Het doel van Intel en een groot aantal andere bedrijven om binnen vijf jaar met extreme UV straling chips te bakken is weer een stuk dichterbij gekomen nu IBM lid is geworden van het EUV LLC consortium. Het is echter nog steeds niet zeker of de doelstellingen bereikt kunnen worden en het bedrijf blijft daarom ook betrokken bij een project van Nikon waarbij ELP (parallel electron-beam projection lithography) wordt gebruikt voor het maken van kleinere transistors. Het is in ieder geval duidelijk dat de huidige technologieën het niet veel langer zullen uithouden en dat is een probleem dat niet door een bedrijf kan worden opgelost:
IBM is supporting a parallel NGL effort, electron-beam projection lithography, that draws upon the company's many years of using electron-beam systems for ICs used in its mainframe computers. Gomba said Nikon has come up with ideas to boost the throughput of the EPL systems — ideas that Nikon is not ready to disclose at this time — that would reduce the "cost of ownership, or cost of lithography, for EPL."
[...] "EUV has a fair amount of industry support, which is one reason why we are joining," said John Warlaumont, director of silicon technology at IBM. "Both EPL and EUV have their place, and the time is now to work hard on these technologies. I believe we will need to have an NGL solution for the sub-70-nm technology node. It is very important that we do have a solution. . . . This is not something that a single company can do."
Chuck Gwyn, director of the EUV LLC, said other companies are in negotiations to join the consortium. Asked if Nikon and Canon might join, Gwyn said there have been serious discussions with the two Japan-based lithography vendors, but declined to be more specific.
Het Nederlandse ASML wordt door het consortium als een belangrijke speler gezien, maar in het artikel wordt gemeld dat dit bedrijf op het moment een beetje overhoop ligt met de Amerikaanse regering. De geplande overname van de Silicon Valley Group is namelijk uitgesteld door de Amerikanen, omdat het op te kopen bedrijf onder andere werkt aan werkt aan optica voor spionage-satelieten en dus onder de nationale veiligheid valt. Lees het hele verhaal bij EETimes.