Imec ontvangt zijn eerste high-NA-euv-machine van ASML

Imec begint deze week met het aansluiten van zijn allereerste high-NA-euv-machine van ASML. Die machine moet de Belgische onderzoeksinstelling in staat stellen om chips richting 1nm te duwen en daar voorbij. Het is de eerste Europese partij die zo'n machine ontvangt.

De eerste onderdelen van ASML's high-NA-machine vertrokken maandag per vrachtwagen naar Leuven, de thuisbasis van imec. Het ging daarbij om de 'main bottom module', veruit de grootste en zwaarste module van de complete machine. Deze 25 ton wegende ondermodule bevat bijvoorbeeld de 'waferstage' en de meetapparatuur.

Op woensdag werd deze eerste module naar binnen getakeld in de NanoIC-cleanroom die imec onlangs opende. Later volgt de rest van de machine, zoals de lichtbron die het euv-licht opwekt en de 'spiegels' die dat licht weerkaatsen naar de wafer. De machine zal in het vierde kwartaal klaar zijn voor gebruik, verwachten imec en ASML. In de tussentijd blijft het bestaande high-NA-lab, dat imec deelt met ASML in Veldhoven, nog gewoon operationeel.

Bron: ASML

De machine zal gebruikt worden voor het onderzoekswerk van imec. De instelling werkt aan het steeds verder verkleinen van transistors, de kleine schakelaartjes die samen een chip vormen. Hoe meer transistors er in een chip zitten, hoe krachtiger de chip wordt en hoe meer die kan. De nieuwe machine van ASML moet daarbij helpen. In eerste instantie gaat imec chips in de '1,4 nanometer'-klasse ontwikkelen, hoewel de roadmap doorloopt tot ver daar voorbij.

De high-NA-machines zijn een doorontwikkeling van ASML's bestaande euv-machines, die cruciaal zijn voor het maken van de geavanceerdste chips. Deze nieuwe generatie biedt optiek met een hogere 'numerieke apertuur'. De machines kunnen zo meer licht opvangen en scherpstellen, en daarmee kleinere patronen afbeelden. Dat staat dan weer gelijk aan kleinere transistors. Specifiek kan de nieuwe ASML-machine patroontjes tekenen die 67 procent kleiner zijn dan voorheen.

Benieuwd hoe de machines van ASML werken?

Wil je weten hoe de euv-machines van ASML precies werken? Tweakers publiceerde eerder een uitlegartikel over deze chipproductietechniek. We zetten daarin uiteen waar ASML zich precies mee bezighoudt, wat euv inhoudt en hoe de machines in elkaar steken. Je kunt dat artikel hier lezen.

Terugkijken: Tweakers mocht onlangs al naar binnen in de NanoIC-testfabriek, waar de nieuwe high-NA-machine staat.

Reacties (45)

[Martinspire]

Benieuwd hoe het eruit ziet om zo'n ding in een clean room te takelen. Lijkt mij dat je dan toch aardig wat zooi naar binnen zult krijgen?

[Rovig]

Zie fotos hier. Ding zit in stukken in cleanroom containers verpakt.

https://www.imec.be/nl/ar...-onze-toekomst-te-bepalen

[Hansie9999]

Ha,

Ik vermoed dat de clean room na de installatie eens grondig "gecleaned" zal worden

Leuke plaats trouwens IMEC, om zelfs nog maar in de gang te lopen waar je naar de clean room kan kijken moesten we al plastieken sloefjes over onze schoenen doen

Vind ook wel echt zoals @Scribe zegt dat ze ook wat meer van deze technologie hier mogen houden, pakken subsidies en dan de resultaten/winsten worden gebruikt door big tech zoals Intel en de productie zit in Taiwan

Ze zouden meer zoals de scandinavische landen moeten werken, subsidie's zijn goed, maar als er dan dikke winsten zijn, genoeg terug naar de overheid aub, en dan weer verder investeren in nieuwe start-ups / technologieën , hier mogen wij altijd investeren en subsidiëren en dan mag big tech de poen scheppen ??

