van 3nm-chips met dergelijke transistors. Intel introduceert op zijn beurt nanosheettransistors met zijn 20A-procedé, dat volgend jaar in productie gaat. TSMC volgt relatief laat, in 2025, hoewel de fabrikant zegt dat TSMC N2 bij introductie 'de geavanceerdste transistortechniek op de planeet' zal zijn.

TSMC 2023 Technology Symposium N2

TSMC N2 naast N3E
Node N2 (vs. N3E) N3E (vs. N5)
Snelheidsverbetering
bij gelijk stroomverbruik
+10 tot 15% +18%
Afname verbruik
bij gelijke snelheid
-25 tot 30% -32%
Transistordichtheid >1,15x 1,30x
Begin volumeproductie 2025 H2 2023

Verdere N2-plannen: N2P met backside power delivery, N2X voor hpc

Toen TSMC vorig jaar zijn N2-roadmap introduceerde, ontbrak het aan details. Het bedrijf sprak alleen over de komst van N2 rond 2025. Nu voegt TSMC twee nieuwe N2-procedés toe aan zijn roadmap: N2P en N2X. Die laatste is weer een specifieke node voor hpc-producten met hogere kloksnelheden en spanningen. TSMC deelt daarbuiten echter weinig details over N2X.

N2P is wellicht de interessantste van de twee. Naast vermoedelijk hogere prestaties en een lager stroomverbruik implementeert het bedrijf voor het eerst backside power delivery in dat procedé. Het zei in 2022 al dat die techniek in zijn N2-serie zou worden geïntroduceerd, maar gaf toen verder geen details.

Zoals de naam doet vermoeden, wordt de stroomtoevoer voor de transistors met bpd vanaf de achterkant van de wafer geregeld. Dit vermindert onder meer de routing congestion aan de bovenkant van de wafer. Dat moet hogere frequenties mogelijk maken en lekstroom verminderen. Bovendien blijkt stroomtoevoer aan de onderkant efficiënter dan stroomtoevoer aan de bovenkant. Het verbetert bijvoorbeeld de supply-voltage drop die wordt veroorzaakt door de steeds hogere weerstand in de back-end-of-line van traditionele transistorontwerpen.

Illustratie backside powerdelivery imecIllustratie backside powerdelivery imec

Een traditioneel transistorontwerp met stroomvoorziening aan de voorkant (links) naast een wafer met backside power delivery. Bron: imec

TSMC stelt dat bpd vooral geschikt zal zijn voor hpc-producten met fijnmazige stroomnetwerken. Senior vice president Kevin Zhang verwacht dat de techniek een tien tot vijftien procent hogere dichtheid krijgt op het gebied van logic-transistors, puur door de frontsidemetalen volledig op signalrouting te richten. Voor andere transistortypen, zoals sram en analog, deelde Zhang geen verwachte dichtheidsverbeteringen.

Bpd komt in de tweede helft van 2025 beschikbaar voor productontwerp. De techniek gaat dan in volumeproductie met de N2P-node, die voor 2026 op de roadmap staat. TSMC is niet de enige fabrikant die aan bpd werkt; Intel wil die techniek in 2024 introduceren in zijn 20A-node. Ook Samsung wil bpd toepassen in zijn 2nm-procedé. Volumeproductie van Samsungs eerste 2nm-node begint in 2025.

TSMC Advanced Technology Roadmap 2023

Nieuwe transistors voorbij de 2nm

Ook voorbij de 2nm ziet TSMC mogelijkheden om transistors verder te verkleinen, hoewel het zijn roadmap daarvoor nog niet concreet heeft uitgestippeld. Voorlopig blijft het bedrijf inzetten op nanosheets, die dus met N2 geïntroduceerd worden. Het zegt wel tegen journalisten dat het verschillende opties voor nieuwe transistorarchitecturen overweegt die verdere nodeverkleiningen mogelijk moeten maken. TSMC ziet complementary field-effect transistors als een van de meestbelovende opties. Het bedrijf noemde die optie vorig jaar al en gaf dit jaar aan dat het werkende cfets in zijn lab heeft.

Cfets zijn een soort doorontwikkeling van de nanosheets die twee transistorsoorten combineren. Moderne chips bestaan uit een combinatie van p-transistors met positieve lading en n-transistors met een negatieve lading. De combinatie daarvan zorgt ervoor dat transistors alleen stroom verbruiken tijdens het schakelen, waarmee ze relatief energiezuinig zijn en relatief weinig warmte produceren.

Momenteel worden p- en n-transistors naast elkaar gezet als losse devices. Met cfets komt daar verandering in; bij dat transistortype worden ze verticaal boven op elkaar geplaatst. Dat maakt een hoop ruimte vrij voor verdere scaling; TSMC schat dat de dichtheid van cfets met een factor 1,5x tot 2,0x zal stijgen ten opzichte van nanosheets.

