ASML levert als eerste lithografiebedrijf een immersion tool

Onze Nederlandse trots in de microelektronicaindustrie, ASML heeft als eerste lithografiebedrijf in de wereld een immersion lithographie systeem verkocht, de Twinscan XT:1250i. Het gelukkige bedrijf dat het apparaat in het derde kwartaal van volgend jaar in ontvangst mag nemen is de grootste foundry ter wereld: Taiwan Semiconductor Manufacturing Company (TSMC).

In een immersion tool zit er tussen de lens van de belichtingseenheid en de silicium wafer vloeistof. Hierdoor is er een andere brekingsindex tussen lens, vloeistof en silicium dan wanneer er gewoon lucht wordt gebruikt. Dit heeft volgens ASML een positief effect op de depth of focus. Dit betekent dat er bij het scherp stellen van het masker op de wafer meer marge is om fouten te maken wat het productieproces uiteraard ten goede komt en er dus met een constantere kwaliteit kan worden geproduceerd.

Reacties (30)

[TD-er]

Op zich best wel logisch dat ze scherper kunnen focussen wanneer ze door vloeistoffen heen schijnen. (ff de middelbare school lenzen-theorie ophalen... in een dichtere stof breekt het licht naar de normaal toe, bij de overgang van een dichtere stof naar een minder dichte stof breekt het van de normaal af. Oftewel als je niet meer de overgang naar lucht hebt, kun je beter loodrecht focussen)

Maar wat ik me afvraag is hoe ze van een vloeistof de brekingsindex zo constant kunnen houden, dat het ook echt nauwkeuriger werkt. Je kunt ervan uit gaan dat die vloeistof een mengsel zal zijn van meerdere stoffen. De vloeistof zal beïnvloed worden door de energie van het licht en mogelijk dus een andere brekingsindex krijgen.

[Verwijderd]

Dat is volgens mij ook een van de redenen dat het nog niet iedereen gelukt is om vloeistoffen toe te passen. Ik kan me voorstellen dat de vloeistof ook vrij moet zijn van beweging door convectie, aangezien dat ook de brekingsindex beinvloed. We hebben het hier over het sub-micron bereik. Als de laserstraal iets anders geleid wordt, dan zit je naast de gewenste plek.

[I.R. Overclocked]

Klinkt leuk allemaal... Gebruik je dit om CPU's te bouwen ofzo??

[Confusion]

Klinkt leuk allemaal... Gebruik je dit om CPU's te bouwen ofzo??

En semiconductors

zijn cpu's geen halfgeleiders ?

Nee, dat zijn de transistors die er op zitten toch??

Er is hier een beetje sprake van spraakverwarring. Halfgeleiders zijn geen systeemelementen: 'halfgeleider' is de aanduidig voor een bepaald soort materiaal. Door verschillende halfgeleidende materialen op een bepaalde manier met elkaar te koppelen, kan je een transistor bouwen. Door transistoren op een bepaalde manier te koppelen, kan je schakelingen die als 'logische gates' werken bouwen. Door die weer op een bepaalde manier te schakelen kan je ALU's bouwen (de elementaire rekeneenheden in een CPU) en door die weer op een bepaalde manier met elkaar te verbinden en er een heleboel voorzieningen en slimmigheden omheen te prutsen, kan je een CPU maken.

Afgezien van de 'bekende' CPU's worden er nog veel meer verschillende soorten 'integrated circuits' gebouwd. Uiteindelijk vormen de Pentiums en de Athlons maar een fractie van de totale productie.

[Verwijderd]

Bedankt voor de heldere uitleg, scheelt weer een hoop 'Confusion'

[Verwijderd]

Yep
En semiconductors
Veel plezier: www.fokus.gmd.de/linux/HOWTO/pdf/CPU-Design-HOWTO.pdf Andere links zijn ook welkom maar hier staan ook een boel verwijzingen in.
@abraxas
sssst niet mijn smile verpesten

[Verwijderd]

zijn cpu's geen halfgeleiders ?

[Spacecowboy]

Nee, dat zijn de transistors die er op zitten toch??

[OverSoft]

en wat zijn transistors... damn... sommige mensen...

[High Quality king]

Zouden ze deze technologie nou ook gaan toepassen in fotocamera lensen ?

Bij een fotocamera kan je op bepaalde momenten ook wel wat meer scherptediepte gebruiken.

