Volgende week presenteert Intel de vorderingen van zijn PowerVia-techniek tijdens het VLSI-symposium in Japan. Het bedrijf werkt al jaren aan deze implementatie van backside power delivery en demonstreerde deze week al een eerste testchip die gebruikmaakt van PowerVia voordat deze techniek volgend jaar in productie gaat.
Zoals de term 'backside power delivery' doet vermoeden, wordt de stroomvoorziening van chips hiermee van de voorkant naar de achterkant van een chip verplaatst. Dat is niet alleen een efficiënter gebruik van de ruimte nu transistors steeds kleiner worden; het belooft chips ook sneller en efficiënter te maken. Intel noemt PowerVia dan ook 'cruciaal' voor zijn roadmap. De techniek moet Intel helpen om zijn achterstand op TSMC en Samsung in te halen, nadat de chipmaker jarenlang vastzat op 10nm. Hoewel die twee marktleiders óók aan backside power delivery werken, heeft Intel dit een paar jaar eerder in zijn planning staan.
Tweakers woonde een technische briefing bij waarbij Intel zijn PowerVia-ontwikkelingen voorafgaand aan VLSI alvast deelde met de media. In dit artikel bespreken we de werking van backside power delivery, wat de voordelen zijn en waarom het verplaatsen van chipstroomvoorziening misschien lastiger is dan je zou denken.
Wat is backside power delivery?
Traditioneel gezien bestaat een chip uit een enorm aantal transistors, met daarbovenop diverse metaallagen. In die metaallagen zitten twee verschillende netwerken met interconnects: een voor de stroomvoorziening en een voor signaalverwerking. Naarmate transistors kleiner worden, moeten die netwerken meekrimpen.
Die netwerken zitten elkaar daardoor steeds meer in de weg, wat het verkleinen van transistors bemoeilijkt. Daarnaast creëren de verschillende lagen interferentie. Door een hogere weerstand aan de voorkant kan de spanning van de toegevoerde stroom bovendien afnemen, een fenomeen dat ook wel IR-droop heet. Dat zijn allemaal ongewenste effecten.
Backside power delivery moet op deze gebieden verlichting bieden door het stroomvoorzieningsnetwerk te verplaatsen. Bij backside power delivery wordt de voorkant van de wafer dus volledig gereserveerd voor de signaalverwerking. De verbindingen voor stroomvoorziening, die volgens Intel tot twintig procent van de wafervoorkant kunnen innemen, worden op hun beurt allemaal naar de achterkant verplaatst. Beide netwerken zijn daardoor losgekoppeld, zitten elkaar niet langer in de weg en kunnen afzonderlijk worden geoptimaliseerd.
Er zijn diverse manieren om backside power delivery te implementeren. Ze verschillen op het gebied van complexiteit en ruimtebesparing, zoals buried power rails en nano-tsv's. Intel kiest voor zijn PowerVia-techniek voor die tweede optie: kleine through-silicon via-verbindingen die door de wafer heen lopen en direct in verbinding staan met de transistor.
Het verschil tussen die twee implementaties wordt aangetoond in de onderstaande slide. Buried power rails zijn gemakkelijker om te implementeren. Dergelijke powerrails worden al ingezet zonder backside power delivery. Het nadeel van deze optie is dat de stroomvoorziening, ook mét backside power delivery, nog steeds deels van bovenaf moet komen, zoals Intel in zijn presentatie aantoont met een gele pijl. Chipmakers moeten daarom alsnog ruimte voor stroomverbindingen vrijmaken in de zogeheten M0-laag, die direct boven op de transistors zit. Met nano-tsv's is dat niet het geval; die staan vanaf de zijkant in verbinding met de transistor. Daarmee wordt ook de M0-laag volledig aan signaalnetwerken toegewijd.
Testnodes en PowerVia-chips: Blue Sky Creek
Intel wil PowerVia introduceren in zijn 20A-procedé, waarop massaproductie in de eerste helft van volgend jaar van start gaat. Behalve op backside power delivery stapt het bedrijf bij die node ook over op een geheel nieuwe transistorarchitectuur: RibbonFET.