[ToWi1989]

En zijn verschillende gradies voor schoonheid. De verpakking bestaat uit meerdere lagen. Je stapt ook niet zomaar van buiten in 1x een cleanroom binnen. Er zijn meerdere 'sluizen'. Bij iedere sluis wordt een verpakkingslaag weggehaald. Waar nodig wordt nog eens grondig schoongemaakt voor installatie en/of ingebruikname.

[Scribe]

Zou nog steeds heel leuk zijn als we hier vervolgens ook iets mee gaan doen behalve alleen onderzoek doen voor Big Tech... Ik wacht nog steeds op CPUs uit Europa

[Blokmeister]

Je denkt dan echt op de verkeerde schaal. Als je honderdduizenden broden wil gaan bakken voor Europeanen, dan heb je niet zoveel aan één op-zichzelf-staande supersonische hypermoderne oven in een testkeuken. Dan moet je de toeleveringsketen van graan op orde hebben, je moet denken aan welke specifieke gistsoort je nodig hebt voor je rijsproces, je moet een recept tot in de puntjes hebben uitgekiend, en vervolgens heb je tientallen tot honderden mixers, kneders, handlers, ovens, etc. nodig. En dat moet je ook nog eens op zo'n manier doen dat de broden betaalbaar zijn zodat de Europeanen ze daadwerkelijk willen hebben. Oja, en als je nu de knoop doorhakt om dat daadwerkelijk te gaan doen, staat de fabriek er over een jaar of vier. Misschien is er dan wel veel minder vraag naar dat specifieke brood dat je wil bakken, en heb je miljarden verbrand.

Ik zeg trouwens niet dat we geen chipindustrie in Europa moeten bouwen. Ik wil vooral context geven hoeveel erbij komt kijken.

[uiltje]

Is ook een probleem voor de Amerikaanse chipfabrieken. Ik heb gelezen dat een vergelijkbare chip "made in the US" 1.5x zo veel gaat kosten als eentje bij TSMC / Taiwan. De fabriek is 1, maar bijvoorbeeld de wafer komt weer ergens anders vandaan.

[SeenD]

Ja, de machines van ASML zijn maar een klein stukje van de CPU, wel een belangrijk stuk, maar je hebt nog ~100 andere machines nodig om de hele chip te maken. YouTube: How are Microchips Made? 🖥️🛠️ CPU Manufacturing Process Steps de eerste 2 minuten zie je hoeveel machines er zijn en hoe lang het duurt om 1 wafer met chips te maken.

[goldrnr]

Zou nog steeds heel leuk zijn als we hier vervolgens ook iets mee gaan doen behalve alleen onderzoek doen voor Big Tech... Ik wacht nog steeds op CPUs uit Europa

Denk dat je dan nog lang kunt wachten, althans zeker als het gaat om 'europeesche cpu's' gemaakt op high/hyper-na apparatuur.

[mphilipp]

Zijn er überhaupt Europese bedrijven die chips ontwerpen die op een of andere manier belangrijk zijn in de wereld? Ik weet niet of wij hier in de EU de illusie moeten hebben dat we Intel, AMD en Nvidia van de troon kunnen stoten.
En ik vind dat er momenteel een beetje tè hysterisch wordt gedaan. Alsof we ineens ALLES zelf moeten kunnen. Dat gaat 'm echt niet worden vrees ik. Tenzij we bereid zijn grote sommen geld te investeren om die 10-20 jaar achterstand op productiemethoden in te halen. Nee, ik denk dat we van dat idee af moeten stappen. Hoofden koel houden en doen wat we kunnen doen, maar niet overreachen. Dat loopt alleen maar uit of (dure) catastrofes.

[martijnvanegdom]

Zijn er überhaupt Europese bedrijven die chips ontwerpen die op een of andere manier belangrijk zijn in de wereld?

