Het Nederlandse ASM Lithography zal in 2003 tenminste twee exemplaren leveren van een nieuwe, tien miljoen dollar kostende machine waarmee kleinere chips geproduceerd kunnen worden, zo meldt Reuters. De machine, genaamd Micrascan VII, gebruikt 157nm-technologie om circuits te produceren met een grootte van 65 nanometer, waar huidige machines 80 nanometer-circuits kunnen fabriceren. De eerste Micrascan VII zal geïnstalleerd worden bij het Europese Interuniversities MicroElectronic Center (IMEC), een R&D-instituut met steun van alle grote chipfabrikanten. ASML moet per half jaar negentig machines verkopen om de kosten terug te verdienen en zal dit in de tweede helft van het jaar reduceren tot tachtig machines, door middel van ontslagen. De verwachte verkoop voor de komende zes maanden bedraagt zestig exemplaren:
"ASML and IMEC both have a track record of commitment to research and development. IMEC's mission is to stay a few years in front of industry needs while ASML brings the right tool to the right customer at the right time. It is a mutually beneficial partnership," said Doug Dunn, president and CEO, ASML. "This shipment to IMEC plus the orders from other customers, who have asked not to be named, will advance the development of 157 nm technology."