ASML meldt grote sprong voor kleine transistors

Het Nederlandse ASML heeft dinsdag in San Francisco een nieuwe 'Numerical Aperture'-machine voor grootschalige chipproductie gepresenteerd. De XT1700i zou in de tweede helft van 2006 aan diverse klanten geleverd worden. Het bedrijf reageert hiermee op Nikons introductie, vorige week, van een vergelijkbaar 'hyper NA immersion system' dat meer dan 130 wafers per uur kan produceren. ASML's Martin van den Brink benadrukte dat ASML's machine het experimentele stadium is ontgroeid: 'Het apparaat is net zo snel en betrouwbaar als onze huidige TwinScan-modellen, maar het kan veel kleinere details produceren, wat belangrijk is voor bijvoorbeeld geheugenfabrikanten'. Eerder leverde ASML al enkele prototypes met de nieuwe techniek aan boord.

De immersion-techniek moet het mogelijk maken om chips op minder dan 40nm te bakken, waar de huidige technieken niet onder de 65nm komen, een verbetering van meer dan dertig procent. De techniek behelst het aanbrengen van een vloeistoflaag tussen lens en wafer, waardoor een etsmasker met grotere nauwkeurigheid kan worden aangebracht. Normaal gesproken bedraagt de 'numerical aperture' maximaal 1,0; de nieuwe machines van Nikon hebben een NA van 1,07 en ASML schroeft de waarde met de XT1700i op naar 1,2. Het Nederlandse bedrijf spreekt dan ook van een 'grote sprong voorwaarts' en 'de belangrijkste verbetering in jaren.' De nieuwe techniek maakt het in theorie mogelijk dat Moore's Law, die stelt dat het aantal transistoren op een chip elke anderhalf jaar verdubbelt, nog een aantal jaren geldig blijft. De nieuwe machine zal voor rond de dertig miljoen euro op de prijslijst worden gezet.

Een TwinScan-waferbakker van ASML

Reacties (52)

Toch wel knap waar een klein land groot in kan zijn.

Ik vraag me alleen af in hoevere ASML een Nederlands bedrijf is.

Juist hierin blinken de westerselanden uit. Inovativiteit. Productie is allanger bekent dat we daarin wel goed zijn, maar te duur zijn geworden. Juist hiervan kan bijv. nederland profiteren.
Denk dat het i.i.g. ASML goed zal doen.

het is niet japan dat zo inoverend is en zeker china niet, zij zijn gewoon massaproducenten. We moeten het zoeken in oorlogsgebieden. Denk aan Israël daar gaat de technologie stukken sneller vooruit als in de "westerse landen".

*Na* nikon maar met 1,2 i.p.v. 1,07 numerical aperture. Wel goed lezen dan hè .

@Jasper Janssen

Dat is niet helemaal correct, ASML was een joint venture van Philips en ASMI die al wat apperatuur maakte voor chipfebricatie, samen zijn ze dit begonnen omdat Philips serieproductie van wafersteppers wou realiseren. Ondertussen heeft Philips haar belang in ASML verkocht

Heb je het artikel gelezen? ASML komt met deze technologie *na* Nikon, die hun grootste concurrent is. En dat is een Japans bedrijf.

ASML is van oorsprong een bedrijf dat voortkomt uit de technologie concentratie in Eindhoven, rondom het Philips Natlab (Op dezelfde soort manier als Microsoft en anderen in Washington State zijn gaan zitten omdat Boeing daar links en rechts mensen ontsloeg), Nikon is een van de grote Japanse kartels die alles zelf doet.

Dat klopt niet helemaal. ASML heeft ook 'kleinere' immersie machines maar daarbij heeft men de NA niet voorbij de 1.0 geduwd omdat de lens dat eigenlijk niet aankan. Deze immerise machines waren de eerste operationele machines die de immersie techniek gebruikten.

/edit: was reactie op Jasper Janssen

Sorry hoor even een correctie. Israels technologie komt doorgaans uit de VS, dat er af en toe iets nieuws komt uit Israel is net als in NL gewoon de normale orde van de dag. Zoveel nieuwe innnoviteiten komen er niet uit Israel. Vaak zijn het verbeteringen van bestaande technieken. Ik bedoel een techniek om een Stinger af te buigen van een vliegtuig, lijkt me dan ook niet echt een mega uitvinding net als ICQ en de Uzi. Dit zijn gewoon niets meer dan een andere toepassing voor al bestaande technologie.
En daarbij worden Israel en Japan gerekend tot de Westerse Landen.