Ja, er is een enorme Europese speler. En de kans is enorm groot dat jij dagelijks gebruik maakt van hun ontwerp. De kans is zelfs behoorlijk dat jij deze vraag gesteld hebt via een device dat een Europese ontworpen CPU heeft. En dat bedrijf is ARM.

Arm Holdings plc is a semiconductor and software design company based in Cambridge, England, whose primary business is the design of central processing unit(CPU) cores that implement the ARM architecture family of instruction sets.

[uiltje]

Bijna alle smart card fabrikanten zitten bijvoorbeeld in de EU, en een paar in Asie / Japan. Die chips zijn volledige SoC's en worden heel veel gebruikt natuurlijk: elke SIM kaart, credit kaart, bank kaart, rijbewijs, paspoort, ID kaart. Die dingen worden wel vaak in China geproduceerd, maar het ontwerp en de software is vaak EU (denk aan Nexperia). Daarvoor gebruik je echter geen EUV machine, die dingen gebruiken - net als automotive chips etc. - meestal nog verdacht oude tech. Toch zie je ook daar langzaam een verplaatsing naar meer geheugen en 32 bit CPU's. Automotive gebruikt nog wel meer chips, zelfde verhaal (en, helaas voor de smart card fabrikanten, zelfde proces - een eurotje per chip meer in een auto is geen probleem, voor veel smart cards, tja).

[mphilipp]

Sh*t, ik had het kunnen weten als voormalig Acorn gebruiker...
Inderdaad, ARM is er een. Maar die laten het nu nog elders maken.

[amigob2]

ARM is over het algemeen geen chip fabrikant, zij designen cores, maar maken geen CPU's met hun eigen design. Ze verkopen het design. Dus ARM heeft helemaal geen ASML machines nodig. of een foundery , om geld te verdienen

[demartijn]

ARM is helaas inmiddels Japans. Overgekocht door Softbank een tijdje terug.

[marcelvb]

Zijn er überhaupt Europese bedrijven die chips ontwerpen die op een of andere manier belangrijk zijn in de wereld?

ARM in de UK (geen EU, maar wel Europa).

[TWyk]

Denk aan

• ARM,
• NPX,
• Infineon,
• STMicroelectronis,
• ASM

[heuveltje]

Ik denk dat jij je verkijkt in waar en hoeveel chips er zijn. Amd NVIDIA zijn groot in PC wereld. maar er is zoveel buiten dat.

Ik heb een misschien een ietwat vertekend beeld want omgeving Eindhoven brainport. Maar minimaal 3 mensen van mijn bordspellen clubje zijn betrokken bij chips/ontwerk. 2 bij SMART Photonics En nog 1 op een bedrijf waar ik de naam zo niet van weet.

[familyman]

Duur wordt het sowieso. De wereldeconomie wordt afgebroken. Gelukkig maar, want we zien hoe vervelend afhankelijkheid is, als je niet meer kan kiezen voor je energie, of verdediging. Zeker als de partijen waarop je rekende, afhaken.

Ik denk dat Europose chips zeker bij die dingen horen die je echt zelf moet kunnen. En ja, helaas, dat kost een paar centen, dat legde Adam Smith ons al uit.

[YGDRASSIL]

Niks gelukkigs aan. Of is het ook handig als we europe, provincies en andere verbanden opheffen want 'afhankelijkheden'. Als iedereen wereldwijd veel handel drijft dan heb je in principe minder baat bij en kans op oorlog. Iedereen op zichzelf lekker paranoia met zijn eigen legertje is niet echt een fijne toekomst. Samenwerken en respectvol omgaan is een betere.

[familyman]

Ja, theoretisch heb je gelijk.

In de praktijk zien we dat putin geen problemen had zijn hele energieverkoop in de sloot te gooien.

En dat mensen als trump ons in posities dwingen waar we niet in willen zitten, doordat hij zijn vingers aan de knoppen heeft.

En overigens beschrijf je precies mijn punt. Puur economisch, voor het beste resultaat, moet wereldhandel volledig vrij en open zijn. In de praktijk is het dat totaal niet.

