Nikon klaagt ASML in Nederland en Japan aan wegens inbreuk op patenten op het gebied van immersielithografie, de techniek die ASML-machines gebruiken voor de productie van chips. In Duitsland klaagt Nikon Carl Zeiss aan.
Nikon claimt dat ASML inbreuk maakt op elf patenten die technieken voor immersielithografie beschrijven. Het bedrijf heeft zaken aanhangig gemaakt bij de Gerechtshoven in Den Haag en Tokio. De zaak tegen Carl Zeiss speelt in Mannheim, Duitsland, en heeft betrekking op de optische onderdelen die deze fabrikant maakt voor de immersielithografiemachines van ASML. Nikon eist een schadevergoeding en een stop op de verkoop en levering van de machines.
Nikon claimt eind jaren negentig, begin 2000, pionierswerk verricht te hebben bij de ontwikkeling van immersielithografie. In 2001 klaagde Nikon ASML al in de VS aan wegen patentinbreuk. De bedrijven schikten deze zaak in 2004, waarbij patenten onderling in licentie verstrekt werden. Sommige licenties hadden geen einddatum, maar bij andere was die vastgesteld op 31 december 2009. Afgesproken werd eveneens elkaar niet aan te klagen tot 31 december 2014.
Over de patenten waarvan de licentie is verstreken, hebben de bedrijven volgens Nikon in de afgelopen jaren onderhandeld, terwijl ASML nieuwe machines uitbracht die gebruikmaakten van de in de patenten beschreven technologie. Nikon zag daarop naar eigen zeggen geen andere optie dan om ASML en Carl Zeiss aan te klagen.
ASML ontkent de beschuldigingen van Nikon en zegt zich ferm te gaan verzetten tegen de aanklachten. Volgens het bedrijf uit Veldhoven heeft Nikon geen serieuze stappen ondernomen om te onderhandelen en is het juist ASML geweest dat meerdere keren geprobeerd heeft de bestaande licentieovereenkomst te verlengen. Het bedrijf zegt alle middelen in te gaan zetten om zich te verdedigen.
Meer dan driekwart van ASML's omzet van 2016 kwam uit de verkoop van immersielithografiemachines, een bedrag van 3,5 miljard euro. Immersie is sinds begin deze eeuw de dominante 192nm-lithografievariant. Door lenzen met een laagje water te combineren is licht uit grotere invalshoeken samen te brengen, waardoor kleinere lijntjes te beschrijven zijn. ASML is marktleider met deze machines, gevolgd door Nikon.