Roadmaps en scaling
Tijdens zijn jaarlijkse Technology Symposium, dit keer wegens corona uiteraard virtueel gehouden, deelde TSMC zijn roadmaps voor de komende generaties producten. Aangezien TSMC zelf tijdens zijn 33-jarige bestaan nog geen eindproduct heeft gemaakt, is TS 2020 bedoeld voor de klanten die door de chipfabrikant worden bediend. Onder meer AMD, Apple en binnenkort ook Intel kloppen bij het Taiwanese bedrijf aan om hun chips te laten maken. TSMC produceerde in 2019 het equivalent van twaalf miljoen 300mm-wafers en leverde chips aan bijna vijfhonderd afnemers. Daaronder vind je onder meer alle Ryzen-processors van AMD en de socs in de recente Apple-line-up. Het adagium dat je maar beter kunt opletten wat 's werelds grootste speler doet, gaat in dit geval dus zeer zeker op: de roadmap vertelt hoeveel meer zuinigheid en kracht je van toekomstige chips mag verwachten.
Ook voor TSMC geldt dat transistorscaling steeds moeilijker is; de stappen naar kleinere nodes en hogere dichtheden van steeds kleinere transistors worden steeds lastiger te zetten. Dat hebben we vooral gezien bij Intel, dat erg veel moeite had om de stap na 14nm te zetten. Desalniettemin is het huidige 7nm-procedé, waarvan het gros van de ons bekende klanten zich bedient, al opgevolgd door een verbeterde versie daarvan en ook 5nm-chips zijn beschikbaar. We kijken welke varianten TSMC op die nodes beschikbaar heeft en welke nodes in de nabije toekomst beschikbaar zullen zijn.
Scaling is echter lang niet meer voldoende om aan de vraag naar complexere chips te voldoen, reden voor TSMC om dieper in te gaan op de technieken die de prestaties van chips moeten verbeteren en het energiegebruik moeten terugdringen. We gaan in op die co-designopties om chips in de hoogte én breedte te combineren en ten slotte stippen we de nieuwe materialen aan die klanten voor hun TSMC-chips kunnen gebruiken.
:strip_exif()/i/2003840826.jpeg?f=imagenormal)
Nodes: van 7 naar 2 'nanometer'
Laten we eerst afspreken dat het gebruik van 'nanometer' in bovenstaande paginatitel de enige keer is dat we een node equivalent stellen aan nanometers, want zoals bekend is dat al jaren niet meer het geval. De N7-, N5- en N3-aanduidingen die hier volgen, zijn namen voor de nodes die TSMC hanteert; met pitches of andere dimensies van de logic-transistors van die nodes hebben ze niets te maken.
:strip_exif()/i/2003843016.jpeg?f=imagenormal)
Met dat uit de weg heeft TSMC al geruime tijd, sinds 2018, de N7-node in productie. Zoals dat gaat met nieuwe nodes en nieuwe procedés, begint dat met de eerste tape-outs, gevolgd door risk production en als alles goed loopt, volume production. N7 zit al lang en breed in die volumeproductiefase en TSMC pocht dan ook met maar liefst 1 miljard werkende dies die op de N7-node zijn geleverd, met de eerder genoemde AMD en Apple als grote klanten. De productie van de leading-edgenodes vindt plaats in Gigafabs, waarvan er vier operationeel zijn en een nieuwe gebouwd wordt voor N3. Fab 15 levert N7, Fab 18 levert beperkt N5 en uiteraard worden nog volop chips op grotere nodes geproduceerd. Dat is immers stukken goedkoper voor de klant.
Node |
Performancewinst (bij gelijk vermogen) |
Energiegebruik (bij gelijke prestaties) |
Dichtheid |
Productiestart |
Euv? |
N7 (vs. N10) |
+20% |
-40% |
1,6x |
2018 |
nee |
N7+ (vs. N7) |
+15% |
-30% |
1,2x |
2019 |
ja, 4 lagen |
N7P (vs. N7) |
+7% |
-10% |
1,0x |
2019 |
nee |
N6 (vs. N7) |
onbekend |
onbekend |
~1,2x |
2020 |
ja, 5 lagen |
N5 (vs. N7) |
+15% |
-30% |
1,8x |
2020 |
ja, 11-13 lagen |
N5P (vs. N5) |
+5% |
-10% |
1,0x |
2021 |
ja, onbekend |
N4 |
onbekend |
onbekend |
onbekend |
2022 |
ja, onbekend |
N3 (vs. N5) |
+10-15% |
-25-40% |
1,7x |
2022 |
ja, onbekend |
De verschillen tussen de verschillende nodes: de aangegeven delta's zijn met de generatie ervoor (cijfers onder voorbehoud)
N7 bestaat uit twee smaken: eentje met en een zonder gebruik van euv. De eerste is N7FF en levert sinds 2018 wafers in volume. N7+ of N7FF+ is de euv-smaak die voor een paar lagen, vier naar verluidt, van euv-lithografie gebruikmaakt. Van de euv-loze N7 bestaat inmiddels ook een verbeterde versie, N7P, die echter wat specificaties betreft identiek is. Wel zouden chips zuiniger of sneller zijn dankzij verbeteringen in de feol en mol, afkortingen voor de front-end of the line en middle of the line, respectievelijk de transistorproductie en de verbinding van die transistors met de metalen interconnects. Dat levert onder meer een iets lager verbruik en iets hogere prestaties, maar vergt geen nieuw ontwerp, zoals N7+ wel nodig heeft.