Tegelijk geeft het bedrijf aan dat het geen concrete plannen heeft om cfets te gebruiken. De fabrikant evalueert verschillende transistorarchitecturen voor in de toekomst en cfet is daar een van. "Alles voorbij de nanosheet staat op onze roadmap, om te laten zien dat er nog een toekomst is", verduidelijkt Zhang na vragen van Tweakers. "We blijven werken aan verschillende opties. We kijken bijvoorbeeld ook naar siliciumalternatieven. We zullen niet precies vertellen wat de transistorarchitectuur na de nanosheet wordt."

Voorlopig blijft TSMC dan ook nanosheets gebruiken, vertelt Zhang. "We beginnen met nanosheets op 2nm. Het is redelijk om te verwachten dat nanosheets op zijn minst een aantal generaties worden gebruikt. We hebben finfets vijf generaties ingezet; dat is meer dan tien jaar." Hoeveel generaties nanosheets precies gebruikt zullen worden, wilde Zhang niet zeggen.

TSMC-transistorroadmap 2023

Mogelijke chipfabriek in Duitsland

Naast zijn technologieroadmap deelde TSMC nog enkele updates over zijn uitbreidingsplannen voor nieuwe fabrieken. Behalve met nieuwe fabrieken in Azië, is het bedrijf vorig jaar begonnen met de bouw van zijn eerste 4nm-chipfabriek in de Amerikaanse staat Arizona. Het bedrijf gaat daar later ook een 3nm-fabriek bouwen. Dat doet het om zijn productiecapaciteit over meer regio's te spreiden; de fabrikant was tot op heden vooral actief in Azië.

Om diezelfde reden overweegt het bedrijf een fabriek in de Duitse stad Dresden. Het zei in 2021 al een fabriek in Duitsland te overwegen, hoewel er sindsdien vooral radiostilte heerste rondom de fabriek. Als TSMC al sprak over zijn beoogde Duitse fab, dan was het om te zeggen dat het 'alle opties overweegt', maar nog geen concrete plannen had. In de afgelopen maanden begon de geruchtenmolen echter te draaien. Verschillende media, waaronder Reuters en Bloomberg, berichtten dat de onderhandelingen rondom de Duitse TSMC-fabriek steeds verder vorderden en dat een beslissing mogelijk later dit jaar zou volgen.

TSMC Dr. Kevin Zhang
Dr. Kevin Zhang. Bron: TSMC

Hoewel het zegt nog steeds geen concrete beslissing genomen te hebben, deelt TSMC tijdens een Q&A-sessie met journalisten meer details over de Duitse uitbreidingsplannen. Kevin Zhang zei tegen onder andere Tweakers dat het bedrijf 'zeer goede vorderingen' heeft geboekt rondom de fabriek in Dresden. Het bedrijf zegt veel steun te krijgen van de lokale overheid en de EU en doorloopt nu zijn beoordelingsproces. Het zou op zijn vroegst in augustus een knoop kunnen doorhakken voor de bouw van een Duitse chipfabriek, hoewel dat tijdpad niet vaststaat.

Als de Duitse fabriek er komt, zal deze zich richten op de productie van microcontrollers voor auto's. "In Europa draait de helft van onze business om microcontrollers", zegt Zhang. Daarbij doelt de topman onder meer op producten als embedded non-volatile memory. Dergelijke chips kunnen geproduceerd worden op relatief oude procedés. "Als we een fabriek bouwen in Dresden, beginnen we waarschijnlijk met 28nm", zegt Zhang dan ook. Daarbij wordt echter niet uitgesloten dat de fabriek later wordt geüpgraded naar modernere nodes nu automakers langszaam maar zeker de overstap naar geavanceerdere chips gaan maken.

Met uitbreidingen buiten Azië wil TSMC dichter bij zijn klanten chips produceren om beter samen te werken. Daar staat tegenover dat chips die in Azië worden gemaakt, relatief goedkoop zijn. Er gingen onlangs al berichten rond dat de chips die TSMC in Arizona produceert, tot dertig procent duurder zijn dan chips uit Azië. Hoewel TSMC dat percentage niet bevestigt, geeft het wel aan dat dergelijke chips inderdaad een meerprijs meekrijgen.