Zoveel nieuwe innnoviteiten komen er niet uit Israel. Vaak zijn het verbeteringen van bestaande technieken. Ik bedoel een techniek om een Stinger af te buigen van een vliegtuig, lijkt me dan ook niet echt een mega uitvinding net als ICQ en de Uzi.

Euh.. de Uzi komt anders wel van Israël

het is niet japan dat zo inoverend is en zeker china niet

Ho even, Japan mag dan wel een massaproducent zijn, ze zijn zeker ook wel innovatief. China misschien niet dan, maar dat komt nog wel met de jaren. Kan ook niet anders, er wonen 1,2 miljard mensen (o.i.d.)

Oosterse landen kunnen ook innoveren hoor... kijk maar es naar het OV in Japan.

kijk eens naar hoeveel er in japan geproduceerd word Japan kan gewoon tot de westerse wereld worden gerekend hoor, om deze gebieden

ASML is een spin-off van Philips. Opgezet in begin jaren tachtig als joint-venture tussen Philips en ASM International. Toen het wat minder ging heeft ASM International haar deel aan philips verkocht. Tot ca 5-6 jaar geleden bezitte philips ~25%, dat ze in '99 aankondigde te verminderen naar <5%.
Van de 5034 werknemers die ASML heeft werken er circa 3000 vast in Nederland. Veruit het grootste gedeelte van de werknemers heeft de Nederlandse nationaliteit. Qua aandeelhouders is veel in handen van buitenlandse (institutionele) investeerders - net zoals van bv. Philips.
Mijn mening is dus dat ASML een Nederlands bedrijf is.

ASML is een AEX fonds, maar een NV is dus niet bepaald Nederlands te noemen, die zijn multinational en iedereen kan aandelen kopen.

Iemand die weet wie de grootaandeelhouders zijn?

Dat was altijd Philips (ASML is een spin-off uit een samenwerking tussen ASMI De Bilt en Philips), maar deze hebben in 2004 hun laatste aandelen verkocht. Voor de rest zal het wel verspreid zijn, en dan zijn belangrijke aandeelhouders vooral pensioenfondsen (ook buitenlandse), investerngsmaatschappijen (als bijv. Talpa), en belegginsfondsen van banken.
Ze worden trouwens ook op de NASDAQ verhandelt.
Edit: Capital Group Int. bezat 10,8% in 2002.

een bedrijf is Nederlands als het hier is opgericht en naar de beurs is gegaan. Dat daarna miljoenen mensen aandelen kunnen kopen deert niet, en het staat aan de AEX genoteerd, en is dus nl

ASML is een joint-venture van ASMI en Philips (allebei Nederlands).

Naast Nikon is de derde speler op de markt Canon (ook Japans). Nikon en Canon produceren goedkope machines voor de massa. Bij ASML is het de doelstelling om "unieke" machines te maken waar je veel geld voor kan vangen. Het is zo'n beetje het verschil tussen Volkswagen en Porsche.

je bedoelt: "Toch wel knap waar een klein land klein in kan zijn"?

Als de centjes maar naar Nederland komen

ASML betaald in Nederland belasting, en ook de lonen worden voor veruit het grootste deel in Nederland betaald.

Da's boerenlogica, McDonalds betaalt voor zijn werknemers in Nederland ook in Nederland maar (toegegeven) het meerendeel van de McDonalds werknemers werkt niet in Nederland. Daarnaast heb je dan bijvoorbeeld weer Philips dat veel werk heeft uitbesteed in lagelonenlanden en dus niet het meerendeel van het salaris in Nederland betaalt maar tóch Nederlands is.

30 miljoen voor zo'n machine. Gisteren werd er op RTL-Z nieuws gezegt dat ASML zijn machines van 12 miljoen niet kwijt kan raken aan de fabrikanten, omdat de huidige machine's van de fabrikanten nog niet op volle toeren draaien.

Dus snelheid is geen goede verkoopsargument. Maar daarentegen de kleinere transistor grote wel. Ofdat dit genoeg is om een machine van 30 miljoen aan te schaffen is dan nog af te wachten.

Voor elk 'groot' bedrijf is € 30 miljoen aardig te overzien. Zeker als het om core business gaat.

Let wel dat dit 1 apparaat is in een productielijn en dat een fab meestal met een of twee tiental lijnen volzit. De hightech fabs van Intel en AMD kosten zo'n 1 a 2 miljard dollar op het moment.

De prijsstelling zal wel vergelijkbaar met die van alle nieuwe techno gadgets zijn.
Ongeloofelijk duur voor de eerste modellen.
Dan normale prijs en later krijg je het bij een doos waspoeder gratis bij.

