ASML wint van Nikon in octrooizaak over inbreuk op patent immersielithografie

De rechtbank in Den Haag heeft bepaald dat ASML met immersielithografie voor de productie van chips geen inbreuk heeft gemaakt op een bepaald patent van Nikon. Volgens de rechter is het patent nietig en kan er dus geen sprake zijn van een inbreuk door ASML.

Het gaat in deze zaak om een patent dat Nikon in 2004 heeft aangevraagd en op 27 mei 2015 heeft verkregen. Dit bewuste Nikon-octrooi betreft een belichtingstechnologie die reticlepatronen met verschillende onderlinge afstanden in het patroon in één keer met hoge precisie en contrast kan overbrengen op een wafer. Volgens de rechter is dit octrooi niet inventief in het licht van twee andere, oudere octrooien, waarvan er een van ASML is en het andere in het bezit van Carl Zeiss. Daarom is het octrooi nietig verklaard. ASML maakt bij de immersielithografie gebruik van optische onderdelen van het Duitse bedrijf. Nikon eiste een schadevergoeding, en een stop op de verkoop en levering van de machines, maar die eis is dus afgewezen.

Specifiek gaat het bij het Nikon-patent over een afbuigelement voor het genereren van een aantal lichtstralen via een diffractierooster. Volgens Nikon wordt een verbeterde belichting bereikt door het licht met het afbuigelement af te buigen, waarbij verschillende lichtstralen worden gegenereerd die naar een pupilvlak worden geleid. Een pupilvlak is een vlak voor of achter een lens waarop de lichtstralen samenkomen. Dat maak het mogelijk om tegelijkertijd patronen over te brengen met zowel fijne als grovere structuren.

De rechter gaat niet mee in de bewering van Nikon dat een patent van Carl Zeiss inbreuk maakt op het patent van Nikon, omdat in het patent van Carl Zeiss ook sprake zou zijn van een afbuigelement. Het gaat bij het patent van Carl Zeiss om een aperture stop en volgens de rechter is niet hard gemaakt dat dat niet als afbuigelement is te beschouwen. Ook het patent van ASML voorziet volgens de rechter al in de technologie om verschillende patronen, zowel grove als fijne, tegelijk met hoge resolutie op een wafer aan te brengen. Dat maakt dat het Nikon-patent door de rechter wordt gezien als niet inventief en dus nietig, waarmee geen sprake kan zijn van een inbreuk op de intellectuele eigendom van Nikon.

Hiermee is de juridische strijdbijl nog niet begraven. Het begon al in 2001 toen Nikon ASML in de VS aanklaagde. Deze zaak werd in 2004 geschikt, waarbij patenten onderling in licentie werden verstrekt. Er werd ook afgesproken elkaar niet aan te klagen tot 31 december 2014. Nikon claimde in 2017 dat ASML inbreuk maakt op elf patenten en heeft toen ook een zaak aanhangig gemaakt in Tokio. Daarnaast is Nikon in Duitsland een zaak gestart tegen Carl Zeiss. ASML zei in 2017 dat Nikon geen serieuze stappen heeft ondernomen om over de licentieovereenkomsten te onderhandelen.

Tegenover het Eindhovens Dagblad zegt een woordvoerder van ASML dat de uitspraak in lijn is met de verwachtingen en dat het bedrijf vertrouwen heeft in het verloop van de resterende patentzaken. Nikon zegt dat het in beroep gaat tegen de uitspraak van de Haagse rechtbank.

Reacties (36)

[MSalters]

Wow. Die rechter heeft het niet makkelijk gehad. Ik heb het vonnis gelezen, Na een korte verhandeling over bevoegdheid begint de rechter met het vaststellen van de technische achtergrond. Bij paragraaf 4.14 dacht ik, "cool - plaatje. Dit lijkt erop dat de rechter het echt goed wil uitleggen".

Dat mag je dus een understatement noemen. Een paar paragrafen verder wordt diffractie behandeld, tot en met de relevante formule. Die inleiding blijkt ndoig om vervolgend diep de engineering in te duiken van on-axis en off-axis belichting.

Ik was wat gepikeerd door de samenvatting van Tweakers over "verschillende patronen, zowel grove als fijne,". Dat is het probleem, en een probleem kun je niet patenteren. Zowel Nikon als ASML weten dat, zou dat dus werkelijk in de uitspraak hebben gestaan?

