SiliconStrategies meldt dat Intel wel eens Nikon zou kunnen verkiezen boven het Nederlandse ASML voor de productie van 193nm scanners. Deze scanners zullen gebruikt worden voor de productie van de 'kritieke lagen' van chips die op 0,09 micron gebakken worden. Deze mega-order is echter nog maar een eerste stap in het opbouwen van productiemiddelen voor Intel. ASML maakt een goede kans alsnog een order binnen te slepen voor scanners die het minder kritieke werk moeten verrichten. Voor die order zijn echter Nikon en Canon ook nog in de race. Ook zou het nog kunnen dat Intel bij verschillende fabrieken voor verschillende scanners kiest, aangezien het bedrijf meestal niet de hele productie laat afhangen van de hardware van één fabrikant:
"The decision for the non-critical, mix and match tool set to complement the Nikon 193-nm stepper is still being evaluated between the Nikon NSJ [tool] and the ASML TwinScan 248-nm systems," according to the report. "The path of least resistance would favor the Nikon NSJ due to consistent lens field size and alignment scheme, but Intel is known not to rely on a sole vendor for the critical process steps," the report added.
Others were quick to point out that Intel may chose one or more 193-nm tool vendors in order to meet the different requirements within its various fabs. In the future, Intel may use 193-nm tools from Nikon as well as ASML and Canon, sources said.