:strip_exif()/i/2003843034.jpeg?f=imagenormal)
Naast de drie N7-smaken is N6 beschikbaar, dat volledig compatibel zou zijn met N7, maar iets meer lagen euv-lithografie gebruikt. Dat reduceert het aantal maskers dat voor multipatterning met duv nodig is, en levert accuratere resultaten en dus hogere yields op. Veel informatie over N6 gaf TSMC echter niet.
:strip_exif()/i/2003843032.jpeg?f=imagenormal)
Iets meer informatie over de opvolger van de N7-node, de N5-node, gaf het bedrijf wel. Niet zo lang geleden werd bekend dat een van de eerste high profile-klanten voor die node Apple wordt, dat zijn volgende generatie A14-soc op TSMC's N5 laat maken. Voor N5 wordt intensiever gebruikgemaakt van euv, maar voor hoeveel lagen dat precies is, is onbekend. Wel zou N5 flink hogere transistordichtheden mogelijk maken en bij gelijkblijvend vermogen ongeveer 15 procent meer prestaties dan N7 bieden, of 30 procent minder vermogen vragen voor dezelfde prestaties.
:strip_exif()/i/2003843030.jpeg?f=imagenormal)
Ook voor N5 is een verbeterde versie in ontwikkeling, die analoog aan de N7-node N5P heet. Met de reguliere N5-node die nu ramping is naar volume-manufacturing, moet N5P in de loop van 2021 volgen. Een van de eerste klanten voor dat procedé zou NXP worden, dat N5P-chips voor automotivetoepassingen gaat inzetten. Details over die chips gaf NXP niet echt, maar de chips zouden voor autonome voertuigen worden ingezet om meer 'edge'-rekenkracht te bieden. N5P zou weer 5 of 7 procent sneller zijn dan N5, of 10 tot 15 procent zuiniger.
:strip_exif()/i/2003843028.jpeg?f=imagenormal)
Voor het laatste kwartaal van 2021, met verwachte massaproductie in 2022, staat een verbeterde versie, analoog aan de N6-node, op de planning, die N4 heet. Ook voor deze stap zouden geen nieuwe ontwerpen gemaakt hoeven worden en zouden designs dankzij hergebruik van ip eenvoudig gemigreerd kunnen worden. N4 moet weer verbeteringen in transistordichtheid, prestaties en verbruik opleveren, maar cijfers daarover gaf TSMC niet. Wel zou de node, gezien de belofte van een reductie in het aantal benodigde maskers, weer intensiever gebruikmaken van euv-lithografie.
:strip_exif()/i/2003843026.jpeg?f=imagenormal)
De laatste node waar TSMC naar vooruitblikte, is de N3-node. Net als alle voorgaande nodes maakt ook deze node nog gebruik van finfet-transistors. TSMC ziet blijkbaar nog geen noodzaak lastiger te produceren alternatieve transistors als gate-all-aroundtransistors of bijvoorbeeld nanosheets voor N3 te introduceren. N3 moet ongeveer gelijktijdig met N4 opschalen, met een verwachte riskproductie in de loop van 2021 en volumeproductie in de tweede helft van 2022. Volgens TSMC maakt N3 een volledige stap ten opzichte van N5; het zou geen zogenoemde half-node worden. De verwachte verbeteringen zouden ongeveer 10 tot 15 procent voor de prestaties bedragen en 25 tot 30 procent voor vermogen; de logicdichtheid zou met 1,7x schalen.
