Intel, ASML werken samen aan toekomst chipfabricage

Je hebt er waarschijnlijk al wel eerder over gehoord. De huidige technologie van chips bakken kan nog maar een jaar of 5 tot 10 doorgaan met beter worden, en daarna moet er iets radicaal nieuws gevonden worden. Op dit moment wordt er het meeste onderzoeksgeld uitgegeven aan twee concurrenten: de ene, EUV, wordt gesteund door onder andere Intel en ASML, de andere door bijvoorbeeld Nikon (de grootste maker van wafersteppers).

In dit artikel van Scientific American staat in detail uitgelegd hoe de variant die Intel ondersteunt, EUV (Extreme UltraViolet lithography) werkt. In feite is het een doorontwikkeling van de huidige techniek, maar dan met veel kleinere golflengtes, bijna rontgenstraling. Met dit type techniek kan doorgewerkt worden totdat de fysieke grenzen bereikt zijn: je kunt er transistoren mee bouwen van slechts 40 atomen groot, en chips met een miljard transistoren (ter vergelijking, een Athlon heeft er zo'n 15 miljoen, een GF2 25 miljoen). Maar de concurrent, die gebruik maakt van parallelle bundels met elektronen in plaats van licht, belooft ook dit soort chips te kunnen maken.

Bij beide systemen is het grootste probleem dat je niet zoals met de huidige techniek simpele lenzen (nouja, hele dure niet-echt-simpele lenzen ) kunt gebruiken om alles op elkaar te richten, omdat er gewoonweg geen glas is waar dit soort licht doorheen komt. Bij de EUV technologie wordt daarom alles met spiegels gedaan. Deze spiegels moeten bovendien _erg_ precies worden geslepen:

And the mask will distort the image if it contains more than a handful of defects measuring even 50 nanometers, about 2,000 times narrower than the width of a human hair. The development team sometimes muses on ways to describe to the outside world the relative size of a 50-nanometer defect, comparing it to a search for a golf ball in a state the size of Maryland, a basketball in the state of Texas or a hair on a football field. [break]Naast de interessante uitleg over hoe deze machines in elkaar steken, is er nog een interessant item uit het artikel, vooral voor ons Nederlandse tweakers:[/break] Along the way, another hurdle Intel and company have faced is convincing Washington to let a foreign company, the Dutch supplier ASML, enter the consortium. Four years ago the only major American tool supplier in the consortium was SVG. Ultratech Stepper, an early U.S. partner in EUV research, had to settle grudgingly for a minor role when it was viewed as lacking the necessary financial resources to develop an EUV product line. ASML, moreover, has subsequently bought SVG, which would leave ASML as the primary beneficiary of this technology transfer. Intel has "done everything in their power to give the technology on a silver platter to ASML," says David A. Markle, chief technology officer of Ultratech Stepper, adding that "Intel has approached this situation with the attitude that what's good for Intel is good for America."

Goed nieuws voor ASML dus. Tijd om weer eens wat aandeeltjes te kopen nadat ze recent zo gezakt zijn? De tijd zal het leren. Zeker is dat EUV niet voor 2005 in commerciele productie genomen zal worden, en de product manager van ASML vraagt zich zelfs af of dat een haalbare datum is.

Reacties (21)

[Delerium]

Hoop gewauwel over politieke implicaties terwijl met deze technieken de wet van Moore nog een jaar of 5 extra getrokken kan worden.
Rontgen en elektronen-bundel etsen blijkt volgens dit artikel namelijk ook een no-go te zijn, dus om dunnere bannen op een wafer aan te brengen moet je wer wat anders verzinnen (Dat rontgen-verhaal heeft al 1 miljard aan research gekost en is eigenlijk nu officieel dood verklaard). De enige mogelijkheid die overbleef is eigenlijk licht van kortere golflengte.
Licht van 13 nm is werkelijk ongelooflijk. Bestaande technieken worden direct gepasseerd omdat de klassieke lenzen gewoon de lichtbundel absorberen (golflengte is gewoon te laag). Om de boel te focussen zijn ze overgestapt op spiegels die hetzelfde effect bereiken, maar deze spiegels zijn gewoon ongelooflijk moeilijk zuiver uitgelijnd te krijgen (de telescoop werkt ook met spiegels ipv lenzen om artefacten te voorkomen).

De vraag die opkomt: wat als deze technologie geimplementeerd is? Na 5 jaar is dat dan ook weer 'oude' koek en hoe dan verder?

