Intel heeft aangekondigd dat ze voor hun toekomstige 45nm-proces geen gebruik zal maken van 157nm-lithographiescanners. Intel hoopte eerder dat het zowel 193nm en 157nm-scanners kon inzetten voor het fabriceren van 45nm-chips, maar een aantal problemen met de 157nm-technologie hebben ervoor gezorgd dat Intel hiervoor alleen 193nm-scanners zal toepassen. Dit is een grote klap voor Intel's leveranciers van lithografiescanners, waaronder het Nederlandse ASML:
In its new roadmap, which was disclosed today (May 22), Intel plans to deploy 193-nm scanners for three nodes: 90-, 65-, and 45-nm. The primary candidate for the 32-nm node, which is slated for 2009, is EUV, Silverman. �Intel will continue to monitor other potential lithography technologies,� he said.
The company has not ruled out using 157-nm tools for the 32-nm node, but the technology is on the outside looking in at Intel. One of the problems with 157-nm tools is obtaining and growing the required calcium-fluoride materials for the lithography lens, Silverman said. �The material is very expensive and the supply is very low,� he said.
There are other issues. Photoresists and pellicles for 157-nm tools remain immature--if not non-existent. And researchers found unsuspected high levels of intrinsic birefringence in the lens materials, which will severely affect lens design and images at the wafer level in 157-nm tools.