Datzelfde geldt voor een eventuele chipfabriek in Europa. "Chips uit Europa zijn ook best duur", zegt Kevin Zhang. Volgens een woordvoerder van TSMC zouden de kosten van chips uit Europa vergelijkbaar zijn met die van chips uit de VS. "Het is een economische uitdaging om een fabriek te bouwen in duurdere regio's." Die meerprijs is een tweesnijdend zwaard, vervolgt Zhang. "Niemand wil meer betalen; je wil altijd de laagst mogelijke prijs. Maar klanten snappen ook dat we een sterkere toeleveringsketen nodig hebben. Klanten begrijpen de redenering achter deze mogelijke uitbreiding."

TSMC-fabrieken

Lees meer

TSMC gaat 3nm-chips maken in de VS
TSMC gaat 3nm-chips maken in de VS Nieuws van 21 november 2022

Reacties (49)

Sorteer op:

Weergave:

Ergens gaan we de limiet ook krijgen met "hoe klein" we kunnen blijven gaan. We zitten er niet ver meer vanaf.
Dat gevoel heb ik soms ook, maar aan de andere kant vraag ik me af wanneer we er nou echt tegenaan lopen. De litho-roadmaps zijn uitgestippeld voor de komende 10 jaar. Daarna heeft IMEC al gepubliceerd over wat erna komt, bijvoorbeeld met 2D-materialen zoals wolfraamdisulfide (of misschien grafeen). Wellicht dat we daar nog eens tien/twintig jaar mee vooruit kunnen. Daarna kan je misschien gaan denken aan 1D-structuren zoals kwantumdots. Zelfs dan zitten we nog niet op de atomaire schaal te denken qua schaling.

Een andere manier om te schalen is met slimme routingstructuren zoals backside power delivery, waarover ook al wordt gesproken in dit artikel. Wellicht kunnen we in de toekomst met high-NA EUV of zelfs hyper-NA ook echte 2D-structuren per laag maken, wat de routing-efficiëntie ten goede komt, waardoor je frequentie weer omhoog kan. Dit gaat wel ten koste van resolutie; niets is gratis aan de cutting edge. Hierdoor moet je dus kiezen voor kleinere structuren in 1D en meerdere lagen om de connecties te maken, of minder lagen en iets grotere 2D structuren.

Maar ook echte 3D-structuren zouden mogelijk zijn met de doorontwikkeling van chiplets of zelfs het integreren van alles in één wafer (al moet ik toegeven dat ik zelf ook aan het speculeren/fantaseren ben hier). De actieve laag in je silicium is erg klein vergeleken met de dikte van de gehele wafer, wat betekent dat er genoeg ruimte is om meer transistors in hetzelfde oppervlak te persen. Dan moet je wel slim gaan nadenken over warmte verwijderen, maar dat is ook slechts een technisch probleem.

Dus ja, uiteindelijk houdt het wel op, en we zitten er dichterbij dan 20 jaar geleden. Maar hoe dichtbij, dat weet niemand echt zeker.
Je moet ook rekening houden met de kosten van de productie van zulke extreem kleine schakelingen. Die chipmachines van ASML worden bijvoorbeeld ook steeds groter en complexer. De harde natuurkundige grens is niet de economische grens, dat laatste is voor de meeste toepassingen veel belangrijker. Alleen voor enkele medische en militaire toepassingen is dat wellicht minder van belang.
Dat is natuurlijk de echte drijfveer, lagere kosten per wafer. De machines van ASML mogen duur zijn, maar die zorgen wel dat de kosten per wafer omlaag gaan. Als het economisch is, zullen de chipbakker het doen.
Men gaat de laatste jaren ook gewoon breed of "meer" cores om zo hogere performance te behalen.

Mischien dat een goed volwaardig AI model een chip kan ontwerpen dat de mensheid en ruim 150 engineers doet passeren. We weten het niet.
Ai wordt al gebruikt in de chipindustrie, ik las dit artikel: https://opg.optica.org/oe...ri=oe-29-4-5448&id=447426. Ongetwijfeld worden dit soort algoritmes ook gebruikt bij de routing-optimalisatie. Als je je congestie met 1% kan verbeteren, is dat al een enorme impact.
Ja nouja goed, als je leest dat we van 3 naar 2 nm gaan zou je kunnen denken dat we nog maar 1nm te gaan hebben tot maximale verkleining. Maar 1nm kan je ook halveren.
Ik denk dat er een gigantisch probleem komt voor hoe kleiner (1mm) je wilt gaan; stroompjes dat overspringen naar plekken waar het niet hoort. Soort arcing maar dan op miniscuul chip niveau.
Gigantisch probleem?
Sorry, van waar komt die nood om hier alarmistische verhalen te brengen terwijl er voor de komende 10jaar+ roadmap bestaan in chipontwerp? Zoals deze van Imec. Die gaat van 7 nm to 0.2 nm.