Het zal wel een erg grote doos poeder moeten zijn om dit er ongemerkt in te stoppen maar prijsstelling is natuurlijk maar wat een gek er voor geeft.

Het goede nieuws is dat Moore's wil nog steeds wet is.

ja, binnenkort zal de machine 29M kosten en over tien jaar mischien 20M. Dure waspoeder schaf jij je aan ;-)

Ik denk dat het met name voor de fabrikanten van processoren en geheugens een uitkomst zal zijn. ze kunnen hierdoor meer transistoren kwijt per mm2 en zal men meer chips uit de wafer kunnen halen. De prijs van de chips zal in 1e instantie wel gelijk blijven om zo een stuk van de kosten terug te kunnen verdienen.

Als de rest van de productielijn deze machine(s) bij kan houden, Het testen van de wafer, snijden van de chips uit de wafer/ in behuizing plaatsen/nogmaals testen, gebeurt bij mijn weten op andere machines.

Lijkt me niet dat het aantal chips dat je uit een wafer haalt bijzonder relevant is. Heb me ooit laten vertellen dat hoewel de staven silicitium waar de wafers van gemaakt worden stervensduur zijn de chips zelf niet meer dan een paar centen hoeven te kosten .. met de nadruk op hoeven!

Het gaat er meer om dat je met kleinere transistors een hogere klok kunt halen bij een gelijk aantal transistors (processors met name) en meer transistors kunt gebruiken bij een gelijke klok (geheugen met name). Er zijn ook wel meer voordelen als een lager verbruik (als het goed is), maar het belangrijkste is dat het nieuwe mogelijkheden biedt.

Sterker nog de ervaring leert dat juist de chips met grotere transistors goedkoop zijn.

Lager gebruik en sneller zijn aan elkaar gerelateerd - je kunt als het ware kiezen welke je doet. Meer onderdelen per oppervlak krijg je erbij cadeau.

Welke belangrijk is hangt van je product af, zoals je al terecht opmerkt. In sommige gevallen (hoge productie) kan het meer chips per plak van doorslaggevend belang zijn.

Chips met grote transistors worden gemaakt door oude apparaten, die meestal hun laatste afschrijving gehad hebben. Zo'n wafelfabriek kost in de orde van een miljard om neer te zetten, dus die afschrijvingen zijn een aanzienlijk deel van de kostprijs. Voor een 14-potig "teller" ICtje maakt het process niet veel uit - de verbindingen met de pootjes nemen meer chipoppervlak in dan de eigenlijke logica.

Ik heb me 9 jaar geleden (vandaar de guldens) laten vertellen dat zo'n plak van 30cm doorsnee zo'n 400 gulden waard was. Gevuld met leuke patroontjes aan het eind van de lijn (na een maand ofzo in de fabriek) levert het ongeveer 40000 gulden op.

(ik heb voor de gein eens zitten rekenen aan zeshoekige chips als vervanger voor vierkante, maar ze wilden er niks van horen)

Die oudere fabs kostten ook geen 1 miljard, 10 jaar geleden kostte een fab maar 100 miljoen en 10 jaar daarvoor maar 10 miljoen.

Lager gebruik en sneller zijn aan elkaar gerelateerd - je kunt als het ware kiezen welke je doet. Meer onderdelen per oppervlak krijg je erbij cadeau.

Zolang warmte de begrenzende factor is wel. Er is alleen een wet die stelt dat je een schakeling alleen als lineair kan beschouwen als de schakeling niet groter is dan x % van de golflengte van de frequentie van de stroom die er doorheen loopt. Daarom moet het dus almaar kleiner om de snelheid te kunnen opschalen, de complexiteit te verhogen of beide.

Als het alleen om warmte zou gaan was het simpelweg een kwestie van zoeken naar betere materialen of het oppervlak vergroten en zou de wet van Moore ook deze eeuw wel blijven opgaan, helaas zo zit de natuur nu eenmaal niet in elkaar....

In aanvulling op wat ik eerder zei, meer chips per wafer betekent natuurlijk meer produktie, dus ook een hogere opbrengst en uiteindelijk mede daardoor een lagere prijs.

Het is alleen niet zo dat het simpelweg een kwestie is van: x % meer chips per wafer -> het kan dus x % goedkoper -> dat gebeurt niet -> we worden opgelicht!! Zoals je zo vaak leest. Vandaar ook mijn reactie.

