Chipmachinefabrikant ASML heeft gisteren een nieuwe scanner aangekondigd voor de productie van 200 en 300mm wafers met 0,10 micron technologie. Deze AT:1100 scanner is naar eigen zeggen 's werelds meest geavanceerde argon-fluoride 193mm belichtingsapparaat voor 300mm wafer processing. ASML heeft inmiddels de eerste orders ontvangen en hoopt eind dit jaar met de levering van de AT:1100 te beginnen. Onder de klanten bevinden zich volgens insiders Infineon, Philips, Micron en TSMC. Meer technische details vind je in dit artikel van Silicon Strategies:
The AT:1100 is targeted for chip makers in the cutting-edge DRAM, logic, silicon foundry and related markets, said Roger Irwin, product manager for ASML. The machine can also handle the production requirements for a new breed of complex chips, including microprocessors with more than 75 million transistors, Irwin said.
"This is our first 193-nm tool geared for 300-mm wafer processing," Irwin said. "With this product, ASML has clearly taken the lead in the 193-nm [tool] market," he said in an interview.
[...] A key to ASML's new 193-nm tool is the company's Twinscan 300-mm platform. The Twinscan dual-wafer stage technology enables wafer processing to take place in parallel.