Jij focust op puur op verkleining terwijl chipontwerp vooral op efficientie focust. Verkleining is dat niet de enige factor in. Andere materialen (zoals molybdenum) , speciale composieten, lagere voltages, 3D structuren (Gate-All-Around (GAA)) tot zelfs chips die met zeer hoog frequente UV licht werkt.

En als een horizon van 10jaar u nog angstig maakt dan kan je nog wat comfort zoeken in de ontwikkeling van grafeen en koolstofnanobuizen en kwantumcomputing.

Dat ‘gigantisch probleem’ hebben we al sinds het bestaan van de chip.

Ik kan iedereen aanraden dat artikel eens te lezen ipv te roepen dat wel tegen een muur gaan lopen en het einde nabij is.

[Reactie gewijzigd door Coolstart op 22 juli 2024 14:03]

Dat valt wel mee toch? In principe heeft hij/zij gelijk als we finfets willen blijven gebruiken en nog verder willen schalen. Die gigantische problemen hebben nu complexe oplossingen die jij al noemde, en de vraag is hoelang het duurt voordat deze researchprojecten klaar zijn voor massaproductie. TSMC en Samsung kennende, komt dat binnen afzienbare tijd wel goed, maar toch moeten we de complexiteit niet onderschatten.

Wat daarna komt is speculatie tot bijna complete fantasie, de opties die jij noemde, zoals koolstofnanobuizen zou kunnen, maar dan moeten we slimme depositie ervan doen. Dan kwantumcomputers, die in het lab mogelijk zijn, maar door de benodigde koeling bijna onhaalbaar zijn voor huis-, tuin- en keukengebruik. Dan kan je inderdaad denken aan hoge-temperatuur supergeleiding of wellicht het schakelen van transistors met optische frequenties (>100 THz) om de coherentie te verbeteren, maar dit is nu nog fantaseren en dromen.

Verder heb je natuurlijk gelijk. Lees artikelen van IMEC om erachter te komen wat de nabije toekomst in petto heeft! Meer state-of-the-art vind je niet!
Ja er is natuurlijk een harde lijn, je kan een atoom zomaar niet in twee splitsen en er passen grofweg 10 atomen in een nm.

Maar dat hoeft helemaal geen reden te zijn om ons te behoeden voor ‘gigantische problemen.’ Er zijn genoeg technologische uitwegen die niets te maken hebben met verkleinen maar met efficiënter schakelen van transistors.

Wat bedoel je met FinFET verder gebruiken/schalen? FinFET toch al bijna ten einde?

Of doel je op Gate-All-Around (GAA) FET zeggen? (Hier in het artikel gebruikt men de naam Nanosheet) FinFET 2.0 zegmaar.

Ter info: Zo proberen ze het probleem van elektrische lekkage op te lossen door de gate, die de stroom door de transistor regelt, rondom het kanaal te plaatsen, waardoor een betere schakelcontrole mogelijk is en lagere parasitaire effecten.

De gate is volledig rondom het kanaal van de transistor is geplaatst (vandaar de naam 'Gate-All-Around'), in plaats van alleen aan de zijkanten zoals bij FinFETs.

Ik zou nooit zeggen dat chipontwerp niet complex is maar ik stoor me aan café-technologen die denken dat 1nm de limiet is, de chipevolutie in de problemen zit etc. Dat is echt niet zo! In tegendeel. Die uitdagingen zijn er trouwens vanaf dag 1 geweest en verkleining is niet de oplossing.

[Reactie gewijzigd door Coolstart op 22 juli 2024 14:03]

Wat bedoel je met FinFET verder gebruiken/schalen? FinFET toch al bijna ten einde?

Of doel je op Gate-All-Around (GAA) FET zeggen? (Hier in het artikel gebruikt men de naam Nanosheet) FinFET 2.0 zegmaar.
Wat ik wilde zeggen is dat verder schalen met FinFET niet mogelijk is wegens lekstromen, en dat we naar GAA moeten gaan. Je zou dus kunnen zeggen dat schalen met FinFET uiteindelijk een gigantisch probleem is vanwege lekstromen. Dat is niet zo erg, want er ligt een alternatief klaar in de vorm van GAA.

Verder zijn we het volgens mij wel eens over de limieten en dat er gewoon een roadmap ligt voor de komende 10/15 jaar.