Nee dus. Na het natuurkunde-college brengt de rechter inderdaad het probleem naar voren wat de relevante patenten proberen op te lossen. Dat is alleen maar de inleiding. Vervolgens volgt er een serieus wetenschappelijk betoog waarom het Nikon patent gelijk is aan het eerdere ASML patent, behalve op 1 aspect van aperature stops, en daar legt de rechter uit hoe dat al vermeld staat in een Zeiss patent.

Ik ben onder de indruk. Iedereen die denkt dat rechters geen verstand hebben van techniek zou dit vonnis moeten lezen.

[leoBO]

Dat komt waarschijnlijk voor een groot deel door een van de drie rechters, mr. ir. De Vries; vroeger octrooigemachtigde en dus technisch opgeleid. Die vonnissen zijn niet altijd inhoudelijk zo geweldig. Wel staan de Nederlandse rechters bekend als kwalitatief goed, na de Duitsers en de Engelsen.

[Reactie gewijzigd door leoBO op 22 juli 2024 16:10]

[kidde]

Het lijkt me toch ook zeker een verdienste van de advocaten van ASML, die hebben aan de rechter uitgelegd hoe het volgens (de uitvinders bij?) ASML zit.

Gelukkig hebben we professionele rechters bij 1 'centrale' patent-rechtbank (Den Haag) die gelijk de geldigheid van patenten beslist. En geen amateur-jury die een oordeel moet doen over een al ongeldig verklaard patent, maar dat 'ongeldige' niet mag meenemen in hun uitspraak, zoals Apple VS Samsung in de VS. Ergens werkt het best aardig hier in Nederland, bijv in Duitsland wint de aanklager bijna altijd in patentzaken. In Mannheim en Duesseldorf, daar worden vaak Aziatische copycats van Duitse machines aangeklaagd, Duesseldorf is ook erg afhankelijk van de 'jurididche industrie' dus ergens logisch dat de aanklager daar meestal wint.

Hopelijk leest de Duitse rechter deze uitspraak ook, hoewel het daar hopelijk om een ander patent gaat.

[leoBO]

De uitvinders zijn van Nikon, het is/was immers een octrooi van Nikon.

En de advocaten en octrooigemachtigden van Nikon hebben heus ook een en ander goed uitgelegd...

[kidde]

Artikel gelezen? ASML heeft min of meer 'prior art' geclaimd, dus dat hun patent samen met dat van Carl Zeiss reeds het latere patent van Canon behelst.

[leoBO]

uhm ja, lees de eerste paar zinnen:
"De rechtbank in Den Haag heeft bepaald dat ASML met immersielithografie voor de productie van chips geen inbreuk heeft gemaakt op een bepaald patent van Nikon. Volgens de rechter is het patent nietig en kan er dus geen sprake zijn van een inbreuk door ASML.

Het gaat in deze zaak om een patent dat Nikon in 2004 heeft aangevraagd en op 27 mei 2015 heeft verkregen. Dit bewuste Nikon-octrooi betreft een belichtingstechnologie die reticlepatronen met verschillende onderlinge afstanden in het patroon in één keer met hoge precisie en contrast kan overbrengen op een wafer."
zie ook : de octroopublicatie
zelf wel gelezen?

[Reactie gewijzigd door leoBO op 22 juli 2024 16:10]

[kidde]

Geen enkel probleem, zoals ik al vreesde heeft u de enige belangrijke zin niet gelezen of niet begrepen.
Daarom zijn uw aannames onjuist, en dus uw conclusies.

Waar gaat het om:
-Nikon 'patent': Rood geverfde brandweerwagen: EP '480
-Eerder bestaand ASML patent: Brandweerwagen EP '541
-Eerder bestaand Carl Zeiss patent: Rode verf

ASML advocaat: Stap voor stap uitleg waarom het 'rood geverfde brandweerwagen'-patent geen uitvinding is, maar reeds eerder beschreven in tijdschriften en een triviale combinatie van hun bestaande patenten.
Nikona advocaat: Boehoe, huilie, wij hebben de rode brandweerwagen uitgevonden en dat was superveel werk en R&D.