Is dit systeem dan nogsteeds een TwinScan systeem??? Het ideale van die TwinScanners was namelijk dat het scannen van het opervlak van een wafer en het projecteren van de reticle op een andere wafer tegelijk konden plaatsvinden (er zijn dan dus 2 wafers actief in het systeem). Er staat hierover namelijk niets in de tekst. Er staat alleen dat het de opvolger van de TwinScan serie is.

Ja, dit is een 'gewone' twinscan met een verbeterde lens en vloeistof tussen de lens en de wafer (en nog een hoop verbeteringen). Daarom benadrukt Martin v/d Brink ook dat de XT1700i geen prototype is en zeker de performance kan en gaat halen. Daarbij doelt ie op de dual stage machine van Nikon die net aangekondigd is en zich dus wel in een prototype stadium bevindt. Nikon heeft nogal de neiging om specs te beloven die ze niet of nauwelijks kunnen halen. De XT1700i kan 122 (uit m'n hoofd) wafers per uur halen, dus zegt Nikon dat hun dual stage (wat eigenlijk niet echt een dual stage is heb ik gehoord) er net iets meer kan. Zeker nu de track fabrikanten (transport systemen voor wafers, soort lopende banden) een roadmap hebben aangekondigd van 180 wafers per uur. Deze tracks waren tot voor kort de bottleneck voor ASML machines. Dus nu wordt het voor Nikon ook zaak om meer wafers per uur te halen, anders stappen de fabs massaal over op ASML machines.

dat de XT1700i zou in de tweede helft van 2006 aan diverse klanten geleverd worden betekent toch dat er een markt voor is......

hmm
inmiddels staat er een afbeelding die beter klopt.

Het betreft een een zgn Twinscan scan systeem,en niet een "Numerical Aperture' systeem. NA is een dimensieloos getal waarmee scherpte diepte wordt aangegeven van het optisch systeem, een hogere NA maakt het mogelijk om over een groter focus bereik dezelfde scherpte te houden.
Door gebruik van een vloeistof verandert de brekingsindex tussen overgang van de lens en wafer. daardoor kunnen meer orders/harmonischen 'gevangen' worden, die 'gebruikt' kunnen worden om enerzijds over een grotere range scherp te blijven, of anderzijds op een kleinere range nog kleinere details weer te geven.
kort door de bocht uitgelegd is dit ongeveer wat het doet.

Dat met de vloeistof hadden ze wel eerder kunnen bedenken. Bij de microscoop gebruiken ze al tientalle jaren vloeistof tussen de lens en het onderwerp bij vergrotingen van +-1000 maal.

Naja ik denk dat ze tientalle jaren ook al bezig zijn geweest hiermee

Nee ik vind het juist wel leuk dat we een keer nieuws krijgen op het moment dat het ook daadwerkelijk al bestaat. Das weer is wat anders dan een creditcard formaat hd die we waarschijnlijk nooit te zien krijgen waar de informatie van een voetbalveld aan hardeschijven op zou moeten xD

Nee goede ontwikkeling toppie

Dat is ook al veel eerder bedacht door ASML, maar er zaten wat patenten in de weg... Ook was het probleem dat de lenzen (van CaF2) wegcorrodeerden waar je bijstond als ze in contact werden gebracht met een vloeistof (water in dit geval).

@McCloud : Ja, dit is nog steeds een TwinScan systeem. Een Twinscan systeem maakt het zelfs gemakelijker immersion technologie toe te passen. Je hebt nu een natte en droge kant. De 'meetkant' is nog steeds droog en dus sneller en nauwkeuriger.

Weer een mooi product dat nét boven mijn budget valt

Gewoon jaartje wachten, dat krijg je het bij je waspoeder, aldus TomBu

Het bedrijf reageert hiermee op Nikons introductie, vorige week, van een vergelijkbaar 'hyper NA immersion system' dat meer dan 130 wafers per uur kan produceren.

Lijkt zoals het hier staat alsof je er een kale silicium plak instopt en er een halve minuut later een kant en klare plak met ic's uit komt.
Een ic bestaat over het algemeen uit meerdere maskerlagen en ASML maakt machimes die die maskers op de wafer projecteert. En dit nieuwe speeltje kan dat blijkbaar heel snel.
Vóór en tussen die maskerstappen zitten nog vele andere processen (ion implant, metaal depositie, etch, strip, enz, enz...)

Doorlooptijd is altijd veel langer, maar als je een productielijn met deze machine in 100% bedrijf hebt zal er dus wel iedere 30 seconden een wafer uitkomen (of waarschijnlijk iedere 5 minuten een tray met 10 wafers).

ik heb ervoor gewerkt en geloof me .. zij zijn op en top nederlands....

Vraag me alleen af of je dat positief of negatief bedoelt