Co-design: de breedte of de hoogte in
Het principe van co-design, waarbij het ontwerp van een chip samengaat met de functie en de verpakking, wordt al geruime tijd toegepast en is in veel gevallen vereist om steeds complexere processors op een chip te krijgen. Er is immers niet alleen een limiet aan transistordichtheid, dus hoeveel transistors je op een vierkante millimeter kunt krijgen, maar ook aan de capaciteit om de opgewekte warmte van die chips af te voeren en, steeds belangrijker, aan de afmetingen van een enkele chip. De zogeheten reticle van steppers, de machines die gebruikt worden om wafers te belichten, heeft beperkte afmetingen en stelt een harde grens aan het aantal transistors dat in een monolitisch ontwerp kan worden ondergebracht. Voor de huidige generaties duv- en euv-lithografische machines is die limiet 26 bij 33 millimeter, of 858mm².
:strip_exif()/i/2003843046.jpeg?f=imagenormal)
Het is dan ook geen toeval dat de grootste chips, zoals een TU102-gpu van Nvidia, 754mm² groot zijn; dat is bijna het maximaal haalbare, met wat snijverlies aan de randen. Om complexere chips te maken, is het dus zaak chips met elkaar te combineren, een techniek die AMD voor zijn Zen-processors hanteert. Door chiplets met elkaar te combineren zijn relatief eenvoudige en dus goedkopere dies bruikbaar. TSMC biedt zowel de eerste optie van grote monolithische dies waarvan Nvidia voor Turing gebruikmaakt, als die van 2,5d-packaging zoals AMD doet, met verschillende chiplets die met elkaar verbonden worden.
De manier waarop die kleinere chips met elkaar worden verbonden, is bij die laatste optie cruciaal voor prestaties, energiegebruik en communicatie. Binnen een grote chip of die is het iets gemakkelijker om onderdelen met elkaar te laten communiceren. Bij losse dies die met elkaar verbonden moeten worden, ben je afhankelijk van externe verbindingen, die steeds kleiner moeten worden om hogere dichtheden en daarmee hogere snelheden mogelijk te maken.
De nieuwe, overkoepelende term die TSMC daarvoor hanteert, luidt: '3DFabric' en dat is weer onder te verdelen in diverse technieken voor frontend- en backendverbindingen. Voor het stapelen van dies kunnen chips op wafers worden geplaatst of wafers op wafers. Die eerste techniek heet logischerwijs 'Chip on Wafer', en de tweede 'Wafer on Wafer', of CoW en WoW in het kort. Daarbij worden geen microbumps gebruikt, maar worden metalen interconnects of tsv's netjes op elkaar geplaatst. Dat levert minder warmteweerstand op dan microbumps, waarbij ook de dichtheid van die interconnects moet schalen met nodes. Zo heeft de N7/N6-node een pitch van 9 micrometer en moet N5 in Q2 van 2021 tsv's met een pitch van 6 micrometer krijgen. Voor N3 is in 2023 een pitch van 4,5 micrometer gepland.
Het stapelen met de CoW-methode is inmiddels gedemonstreerd met twaalf lagen op elkaar, waarbij de totale dikte van alle dies minder dan 600 micrometer bedraagt. Dat zou vooral voor de integratie van geheugen in socs van belang zijn en het zou mogelijk zijn nog meer dies op elkaar te stapelen. Bovendien heeft TSMC inmiddels verbindingen met een pitch van 0,9 micrometer gedemonstreerd. Daarbij zou de pitch, of dichtheid van de interconnects tussen dies onderling, vergelijkbaar zijn met de dichtheid van de interconnects binnen een die.
:strip_exif()/i/2003843052.jpeg?f=imagenormal)
Voor beol-verbindingen zijn InFO en CoWoS als onderdeel van 3DFabric beschikbaar. Dat laatste staat voor 'Chip on Wafer on Substrate' en kan in smaken met silicium interposer, substraat interposer of een combinatie worden geleverd. InFO, voor 'Integrated Fan-Out', kan met kleine silicium interconnects of met substraten worden geleverd. Met beide technieken kunnen dies op substraten of interposers gestapeld worden, dus naast elkaar gelegd en met elkaar verbonden worden via silicon interposers of substraten met sporen erin. AMD gebruikt dat laatste bijvoorbeeld om chiplets met elkaar en de i/o-die te verbinden. Voor videokaarten met hbm-stacks worden interposers gebruikt om aan de vraag naar bandbreedte te voldoen.
Via InFO kunnen chips gemaakt worden die momenteel 1,7 maal de oppervlakte van een reticle beslaan, pakweg 1500 vierkante millimeter dus. Om nog grotere chips, met 2,5 maal de reticle, te maken, moet tot begin 2021 gewacht worden. Dan worden substraten van 110 bij 110 millimeter gekwalificeerd.