Wel is het zo dat schalen steeds moeilijker wordt. Simpelweg planair kan niet meer, dus de simpele schaling die we hadden in de jaren 70 t/m 10 is voorbij. Elk stapje wordt moeilijker en moeilijker en we komen echt tegen fundamentele problemen aan, denk bijvoorbeeld aan hagelruis die roet in het eten gooit bij EUV vanwege de kleine hoeveelheid fotonen per dosis.
Absoluut, maar daar wordt ook over nagedacht. Als je kleiner gaat, kan de spanning ietwat omlaag, wat het risico op doorslag vermindert. Dit soort dingen is ook de reden waarom we van planaire fets naar finfets zijn gegaan en we binnenkort de gate rondom de channel maken met gate-all-around of nanosheets. Allemaal om verdere schaling mogelijk te maken.
Daar komt bij dat de nodenaam (n2) niet zoveel te maken heeft met de grootte van de kleinste structuren.
Je kan theoretisch afstand blijven halveren tot je op een planck lengte zit.

Een nanometer is een bedachte eenheid, net zoals b.v. een Hertz dat van een seconde afgeleid dat is. De SI eenheden zijn allen in het kader van nauwkeurigheid van absolute waarden van de natuurkunde afgeleid. Met als laatste de meter die voorheen geijkt werd aan een fysieke meter die in Parijs bewaard werd. De Académie des sciences heeft op 30 maart 1791 de definitie van de meter bedacht en vastgelegd.

Desalniettemin, een semiconductor bestaat uit een halfgeleider die gemaakt is van atomen, hier in deze kleinste bouwblokken zit waarschijnlijk de harde limiet. Een technische structuur van kleinere deeltjes, de elementaire quarks zal niet gaan.

[Reactie gewijzigd door nullbyte op 22 juli 2024 14:03]

Ja tuurlijk dat is precies mijn punt.

https://en.wikipedia.org/wiki/7_nm_process

Als je naar de tabel rechts in beeld kijkt zie je dat te verkleining vandaag de dag nog net zo snel gaat als voorheen.
Maar 1nm kan je ook halveren.
Getallen kunnen eindeloos gehalveerd worden, maar er is een fysieke limiet aan hoe klein transistors kunnen worden gemaakt.
Precies, maar ik zie geen indicatie dat we dat punt aan het bereiken zijn:

https://en.wikipedia.org/wiki/7_nm_process

Als je naar de tabel rechts in beeld kijkt zie je dat te verkleining vandaag de dag nog net zo snel gaat als voorheen.
Ergens rond de 14nm is de betekenis van het feature size getal veranderd waardoor sindsdien de werkelijke schaalverkleining minder is je uit de getallen zou opmaken. Ook kost ieder stap naar het volgende kleinere proces steeds meer geld. De ontwikkeling van EUV heeft iets van 30 jaar gekost, in de 30 jaar daarvoor is de productietechniek veel sneller verbeterd.
Dus van 3nm naar 2nm is geen 33% schaalverkleining bedoel je?
Nee misschien, het betekent dat alle nodes na ca 14nm relatief minder klein zijn dan de getallen aangeven.

edit: met 'ergens rond de 14nm' zit er er naast, dat is al veel eerder gebeurd:

"Since 1997, however, "node" has become a commercial name for marketing purposes[1] that indicates new generations of process technologies, without any relation to gate length, metal pitch or gate pitch" https://en.wikipedia.org/wiki/10_nm_process

"Intel held the line from “10 micron” in 1972 through “0.35 micron” in 1995, an impressive 23-year run where the node name matched gate length. Then, in 1997 with the “0.25 micron/250 nm” node they started over-achieving with an actual Lg of 200 nm – 20% better than the name would imply"
https://www.eejournal.com/article/no-more-nanometers/

[Reactie gewijzigd door BadRespawn op 22 juli 2024 14:03]

Snelheidsverbetering bij gelijk stroomverbruik
De eerste regel in de tabel zegt al genoeg, je zal steeds kleinere verschillen zien, dit terwijl de prijzen wel omhoog gaan. Het is dan economisch niet meer haalbaar.
Zelfde trend zie je met GPU's, vandaar dat de stroomverbruik omhoog gaan om toch nog een verschil te zien in benchmark cijfertjes
Jammer dat er in het artikel niet rerept wordt over high-NA EUV, en wanneer die introductie gepland wordt. Hiermee kan het aantal EUV maskers flink omlaag, aangezien double patterning met low-NA, in één keer gedaan kan worden met high-NA. Wellicht bij de overgang van de N2 naar de N2P/N2X nodes? Dat worden wel echt interessante tijden! Misschien dat de back-end of line dan ook weer tweedimensionaal wordt als vanouds, waardoor het aantal lagen nog verder naar beneden kan.
AuteurAverageNL Nieuwsredacteur @Blokmeister28 mei 2023 13:37
Dit kwam ook aan bod tijdens de Q&A! We kregen helaas hetzelfde antwoord als vorig jaar: TSMC evalueert het gebruik van High-NA EUV, maar heeft nog geen concreet tijdspad voor wanneer ze het daadwerkelijk gaan gebruiken voor productie