Rechter (4.52): 'Naar het oordeel van de rechtbank heeft ASML terecht aangevoerd dat (red - Nikon) EP 480 niet inventief is in het licht van Zeiss octrooiaanvrage EP 470 gecombineerd met ASMLs EP 541'

Rechter - In Jip en Janneke taal:
Nikon heeft geen innovatieve stap gedaan, daarom beschrijft EP '480 geen uitvinding (!), het '480 patent is dus een broddelwerk en had niet verleend mogen worden, patent is daarom ongeldig.

leoBO: "De uitvinders zijn van Nikon" --> Nee, nee, nee en nog eens nee! Er is helemaal geen uitvinding van Nikon, er zijn dus ook geen uitvinders van Nikon. Dat is wat de advocaten van ASML hebben staan uitleggen aan de rechter.

[Cerberus_tm]

Je hebt vast gelijk. Maar dat rechts zich in de precieze technische werking van zeer geavanceerde apparatuur moeten verdiepen vind ik toch iets geks hebben. Daar zou de rechtspraak zich toch eigenlijk niet mee bezig moeten houden? Voor mij laat dit eens te meer zien dat juristerij zich zo min mogelijk moet bemoeien met techniek en wetenschap (alleen als het echt om ethiek of zo gaat): dit is wat mij betreft een teken dat octrooien een slecht systeem zijn. We moeten als maatschappij goede uitvindingen op een heel andere manier belonen. Dat kan echt wel, en gebeurt ten dele ook al.

[bahamapleister]

Hoe zit dat nou eigenlijk met patenten en octrooien in verschillende landen en de handhaving daarvan?

[RanDX]

Ieder land/regio heeft vaak zijn eigen patent/octrooi-bureau. Een patent die in land X is aangevraagd is dan ook alleen in dat land geldig. Dus vaak worden patenten niet in één land/regio aangevraagd maar in meer landen.

Dus in ieder land/regio kan een patentbreuk (infringment) los worden aangeklaagd. Dit oordeel kan in andere landen verder gebruikt worden om daar ook tot een oordeel te komen.

Naast nationale patenten, zoals bijvoorbeeld in nederland, bestaat ook bijvoorbeeld het Europees patent.
Het gebruik van bijvoorbeeld een Europees patent heeft zijn voor en nadelen.

[MSalters]

Er zijn twee nivo's van samenwerking.

Het eerste nivo van samenwerking is dat de meeste Westerse landen elkaars administratie vertrouwen. Je mag tot een jaar na eerste indiening een identieke aanvraag in een ander land indienen, en dan worden alle aanvragen afgehandeld alsof ze op die eerste datum zijn ingediend. Maar elk land kan dan wel een eigen conclusie trekken over de nieuwheid.

Het tweede nivo is dat het Europees Patent Bureau voor alle aangesloten landen het nieuwheidsonderzoek uitvoert, wat ervoor zorgt dat je met hun goedkeuring een hele stapel patenten in één keer mag registreren. Dat kost wel geld, dus je hoeft niet in elk land die registratie te doen.

@RanDX suggereert dat er een Europees patent bestaat. Dat is niet zo. Er zijn wel plannen, maar die zijn gesneuveld voor de Duitse rechter.

[RanDX]

Toch bestaat al enige jaren de volgende organisatie: European Patent Office (http://www.epo.org/)

[MSalters]

Klopt, ik heb er vorige week nog een aanvraag ingediend. Maar het European Patent Office verleent geen Europese patenten. Wij hebben 11 maanden geleden een Nederlandse octrooiaanvraag gedaan, en willen nu in de buurlanden ook patenten hebben. Dat doen we dus via goedkeuring van het EPO, die daarbij kijken naar de Nederlandse beoordeling van onze aanvraag.

[1nsane]

Tja maar zo gaat dit toch altijd haast?

In dit geval ziet Nikon een kans om een graantje mee te pikken van het succes van ASML door te gaan patent trollen op iets arbitrairs.

Uiteindelijk zullen andere partijen vergelijkbare dingen doen als ze de kans zien maar ik snap niet zo goed wat het doel is van het aantekenen van beroep anders dan dat het geld kost.

[KoffieAnanas]

Het is aan de rechter om te bepalen of iets arbitrairs is en dus het patent ongeldig. Nikon was vroeger een serieuze concurrent van ASML, maar inmiddels heerst ASML op het vlak van lithografie machines. Je kunt je afvragen of dit wenselijk is. Voor Nederland wel, maar voor de klanten is dat maar de vraag.

Nikon staat in het volste recht ASML aan te klagen. Nota bene is het patent door het patentbureau goedgekeurd. Nu is dat niet heel moeilijk, dat geef ik direct toe, maar het patentbureau heeft in eerste aanleg dus besloten dat het niet arbitrair is.