In een ander nummer van Scientific Amaericain werd uit de doeken gedaan hoe ze met nanotubes (fullerenen) ook semi-geleiding konden bereiken en daar aardige resultaten mee boeken. Het implementeren van atoon-schaal moleculen is welliswaar retemoeilijk, maar deze technieken kunnen over 15 jaar tot groei komen.
Asynchrone kloksnelheden werken ook vrij leuk, aangezien de chip niet op andere delen hoeft te wachten.

De Double-pumped ALU van de p4 is ook wel een mooie strategie nu, maar met Foster zou een dual-CPU op 1 die kunnen opstaan en dan krijg je pas echte SMP (op 1 socket ).

Betreffende ASML, zoals MisterM aanhaalde is ASML niet meer dan een uitvoerder van de plannen van Intel. Export van knowhow is lastig, maar ik denk dat tussen R&D en uitvoering daarvan de USoverheid wel begrip kan hebben als Intel het zo wil en in de US geen bedrijven zijn die dat kunnen.

[PokkeNoise]

[overdenkingsmodus] Sorry, maar die US of A people zijn IMHO erg hypocriet en Big-Brother achtig bezig, gelet op de uitspraak En een horde die Intel en............ is het overtuigen van Washington om een Nederlands bedrijf toe te laten......

Is dit het hetzelfde als met export restricies over gecodeerde email, software en wat meer, waar ze bang zijn dat er technologie, gegevens etc uitgewisseld worden waar geen controle over is

En dat voor een land waar men altijd loopt te gillen over vrijheid van mening en vrije handel. [/overdenkingsmodus]

De Nederlandse handelgeest laat toch weer van zich spreken, het juiste bedrijf blijkt door ASML aangekocht om de mogelijkheid te hebben in de race mee te lopen.

En de techniek van Nikon? Japan was toch altijd goed in kopieren en die kopieen verbeteren?

[windancer]

In consumentenelectronica heb je misschien gelijk, maar in andere velden zijn Japanse producten toch echt superieur, en dat al een hele lange tijd.

Denk maar aan spiegelreflexcamera's : Canon, Minolta, Pentax, etc. etc.

In wafersteppers waren ze ook een tijd de belangrijkste innovator, maar die postitie heeft ASML nu van ze overgenomen.

De electronenstraaltechniek van Nikon heeft het probleem dat electronen elkaar afstoten. Dit weerhoudt ze ervan om een electronenstraal met hoge intesiteit te krijgen dus die machines zullen niet zo snel chips kunnen produceren als die met EUV werken.

[Sardia]

ASML werkt al jaren mee aan het EUV project bij Sandia labs. Een voorwaarde voor hun om mee te doen was dat ze ook steppers/scanners in de USA moesten gaan maken.
Ze hebben daar alleen geen fab, dus dat werd lastig.

De ingenomen aankoop van SVGi is daarbij een grote stap in de goede richting.

[Sardia]

Canon mag dan wel goede spiegelreflexcamera's maken, maar dat is niet het enige wat in steppers zit(spiegels+lenzen).
Bij step&scan systemen gaat het vooral om precisie, micromechanica en natuurlijk optiek. ASML gebruikt lenzen van 's werelds eerste/beste lenzenfabricant: Carl Zeiss.
De micromechanica in een stepper is van dusdanige precisie dat je het zou kunnen vergelijken met 2 boeing 747's die met 1000km/h op 1 mm afstand van elkaar vliegen. Dat zie je niet in de meeste spiegelreflexcamera's ;-)

[CrazyJoe]

ASML had tot voor kort ook een onderzoeksteam dat zich bezig hield met onderzoek naar electronenstralen .

Ze zijn echter tot de conclusie gekomen dat het gebruik van electronenstralen teveel problemen met zich brengt en ASML heeft dit team opgedoekt om zich volledig te richten op EUV.

Het is dus niet zo dat Nikon nu zo extreem innovatief bezig is.

--edit--
Dubbelpost, hoezo dubbelpost.

[blade181]

Ik denk niet dat ASML toegang krijgt van Washington nu bush aan de macht is..die lul zorgt ervoor dat al het goeds wat clinton heeft gedaan weer ongedaan te maken met het voorbeeld genomen in japan....(het verdrag tot minder uitstoot van gassen). Bush is er zo op gehamerd om de VS een dominant land te maken..en te houden dat dit niet ten goede komt van de rest van de wereld. De VS wil op dit moment alleen binnenlandse bedrijven hebben om zo te laten zien dat de VS het MACHTIGSTE land is van de wereld. Nou ja moeten we daarmee genoegen nemen....??? Nee maar wat kun je er aan doen???