Kevin Zhang zei ook dat High-NA niet per se nodig is voor TSMC's 2nm-familie. Daar kun je wellicht het een en ander uit afleiden, hoewel 'we hebben het niet nodig' iets anders is dan 'we gaan het niet gebruiken'

Het staat me bij dat TSMC in 2024 zijn eerste High-NA-machines voor preproductie ontvangt. Wellicht horen we volgend jaar dus meer! :)

[Reactie gewijzigd door AverageNL op 22 juli 2024 14:03]

Ah dankje voor de toelichting! Misschien goed om de volgende keer erbij te zetten, al kan je dat zelf misschien beter beoordelen dan ik als niet-journalist. High-NA is natuurlijk nooit echt 'nodig', het zou alleen kosten kunnen besparen als je structuren kleiner worden.

Waarschijnlijk kan TSMC ook wel high-NA gebruiken in het high-NA lab (https://www.imec-int.com/...ography-down-to-8nm-pitch) voordat ze gaan beginnen met massa-productie. Ik heb een roadmap van ASML gevonden dat ook overeenkomt met wat je zei: https://www.anandtech.com...ming-to-fabs-in-2024-2025.
Hier staat een mooi rapport, waarin alle zaken staan genoemd die eerst nog technisch opgelost moeten worden.

Het belangrijkste wat erin staat (hoofstuk 4), is dat High-NA waarschijnlijk in 2025 net te laat is om vanaf het begin te worden gebruikt voor 2nm. Maar zoals we net ook al bespraken is multiple patterning nodig voor 2nm, en als dan High NA later wordt ingevoegd in die node kan dat het aantal multi-patterning stappen verlagen; rond 2026 dan waarschijnlijk.
Oja. Aan dat artikel heb ik niets meer toe te voegen. Tot aan stitching en de black border aan toe. Hulde voor het vinden!
Erg leuk artikel om te lezen. Ik struikelde nog wel over een paragraaf, waarvan ik niet goed begrijp wat het punt is dat wordt gemaakt:
Bij multipatterning wordt een enkele laag meermaals belicht met euv om kleinere features te produceren. Euv is op zichzelf al duur en bij multipatterning stijgen de complexiteit en kosten nog verder.
EUV wordt gebruikt waar DUV multipatterning nog duurder zou zijn voor dezelfde features, of waar DUV überhaupt de structuren niet zou kunnen afbeelden. Dat EUV multipatterning op zich dan weer duurder is, dan geen multipatterning, is verder logisch, maar niet specifiek voor EUV. Ik hoor graag wat de auteur bedoelt.
Het hele idee van multipatterning komt vanuit de fundamentele limiet van resolutie van lithografie. De limiet zegt hoe dicht twee lijntjes bij elkaar kunnen komen, dus de minimale pitch die je kan schrijven (pitch is hier bijna hetzelfde als frequentie van een bepaalde muzieknoot, dus hoe snel de golfpieken elkaar opvolgen in de toon, hier gaat het over hoe snel de lijntjes elkaar opvolgen, maar dan in afstand). Met DUV is de maximale pitchresolutie rond de 75 nanometer, voor EUV is dat 20 nanometer. Dit ga je door technische redenen in de praktijk nooit halen. Let wel dat deze limiet ligt op hoe dicht de lijntjes bij elkaar komen, maar niet over hoe dik de lijntjes zelf zijn, in principe kunnen deze zo dun zijn als dat je zelf wil, zolang de rest van je proces (resist, etsen) dat aan kan.

Multipatterning is een trucje waarbij je eerst hele dunne lijntjes schrijft met een pitch van bijvoorbeeld 75 nanometer met DUV. Dan doe je dat nog een keer, maar dan 25 nanometer verschoven, gevolgd door nog een stap met een verschuiving van 25 nanometer. Wat dan overblijft op je wafer is een patroon met een pitch van 25 nanometer, een resolutie die je alleen met EUV in één keer kan doen. Dat is duur, omdat je ineens drie lagen moet schrijven in plaats van één.

Precies hetzelfde geldt voor EUV. Als je kleiner dan 20 nanometer wil schrijven (in de praktijk ligt die limiet door technische redenen iets hoger), dan kan je ook twee keer dunnen lijntjes schrijven, de tweede keer met bijvoorbeeld 10 nanometer verschoven. Het resultaat is een lijntjespatroon met een pitch van 10 nanometer.