[1nsane]

Nikon staat zeker in hun volste recht!

Maar tegelijk wordt op zo’n beetje alles patent aangevraagd tegenwoordig (waardoor patent trollen aan de orde van de dag is) en rechters zijn denk ik daarom extra kritisch in dit soort zaken juist omdat de geldigheid van veel van die patenten arbitrair zijn.

Overigens heeft Nikon zelf de boot gemist, ASML richt zich enkel en alleen op Lithografie machines terwijl het voor Nikon bijzaak is (tenzij ze er zoals nu wellicht mee kunnen cashen).

ASML heeft groot gegokt met EUV en is aan het winnen maar ook daarvoor was ASML al ver voorop.

De markt waar Canon en Nikon in actief zijn is anders en kleiner dan die van ASML en dat hebben ze toch echt aan zichzelf te danken.

[theduke1989]

Vraag me af als dit in een andere Land gebeurt was. Was de uitspraak misschien anders.

[1nsane]

Ik heb er geen verstand van maar ik kan me voorstellen dat zo’n zaak dient in het land waar de overtreding wordt begaan. In dit geval Nederland dus.

[MSalters]

De rechter heeft dat ook onderzocht, want in dit soort zaken is het niet altijd simpel. Er is een halve pagina taai juridisch proza aan gewijd in het vonnis, met verwijzingen naar mogelijke toekomstige uitspraken van buitenlandse rechters in aanverwante zaken. Voer voor specialisten.

[Reactie gewijzigd door MSalters op 22 juli 2024 16:10]

[twizzle]

De prijs voor het beroep is natuurlijk een lachertje in vergelijking met de potentieele opbrengsten wanneer ze het beroep winnen.

[Iblies]

Nikon had en heeft overeenkomsten met oa ASML ivm patenten.


De zaak aanhouden kan handig zijn bij latere onderhandelingen, al was het maar om twijfel te zaaien.

[i-chat]

Beroep is hier nagenoeg zinloos de redevoeting van rb is vrij helder ze zullen met een verdomd goed beroep moeten komen waarom de rechter fout zat en ze dus wel innovatief waren. Echter de kosten van zo'n zakk vallrn van n het niet bij de schikking die asml moet doen als ze verliezen dat gaat dan om tientallen miljoenen euro's

Voor die jackpot kun je wel een gokje wagen

[Reactie gewijzigd door i-chat op 22 juli 2024 16:10]

[leoBO]

Er lopen nog 10 andere zaken van Nikon tegen ASML; het is dus wachten op die ene die wel geldig blijkt en waarop ASML inbreuk maakt...

[Deralte]

Toch een beetje een vreemde reactie. Nikon meent dat er een inbreuk wordt gemaakt op één van hun patenten en klaagt daarom ASML aan... niks mis mee, toch? De rechter heeft met een erg goed onderbouwd vonnis de claim onderuit gehaald en het zal moeilijk worden om dit via beroep alsnog te winnen.
Nikon heeft geprobeerd en verloren. Ze maken verder erg goeie producten, dus ik zie niet in waarom je ze nu niet meer wil kopen...

[Vayra]

Nee. Lees het artikel nog eens goed... De licentiestrijd is ouder dan vandaag, was al beslecht en Nikon komt gewoon met poging twee.

[Deralte]

Er staat nergens dat de zaak uit 2001 over hetzelfde patent gaat. Meer nog, het patent waarover nu gestreden wordt, werd pas in 2004 aangevraagd. Pas toen het effectief werd toegekend, kon men een klacht indienen. De normaalste zaak van de wereld.

[Vayra]

Jij mag dat normaal vinden, ik vind onderstaande niet chique en dus ga ik die juridische steekspellen niet met geld ondersteunen. Het begint toch wel een beetje op patenttrollen te lijken zo, want er is nooit overlegd terwijl men al veel vaker met dit bijltje gehakt heeft. Dat is gek. En het is ook geen toeval dat ASML gigantische omzet en winst draait en daar dus veel te halen valt.

En verder, Nikon reclames zijn ook zwaar irritant. Dat is dan bonus.