Om chips met hoge bandbreedte te verbinden op een substraat, kan TSMC via InFO-LSI een kleine Local Silicium Interconnect of LSI leveren, die het equivalent van Intels emib vormt. Ook daarop moet tot begin 2021 gewacht worden voor kwalificatie.
Via CoWoS ten slotte kunnen momenteel chips gemaakt worden met tweemaal de reticle-afmetingen en tot zes hbm-stacks, maar volgend jaar moet die techniek nog grotere chips mogelijk maken, vooral voor hpc-producten, met driemaal de reticle en acht hbm-stacks. In 2023 moet zelfs een optie beschikbaar komen om 4x reticle-chips te maken met twaalf hbm-stacks.
Voorbij N3
Ten slotte werpen we een blik op de toekomst, voorbij de N3-node, waarbij we naar de plannen voor kleinere nodes kijken en kort de nieuwe materialen en technieken langsgaan die daarvoor nodig zijn.
:strip_exif()/i/2003843036.jpeg?f=imagenormal)
TSMC heeft het ambitieuze plan om tot die N3-node nog finfets te gebruiken. Pas daarna kijkt het bedrijf naar opties om bijvoorbeeld nanosheets of nanowires in te zetten, ook bekend als gate-all-around transistors. De huidige finfets hebben gates die het channel van field effect transistors aan drie kanten omsluiten, maar bij verdere verkleining van transistors levert dat te veel lekstroom op. Daarom moet voor kleinere nodes de gate het kanaal volledig omsluiten, vandaar de naam gate-all-around, of gaa-fet. Met nanowires of nanosheets is dat mogelijk en voor een veelgebruikt testvehikel in de halfgeleiderindustrie, sram-cellen, heeft TSMC met succes nanosheets ingezet. Chips met 32Mbit aan sram-cellen zouden volgens de chipfabrikant al goede yields vertonen en met een spanning van slechts 0,46V werken.
Overigens is TSMC niet de enige in het gebruik van gaa-technologie voor kleinere nodes, ook Intel en Samsung onderzoeken en gebruiken dat. Ook 2d-materialen als grafeen en het gebruik van carbonnanotubes worden onderzocht, maar veel details daarover gaf TSMC nog niet.
:strip_exif()/i/2003843038.jpeg?f=imagenormal)
Wel zou een dun laagje molybdiumdisulfide of wolfraamdisulfide in monolagen tussen de gate en het channel veelbelovende resultaten opleveren en de dikte van het channel tot minder dan 1nm kunnen laten slinken, terwijl de stuurstromen hoog blijven. Bij 1V zou 390µA gemeten zijn. Over het gebruik van cnt's wilde het bedrijf kwijt dat ze gebruikt kunnen worden voor powergating in de beol, in de metaallagen van de chips dus. Dat is inmiddels getest met 28nm-logic en zou compactere interfaces voor chips mogelijk maken.
:strip_exif()/i/2003843040.jpeg?f=imagenormal)
Op het gebied van lithografie, waar ASML vanzelfsprekend hofleverancier en researchpartner is, wordt gewerkt aan alle facetten van het proces. Denk aan betere resists voor meer gevoeligheid bij de belichting en machinelearning om patronen voor maskers te verbeteren. In de toekomst moeten euv-machines met hoge numerieke apertuur, of high-na, beschikbaar komen om kleinere features te belichten. Dankzij de inzet van self-aligned double patterning kunnen voorlopig pitches in de beol met een onderlinge afstand van 18nm geproduceerd worden. Dat is belangrijk om interconnects in chips met een hogere dichtheid te realiseren.
Groener
We eindigen met een kleine blik op de kosten, voor zowel de chips als het milieu. Aangezien TSMC ruim 50 procent van de foundrymarkt in handen heeft, 60 procent van alle euv-wafers produceert en elke maand pakweg één miljoen 300mm-wafers of het equivalent daarvan produceert, heeft TMSC's productie flinke gevolgen voor het milieu. Ter illustratie: voor elke vierkante centimeter wafer zijn 1kWh energie en vijf liter water nodig en worden 200g CO₂ en 100g niet-recyclebaar afval geproduceerd. Dat zijn volgens TSMC overigens de 'groenste' cijfers. Bij Samsung en Intel, of Koreaanse en Amerikaanse bedrijven, liggen die cijfers een stuk hoger. Daar komt ook de steeds hogere prijs van chips deels vandaan; de energie- en waterconsumptie voor N5-chips is respectievelijk 4,3 en 3,1 maal zo hoog als voor N28-chips. Voor broeikasgassen en afvalproducten is dat zelfs 3,7 en 7,5 maal dat van N28. TSMC probeert die cijfers agressief te reduceren, onder meer door met koper verontreinigd water te recyclen.