Om te voorkomen dat de introductie van twee nieuwe, complexe technieken tot productieproblemen leidt, heeft Intel een intern procedé ontwikkeld om PowerVia productieklaar te krijgen. Die node is nog steeds gebaseerd is op de traditionele finfets die chipproducenten al ruim een decennium gebruiken. Het idee daarachter is dat bedrijf op die manier PowerVia kan ontwikkelen, waarna deze bevindingen gebruikt kunnen worden om de techniek relatief gemakkelijk te implementeren in combinatie met RibbonFET-transistors.
Op deze manier wil de fabrikant niet te veel hooi op zijn vork nemen met verschillende grote technische veranderingen in één node. Dat moet een situatie als bij Intels 10nm-procedé voorkomen. Die node werd door yieldproblemen jaren te laat opgeleverd, waardoor het bedrijf zes jaar lang processors op 14nm moest uitbrengen. Ceo Pat Gelsinger reflecteerde jaren later na vragen van Tweakers dat Intel met 10nm te veel verbeteringen tegelijk wilde doorvoeren en daardoor in de problemen kwam.
:fill(white):strip_exif()/i/2005818324.jpeg?f=thumblarge)
Bron: Intel, VLSI
Intel baseert zijn PowerVia-testprocedé op Intel 4, dat voorheen bekendstond als 7nm. Daarmee produceerde het bedrijf onlangs een eerste testchip, genaamd Blue Sky Creek. Deze chip is gebaseerd op Intels komende Meteor Lake-processors, die de chipfabrikant later dit jaar wil introduceren voor laptops. Blue Sky Creek gebruikt daarvoor nieuwe Crestmont-cores.
Intel koos voor deze op efficiëntie gerichte E-cores omdat ze al ontwikkeld waren op basis van het Intel 4-procedé. Daarom konden ze relatief gemakkelijk worden overgeheveld naar de PowerVia-testnode. Daarnaast zijn E-cores compact. Daardoor zijn grote test-dies, inclusief de yielduitdagingen die daarbij komen kijken, niet nodig. De cores halen volgens de fabrikant een kloksnelheid van 3GHz op 1,1V.
Hoe zo'n chip er van binnen uitziet, is te zien op de onderstaande slide. Aan de bovenkant zijn de verschillende signaalinterconnects te zien, onder de noemer FS Metals. Onderaan, aangegeven als 'BS PDN', staan de verbindingen voor de backside power delivery. In het midden staan dan weer verticale witte streepjes, die met een gele lijn zijn gemarkeerd; dat zijn de eerder besproken nano-tsv's die de transistors verbinden met het stroomvoorzieningsnetwerk aan de onderkant.
PowerVia in de praktijk: wat zijn de voordelen?
We hebben het voornaamste voordeel van PowerVia eigenlijk al genoemd: de ruimtebesparing aan de voorkant die verdere transistorverkleiningen iets makkelijker moet maken. Daardoor kon het bedrijf onder meer de pitch in zijn M0-laag verhogen van 30 naar 36nm. Die pitch staat voor de afstand tussen de verschillende interconnectlijntjes; een hogere pitch betekent een grotere afstand en daarmee goedkopere productie.
Volgens Intel compenseert de kostenbesparing met zijn hogere pitch de extra kosten voor backside power delivery ruimschoots, zeker bij toekomstige nodes. De overige afmetingen zijn ongewijzigd gebleven, zoals de afstand tussen vinvormige kanalen en de contacted poly pitch, die de afstand tussen gates dicteert: respectievelijk 30 en 50nm.
Door die wijzigingen, samen met het verlagen van de hoeveelheid vinnen van drie naar twee, wist Intel de 'hoogte' van een standaardcel te verlagen van 240 naar 210nm. Zo'n standaardcel omvat een groep transistors die gezamenlijk een logica- of opslagfunctie kunnen uitvoeren. Dat betekent dat het celformaat is afgenomen met 12,5 procent ten opzichte van Intel 4 zonder PowerVia.
Het testprocedé van Intel wist daarnaast beter gebruik te maken van de beschikbare ruimte binnen standaardcellen. Op delen van de die wist de fabrikant naar eigen zeggen een standaardcel-utilization van 'meer dan 90 procent' te behalen. Het bedrijf zegt niet wat de celdichtheid zonder PowerVia bedraagt, hoewel dat percentage in ieder geval lager ligt. Die verbetering is daarmee deels afkomstig uit PowerVia, hoewel het gebruik van euv-lithografie in Intel 4 ongetwijfeld ook een bijdrage zal hebben geleverd.
