CommsDesign heeft van verschillende bronnen vernomen dat Intel een aantal orders heeft geplaatst voor tools die gebruikt kunnen worden om chips in 65nm te fabriceren. Hiervoor heeft Intel maar liefst tussen de 500 en de 700 miljoen dollar uitgetrokken, hoewel dat volgens sommige analisten tot in de miljarden kan oplopen. Zowel het Nederlandse ASML uit Veldhoven als Nikon heeft orders weten binnen te slepen voor het leveren van lithografische apparatuur. ASM International B.V. zal apparatuur leveren om low-k en strained silicium wafers te fabriceren.
De apparatuur zal komen te staan in de D1D fab in Oregon. Deze fab wordt op dit moment nog voor het onderzoek naar nieuwe procestechnologieën gebruikt, maar zal in de toekomst als fabriek voor 45nm en 65nm-chips worden gebruikt. Intel heeft daarnaast volgens analisten plannen om 'Fab 12' in Chandler, Arizona, die op dit moment nog met 200mm-wafers werkt, te voorzien van apparatuur die overweg kan met 300mm-wafers en chips in 65nm kan produceren. Het vervangen van de apparatuur zal nog dit jaar beginnen en eind 2005 klaar zijn. Van concurrent AMD wordt verwacht dat de nieuwe fab 'Fab 36' in Dresden ergens in 2006 zal beginnen met het fabriceren van 65nm-processors.