[Atomsk]

Nou, ga je gang: pak een onderwatercamera en gooi de hele scene die je wilt fotograferen in het water.

Bij immersion gaat het om het medium tussen de buitenste lens en het object zelf. Normaal lucht dus, maar bij zeer sterke objectieven in een microscoop moet je olie gebruiken tussen de lens en het dekglaasje, anders zie je niks.
Je kunt dus niet de scherptediepte verbeteren door vloeistof tussen de lenzen zelf. De scherptediepte wordt beïnvloed door het diafragma: hoe kleiner, hoe groter het scherpteverschil tussen onderwerp en voor- + achtergrond.

[n4m3l355]

is het nou zo dat het voor een litho bedrijf het vor het eerst voorkomt dat dit product geleverd wordt of is dit z'n eerste in z'n soort?

[Ralph Smeets]

Dit is de eerste in zijn soort Nog nooit eerder verkocht ASML, of een van zijn concurrenten zoals Nikon, een immersion tool.

[AlterEgo]

Als je een steen in een beekje gooit, is de steen ook een "immersion tool"

[Spockz]

die steen is dan ook nog nooit verkocht zijnde een immersion tool

[Verwijderd]

nee, volgens mij betekend het een hogere effciency per wafer, omdat de lens zich per wafer aanpast aan de standaard parameters.

ben wel beetje trots op neerlands enige echte high-tech bedrijf (thales en philips zij niet echt nl meer helaas)

The Dweeb

[4VAlien]

"nee, volgens mij betekend het een hogere effciency per wafer, omdat de lens zich per wafer aanpast aan de standaard parameters."

Hee als die parameters standaard zijn dan is er ook geen aanpassing nodig. Het is gewoon zo als het er staat, vanwege de andere brekingsindex kan er beter gefocust worden. En het is niet zo dat de ene wafer wat ronder / dikker / schuiner is dan de andere, de foute worden gewoon gerecycled.

[Adm.Spock]

Ehm, ASML was ooit van Philips........

[Fulcrum2000]

Uh, onder welk land wilde je Philips laten vallen dan

[Verwijderd]

Leuk als je ziet wat er gebeurd met dingen die het bedrijf levert waar je werkt..

Zonder ons is ASML niets namelijk... Wij leveren de meetsystemen voor hun (de details mag ik jammer genoeg niet geven.. maar het is super om te zien hoe het werkt! )

[windancer]

Wij leveren de meetsystemen voor hun

Heb jij enig idee hoeveel "meetsystemen" er in zo'n machine zitten ?

[obimk1]

water is de gebruikte vloeistof, en water kun je heel zuiver maken.

Door een betere 'depth of focus', DOF heb je meer 'bandbreedte' om kleinere lijntjes te maken.

Bij de brekings index tussen lucht en glas is de maximale hoek waaronder de straal kan breken beperkt. De lichtstraal wordt opgesplitst in zgn orders, als de brekingsindex groter wordt, wordt de hoek groter en kunnen er meer orders gebruikt worden. Door water te gebruiken, vergroot je de brekingsindex. Meer orders betekent scherpere kleinere lijntjes.
Dus kleinere chips, en dus meer chips per wafer.

dit is heel simpel uitgelegd, kort door de bocht, wat het doet.

[JeeCee]

Wanneer wordt dit ding geleverd? Ga volgend jaar ook even bij TSMC kijken/werken, wil dat wel eens even zien.

P.S.: ASML was vroeger van Philips EN ASMI, de andere Nederlandse producent van chipmachines

[cdwave]

Overigens, ze hebben hem dus alleen maar VERKOCHT, hij bestaat dus nog niet.

De XT:1250i is de immersie versie van de XT:1250, en die bestaat ook nog niet (ook al is die ook al tig keer verkocht).

Zo lees je in het bericht van ASML zelf, een beetje tussen the regels door: "The XT:1250i is the immersion version of ASML’s recently announced TWINSCAN XT:1250..."

Q3 2004 moet de 1250i in Taiwan staan. Dus ASML heeft nog een goede 9 maanden om 'm te produceren. Gezien de historie zal dat wel lukken.

[hardwareaddict]

Ik wil niet lullig doen maar het kan geen kwaad te vermelden welke resolutie dit apparaat op werkt.

[windancer]

Dezelfde als de "gewone" 1250 van ASML en die doet 65 nm lijntjes volgens de website van ASML.