Los van de chipproductievoordelen, moeten de eindproducten zelf ook baat hebben bij PowerVia. Intel noemt in zijn slides een 'prestatieverbetering' van zes procent op zijn Blue Sky Creek-chip. Tijdens een vragensessie met journalisten verduidelijkte de fabrikant dat de maximale kloksnelheden zes procent hoger liggen. Die toename werd volgens Intel puur behaald door het verbruik van PowerVia, zonder verdere wijzigingen aan de core. De IR Drop, de afname van de spanning voordat deze de transistor bereikt, bedroeg ruim dertig procent.
Illustratie met de celdichtheid (links) en de verbeteringen op het gebied van IR-droop en frequentietoename. Bron: Intel
Obstakels: yields, hitte en debugging
Los van de voordelen brengt PowerVia ook enkele risico's met zich mee. Intel noemt tijdens zijn briefing drie voorbeelden: yields, temperaturen en debugging. Eerstgenoemde heeft te maken met de defecten die tijdens het chipproductieproces kunnen ontstaan. Bij het implementeren van PowerVia draait Intel een wafer om, waarna vrijwel al het silicium wordt weggepolijst totdat de onderkant van de transistors zichtbaar is. Daarbovenop worden vervolgens de metaallagen met nano-tsv's en de benodigde stroominterconnects aangebracht. Tijdens dat proces kunnen, net als bij andere chipproductiestappen, uiteraard defecten optreden.
Intel zegt zelf dat zijn PowerVia-testnode momenteel al yields haalt die geschikt zijn voor massaproductie. Het testprocedé loopt op dat gebied ongeveer twee kwartalen achter op zijn 'gewone' Intel 4-node, die al in massaproductie is. Het bedrijf noteerde bovendien geen aan stroom gerelateerde betrouwbaarheidsproblemen bij de overstap naar PowerVia. De verwachting is daarmee dat PowerVia volgend jaar relatief probleemloos overgeheveld kan worden naar 20A.
Warmte werd ook gezien als een potentieel obstakel. Waar transistors voorheen op het uiteinde van de wafer zaten, zijn ze met PowerVia midden in de wafer ingekapseld tussen twee lagen. Dat kan het koelen van de transistors bemoeilijken en daarmee tot hitteproblemen leiden.
Het bedrijf deelt geen details over de exacte maatregelen die het treft tegen de thermische problemen, maar claimt wel dat de temperatuurcurve van de PowerVia-testnode overeenkomt met die van het gewone Intel 4-procedé zonder PowerVia. Dat betekent dat de mate waarin de temperatuur stijgt als de stroomsterkte toeneemt, ongeveer overeenkomt met de temperatuurstijgingen bij 'gewone' Intel 4-transistors zonder backside power delivery.
Intel trof soortgelijke maatregelen voor debugging, waarmee chips getest worden voordat ze op de markt worden gebracht. Nu de transistors tussen twee metaallagen zitten, is het niet langer mogelijk om ze rechtstreeks vanaf de onderkant te onderzoeken. Intel heeft daarvoor een reeks nieuwe debugtechnieken ontwikkeld die ook gebruikt kunnen worden nu beide kanten van de chip in gebruik zijn. De chipmaker had naar eigen zeggen een aantal Easter eggs in zijn Blue Sky Creek-chips gestopt, in de vorm van expres ontwikkelde bugs. Intel zegt dat zijn validatieteam al deze contention circuits wist op te sporen met zijn nieuwe PowerVia-debugtools.
Tot slot
Hoewel Intel zegt dat zijn PowerVia-testnode en -chip goede resultaten behalen, is het nog even wachten voordat de techniek in daadwerkelijke producten verschijnt. Het debuutplatform, Intel 20A, gaat in de eerste helft van volgend jaar in massaproductie en in de maanden daarop verschijnen de eerste chips met PowerVia op de markt. Dat gebeurt eind volgend jaar met de introductie van Intels Arrow Lake-processors. De chipfabrikant produceert die chips deels op 20A.
In de jaren daarop volgen ook andere grote chipmakers. Intel is immers niet de enige fabrikant die met backside power delivery aan de slag gaat. Marktleider TSMC introduceert in 2026 een N2P-procedé met eenzelfde techniek. Samsung wil backside power delivery volgens Zuid-Koreaanse media verwerken in zijn 2nm-serie, waarvan de eerste chips in 2025 geproduceerd worden.