[drZymo]

Uhm ASML heeft een departement in Amerika. Als het echt zo lastig gaat worden kunnen ze altijd nog het hoofdgebouw daar naar toe verhuizen. En een amrikaans bedrijf worden met een vestiging in NL.

Dus

[Anoniem: 22938]

Daar komt nog wel wat meer bij kijken. Nederland en Eindhoven zullen er allebei vast wel wat voor over hebben om ASML in Eindhoven (Veldhoven) te houden. Daarnaast is de nederlandse staat bij mijn weten ook nog eens aandeelhouder van ASML. Als je dan gaat kijken welke bedrijven zich nu allemaal in Brabant zijn aan het vestigen, twijfelt ASML echt wel een aantal maal voordat ze zomaar naar Amerika verhuizen. En dan heb ik het nog niet eens over de gedwongen verhuizingen van het personeel naar de USA als het zover zou mogen komen. Ik zie het dan ook voorlopig niet gebeuren dat het hoofdkantoor hier weggaat.

[windancer]

Zoals vaak in amerika zijn het de lobby's die de politieke agenda maken.Nu is Ultratech aan het lobby-en dat ASML SVG niet mag overnemen. Gelukkig zijn de chipproducenten aan het lobby-en dat ASML SVG wel overneemt en zo het voorbestaan van SVG zeker stelt.

[ErectionJackson]

Oke, deze reactie is wel off-topic, maar ik moet zeggen dat ik deze manier van nieuwsposten echt enorm waardeer Even een duidelijke uitleg gegeven over wat er in het verhaal staat, zodat precies duidelijk wordt waar het over gaat, i.p.v. In 3 zinnetjes een nieuwsposting aankondigen. Volgens mij maakt Femme ook vaak van die wat langere posts. Zouden alle nieuwsposters moeten doen Dit is echt veel fijner zo

edit:
foute woordkeus

[Jasper Janssen]

Offtopic is het zeker, maar toch bedankt. Dit soort momenten is waar je het allemaal voor doet

[Anoniem: 15061]

Probleem met de SVG overname is dat SVG ook lenzen en andere producten maakt voor defensie van de US of A. En daar zit de Amerikaanse regelgeving dwars, want een militair (gerelateerd) bedrijf in handen van een buitenlands bedrijf, dat kan natuurlijk niet.

(Uit betrouwbare bron vernomen... Ik werk sinds 1 maart bij ASML)

[Anoniem: 25538]

Best wel trieste titel van dit nieuws.

Intel trekt de hele EUV-kar en ontwikkelt de laatste jaren vrijwel alles of sponsert het. ASML is door Intel als enige bedrijf capabel genoeg geacht om deze techniek toe te passen (en Intel dwingt ASML om deze machines ook te bouwen door orders te plaatsen). Staat er in de titel dat ASML samenwerken zodat de nederlanders zich weer op de borst kunnen kloppen. ASML ziet meer toekomst in andere technieken zoals werken met electronenbundels :-).

[Sardia]

Intel is (nog) geen klant van ASML. Intel is klant van SVGL en een vage japanner(nikon of canon, niet zeker).
Met de aankoop van SVGi heeft ASML natuurlijk Intel als prospect-klant.

[Jasper Janssen]

Tja, ach, je kunt maar een beperkt aantal bedrijvennamen in zo'n titel krijgen, en dan neem je dus degene die het interessantst zijn voor de lezer..

[Anoniem: 3043]

de andere door bijvoorbeeld Nikon (de grootste maker van chip-bak-apparatuur).

laat ASML nou net de grootste zijn.....

[JeroenB]

ASML is zeker niet de grootste. Applied Materials uit de VS en TEL uit Japan zijn vele malen groter dan zowel Nikon als ASML. Wat de schrijver bedoelt is denk ik steppers, in plaats van "chip-bak-apparatuur", want om chips te bakken zijn veel meer apparaten nodig. ASML en Nikon zijn wel vrijwel de enige stepper-makers van enige omvang, hoewel Cannon hier ook nog wel meespeelt.

Maar als het over steppers gaat, dan heeft ASML alleen een groter marktaandeel als de klanten van SVG worden meegerekend. En die deal is nog niet rond, dus voorlopig is Nikon de grootste nog.

[Jasper Janssen]

Hm, bedankt voor de informatie. In het oorspronkelijke artikel was onduidelijk of ze nu steppers of algemeen apparatuur bedoelden , en zelf weet ik er dus niet genoeg vanaf om dat soort dingen te detecteren.

[marteltor]

Ik ben het met Jasper eens,
vooral asml aandelen kopen!