Voor elke generatie lithografiemachine is er gewoon een beste resolutie. Als je kleiner wil, dan moet je dat met trucjes zoals multiple patterning gaan doen. Een goed voorbeeld staat in dit plaatje: https://blogs.sw.siemens....02/Fig3_MP_decomp_v02.png, dit is geldig voor elk type lithomachine, EUV/DUV/i-line.
Multipatterning is een trucje waarbij je eerst hele dunne lijntjes schrijft met een pitch van bijvoorbeeld 75 nanometer met DUV. Dan doe je dat nog een keer, maar dan 25 nanometer verschoven, gevolgd door nog een stap met een verschuiving van 25 nanometer.
Wat u bechrijft is litho-etch litho-etch (LELE), dat wordt wel door Samsung gebruikt, maar niet door Intel, en voor zover ik weet ook niet door TSMC.

Intel en volgens mij ook TSMC gebruiken self alligned double paterrning (SADP) of self aligned quadruple patterning.

Stel je maakt met DUV een damwand van suiker van 10 centimeter breed, vervolgens spuit je er aan beide zij-kanten een laag klevierige roest-poeder van 5 cm breed tegenaan. Dan giet je er water overheen, suiker lost op en je hebt 2 dammen van 5 centimer breed. Dat is SADP.

Aan beide zijkanten van de twee dammen van roestpoeder spuit je 2 centimeter spuitbeton, en daarna gooi je er liters roest-verwijderaar overheen. Je hebt dan 4 dammetjes van 2 centimter dik gemaakt van spuitbeton. Dat is SAQP.

Het verschil is, dat je voor LELE (of LELELE) inderdaad 2x moet belichten, dus dan heb je extra lithografie-machines nodig van ASML. En die zijn duur.

Voor SADP of SAQP heb je maar 1 litho-grafie machines nodig, maar je hebt extra ets, depositie en schoonmaak stappen nodig. Die apparatuur komt vaak van Applied Materials. Dat is net iets goedkoper.

Wat voor EUV gebruikt wordt durf ik niet te zeggen. De bedrijven vertellen dat niet altijd graag, om de concurrentie niet wijzer te maken. Maar kans is dat het SADP / SAQP is en niet LELE(LE) vanwege dat de beperkende factor vaak is gevormd door het aantal EUV machines dat ASML kan afleveren.

Verder, als een bedrijf wel LE LE wil doen, heeft Applied Materials tegenwoordig ook nog de Sculpta-tool, waarmee onder een hoek kan worden 'beschenen' met plasma, en daarmee kunnen lijntjes dichter op elkaar komen dan mogelijk met alleen maar DUV belichting.

Afhankelijk van de bron die je wil geloven gaat dat veel of weinig invloed hebben op het benodigd aantal EUV-machines.

[Reactie gewijzigd door kidde op 22 juli 2024 14:03]

Je hebt helemaal gelijk inderdaad. Maar ik dacht dat er wel degelijk LELE wordt gebruikt bij EUV voor de eerste metal layers, maar misschien is die informatie oud. Zover ik weet kan je de front-end-of-line goed schrijven met SAXP, maar wil je de eerste metal lagen liever doen met LELE, dan heb je meer vrijheid om je patroon te definiëren. SAXP is dan veel lastiger.

Je kan natuurlijk wel SAXP gebruiken, maar dan heb je veel minder vrijheid voor je patroon. Je kan bijvoorbeeld geen line-ends maken of lijnen schrijven met verschillende diktes. Die line-ends hebben weer een extra block-mask nodig, wat je waarschijnlijk met EUV of met LELE moet doen.
De fabrikant heeft samen met klanten de eerste tape-outs op dat procedé gedaan
In de diverse tweakers artikelen over chipontwerp en productie wordt de term tape-out gebruikt maar niet uitgelegd wat dat is (summier in een vd artikelen). Nee, het is niet een paper-tape export (of zelfs magnetic tape) van alle data van een ontwerp, het is 2023 :)
Wat het wel is staat gelukkig op wikipedia: Tape-out.

[Reactie gewijzigd door mekkieboek op 22 juli 2024 14:03]