"afgesproken elkaar niet aan te klagen tot 31 december 2014. Nikon claimde in 2017 dat ASML inbreuk maakt op elf patenten en heeft toen ook een zaak aanhangig gemaakt in Tokio. Daarnaast is Nikon in Duitsland een zaak gestart tegen Carl Zeiss. ASML zei in 2017 dat Nikon geen serieuze stappen heeft ondernomen om over de licentieovereenkomsten te onderhandelen."

ELF patenten. Nergens gelijk op krijgen en ook niet vooraf overleggen. De normaalste zaak van de wereld. But of course!

[Reactie gewijzigd door Vayra op 22 juli 2024 16:10]

[Deralte]

ASML zei in 2017... dat zegt al alles. Ik begrijp dat je ASML steunt omdat het een Nederlands bedrijf is, maar verder is je argumentatie nergens op gebaseerd. Het feit dat de rechter het vonnis erg sterk onderbouwd heeft, duidt er wat mij betreft op dat het nodig was en dat de zaak ontvankelijk was. De 11 patenten kunnen betrekking hebben op de implementatie van 1 techniek en gaan niet noodzakelijk over 11 volledig verschillende zaken.

Fijn dat je ook even aanhaalt dat de reclame van nikon irritant is, subjectiever dan dat wordt het niet.

Wat mij betreft stopt ons gesprek hier, onze mening verschilt, dat verandert vast niet.

[Marcel Br]

Ja nou en, denk je dat dat andersom niet gebeurd?

[1nsane]

Heb je gelijk in maar tegelijkertijd zouden dit soort bedrijven nóg mooiere producten maken als ze zich niet met twijfelachtige patentzaken bezig zouden houden ;-)

[arjankoole]

Heb je gelijk in maar tegelijkertijd zouden dit soort bedrijven nóg mooiere producten maken als ze zich niet met twijfelachtige patentzaken bezig zouden houden ;-)

totaal van elkaar gescheiden elementen van een bedrijf. Of denk je dat de advocaten normaliter de R&D doen? Je hebt zelfs kans dat de R&D afdeling niet eens wist dat er een rechtszaak speelde. (het boeit ze waarschijnlijk ook niet, want het zijn techs). Dit soort dingen hebben niet of nauwelijks invloed op elkaar, anders dan dat de R&D afdeling aan het werk gezet wordt iets zo ongelofelijk innovatiefs te maken, dat de rechter het patent nooit ongeldig kan verklaren.

[Vayra]

Dan gaat er nog wel geld naartoe en dat moet en zal zich gaan terugbetalen. Ik snap ook dat de inpakafdeling geen juridische stukken leest. Maar die kosten drukken wel op het bedrijf, en verworden tot simpele kosten/baten afwegingen zonder enig maatschappelijk verantwoordelijkheidsgevoel. Dat je je patenten verdedigt, prima. Maar dat kan op verschillende manieren en de stijl van Nikon staat me niet aan.

'Proberen en verliezen' is prima als je een valide claim hebt. Dat is hier dus niet zo, en dat is ook niet nieuw. Er tekent zich dus een trend af. Dezelfde trend als een Apple die zijn ronde hoekjes verdedigt en meer van die compleet kansloze patentzaken die iedereen liever kwijt dan rijk is. Op dezelfde manier geef ik Apple dus ook geen cent.

Ik vind het wel heel grappig dat ik een -1 krijg op dit draadje trouwens en dat de kern van het tegenargument bestaat uit 'maar anderen doen het ook'. Grote Nikon-fans dus hier...

[Reactie gewijzigd door Vayra op 22 juli 2024 16:10]

[arjankoole]

Ik denk dat Nikon van mening was, en IS (daarom gaan ze in beroep) dat ze een valide claim hebben. De rechter is het daar tot nu toe niet over eens.

Ik denk dat je overschat hoeveel impact dit soort dingen hebben op resultaat (met uitzondering van veroordelingen die een half miljard kosten zoals pas Samsung om de oren kreeg) en op ontwikkeling al helemaal. Daar zijn al lang en breed standaard reserveringen voor gedaan.

Patenten verdedigen heb je weinig keuze in qua stijl. Dat is puur venijn en puur evil. Je kunt er niet voor kiezen dat spelletje niet te spelen, want de rest doet dat wel. Mutual garuanteed destruction zeg maar. Het hele patentensysteem zou drastisch op de schop moeten om dat te veranderen, en dat gaat niet gebeuren.

[vanaalten]

Jij gaat nu geen ASML machines meer kopen?

[Tom 1234]

Of geen Nikon camera wat opzich wel logischer zou zijn.