Ik ben wel benieuwd of er een specifieke reden is waarom TSMC ieder jaar naar Nederland komt om dit soort symposia te houden? Of doen ze dit wereldwijd en is Nederland één van de gastlanden?
Even gekeken op de website, en ze houden hun symposium op veel verschillende plekken, van Taiwan tot Israel, Amerika en Europa. De conferentie in Europa is blijkbaar in Nederland. Dat zal ongetwijfeld te maken hebben met ASML.
Ik denk dat het eerder te maken heeft met het feit dat Amsterdam het Europese HQ is van TSMC.
Ik ben benieuwd hoe de 15de en de 16de generatie cpus worden. Hopelijk een mooie balans tussen meer power maar ook relatief zuinig!
Is dat niet bij elke nieuwe generatie zo? Als het proces echt een ontwikkeling doormaakt, heeft de volgende generatie een lager verbruik bij dezelfde snelheid, of een hogere snelheid bij hetzelfde verbruik. Hoe je de balans wil kiezen, is tot op een zekere hoogte aan de gebruiker door bijvoorbeeld de vermogenslimieten aan te passen.
Dat gaat hem voorlopig toch niet worden want dan hadden we er nu wel al signalen van gezien inmiddels. Cpu en gpu’s zullen voorlopig nog wel even de nodige stroom gaan trekken en gaan in de komende jaren ook mee genomen worden in de woke bewegingen. Want meer meer datacenters, dus minder minder stroom voor de burgers.
Ik ben niet per se tegen de ontwikkeling en productie van (moderne en zuinige RISC) CPU's en GPU's, zolang ze maar een maatschappelijk doel dienen en de hoogste prestatie/watt halen en daarnaast nog duurzaam gebruikt kunnen worden. Datacenters zouden echter een algemeen goed moeten worden waar je capaciteit kunt inhuren om je eigen diensten te draaien en niet verplicht die van een of andere multinationale cloudgigant met de huidige beperkingen qua ingaand en uitgaand dataverkeer.

Het is inderdaad een kwalijke zaak dat overheden daarin klakkeloos meegaan en deze bedrijven de ruimte bieden om op een dergelijke schaal schaarse hulpbronnen voor zichzelf te claimen.
Terwijl al die energie platformen omhoog ploppen als groen initiatief voor de mensen, worden ze wel geconfisqueerd door de massale bouw van datacenters in ons mooi groen landje waar niemand inmiddels een huis kan kopen of op zijn tenen moet lopen om zijn energiekosten te betalen.
Nederland volgt de VS en andere door de VS gekoloniseerde landen in deze, doordat huisvesting onbetaalbaar wordt voor andere mensen dan een elite die alleen maar rijker wordt. Ik heb hier in de omgeving vaak gesprekken over. Er zijn gelukkig nog landen waar huisvesting nog wel te betalen is, maar dan moet je wel de wil en de mogelijkheid hebben om actie te ondernemen.

Wat Nederland met het onbetaalbaar maken van huisvesting wil bereiken, begrijp ik niet, maar ik ben al eerder om dezelfde reden vertrokken vanuit het buitenland.
Want al deze datacenters zijn nodig voor onze democratie die ondersteund moeten worden met de nieuwste technieken zoals datavergaring, social mediums en ja AI bots die onze Word documenten in een flits kunnen aftypen. Niet er bij stil staan dat deze technieken inmiddels onze vrijheden en democratieën aan het afbreken zijn in favore van een paar multinationals.
Dat betekent dat overheden willens en wetens meewerken aan het onderhouden en bevorderen van een pseudo-economie in plaats van de ontwikkeling van een echte economie te stimuleren. Hopelijk zijn er nog wel overheden te vinden die daar niet in meegaan en zich richten op wat er echt belangrijk is om hun landen te leiden en zorg te dragen voor hun eigen burgers en bedrijven en niet veelal Amerikaanse multinationals, die vooral gebakken lucht verkopen.

Ik ben oprecht benieuwd of mensen tegen deze steeds verder opgerekte realiteit in opstand gaan komen of dat ze het allemaal maar lijdzaam ondergaan.
komende jaren ook mee genomen worden in de woke bewegingen
Gaat het goed met je?
Die AI-bot weet zijn targets wel te vinden. :+
*geeft je een klopje op de schouder*

Komt wel weer goed jonge.
bro relax ga een kopje thee drinken 😭
Dat mag toch ook? Je reactie wordt niet verwijderd en ongetwijfeld veel gelezen. Maar andere mensen hebben ook de vrijheid om aan te geven dat deze hele discussie niet relevant is onder dit artikel.
Dan is het best grappig dat niet relevant betekent -0 en dat men toch maar al te graag op -1 drukt als ongewenst cq. flamebait. Ik val niemand aan.

Doe dan ook gewoon eerlijk en zet het dan op -0.
Opvallend.
De transistor dichtheid van alle nieuwe processen is wel bekend (x maal beter), maar van de huidige processen is die nog niet bekend (nnb).
Is dat marketing vs bedrijfsgeheimen?
Daar was ik ook al verrast over. Je zou het enigszins kunnen uitrekenen door te kijken naar het aantal transistors van de chips die Intel, AMD en Nvidia laten maken. Maar dan moet je er wel rekening mee houden dat niet het hele oppervlakte wordt gebruikt door transistors. Soms heb je daar geen ruimte voor omdat je de lagen erboven nodig hebt om interconnects te maken in plaats van nog een transistor aan te sluiten. Dus de maximale dichtheid is wat hoger dan die in echte chips belanden.

Op dit item kan niet meer gereageerd worden.