De grootste verliezers zijn degenen die handelen alsof het eerste waar is.

[YGDRASSIL]

Klopt. Dus doen we het andere uiterste waarbij de enige uitkomst is dat alle kleine partijen elkaar kapot schieten en niemand nog iemand vertrouwd. Soms moet je kwetsbaar zijn en anderen dingen gunnen om verder te komen. Niet over je heen laten lopen maar wel proberen je idealen te volgen. Als ik weet hoe dat toe te passen op wereldniveau schrijf ik wel een boek 🫨

[familyman]

Er wordt links en rechts over ons heen gelopen, dat heb je wel door?

[YGDRASSIL]

Niet over ons. Trump roept en doet van alles maar we reageren er wel op. Dat is als een malloot tekeer gaat in de wereld vind ik treurig maar vooral een probleem van amerika. Wij zijn ondertussen wakker geworden en schalen lekker langzaam op. En Europa is niet de wereldpolitie. De manier waarop we oekraine ondersteunen zorgt voor een jarenlang conflict met een kapot land als gevolg. Doe het of goed en schiet met Europa de russen de oekraine uit of zeg dat het niet ons probleem is en klaar. Zachte heelmeesters maken stinkende wonden.

[familyman]

Niet over ons... interessant. Maar dan hludt discussie ook snel op.

We kunnen onze eigen economie niet runnen zonder amerikaanse goedkeuring.

Gaat prima zo

[YGDRASSIL]

Wij kunnen onze economie prima runnen zonder amerikaanse goedkeuring. Alleen zijn nog niet bereid daarop over te schakelen en de pijn voor lief te nemen.

[familyman]

Op dit moment echt niet.

En inderdaad het moet wel, en het zal wat kosten.

Was ook het punt waar ik mee begon.

[CivLord]

In de praktijk zien we dat putin geen problemen had zijn hele energieverkoop in de sloot te gooien.

Putin heeft een heel groot probleem nu hij zijn energieverkoop in de sloot heeft gegooid.

Hij dacht (en was daarvan verzekerd door zijn generaals) dat de verovering van Oekraïne een kwestie van dagen tot enkele weken was. Hij verwachtte dat het een fait acclompli zou zijn voordat er een gecoördineerde Westerse respons zou kunnen komen, waarna het met wat gemopper en wat sancties voor de bühne geaccepteerd zou worden, net als de bezetting van de Krim. Hij verwachtte ook dat met name Europa zo vast zat aan het Russische gas, dat enige respons vanuit Europa zeer zwak zou zijn.

In al die zaken heeft hij zich zwaar vergist.
Nu moet hij zijn gas en olie voor dumpprijzen aan India en China verkopen en de technologie die hij nodig heeft zeer duur van China en via allerlei smokkelroutes inkopen.
De economische ondergang van Rusland die vanaf het begin werd voorspeld is tot nu toe uitgebleven. Maar het land wordt wel zeer zware economische schade aangedaan, en het zal lang duren voordat Rusland daar weer bovenop gekomen is, wanneer de oorlog afgelopen is.

[familyman]

Meer van de demografische schade. De rapporten van de ondergang van de Russische economie zijn er al heel lang.

En toch draait de oorlogsmachine nog. De russen accepteren de situatie.

Hij had een megafonds die pijn te overbruggen. En kon dus makkelijk keuzes maken, waarvan iedereen zei, dat doet een normaal mens niet.

[DigitalExorcist]

Wat ik nog niet helemaal snap aan dit hele ding... je hebt een machine die, even plat gezegd, chips kan produceren. En toch gaat zo'n onderzoeksinstelling zo'n machine gebruiken om te onderzoeken óf ze 1nm transistoren kunnen 'printen'.

Maar ... als je een machine bouwt zoals ASML dan wéét je toch of die transistoren van 1nm kunnen printen? Of zie ik dat verkeerd? Ik bedoel, je weet aan de hand van de specs van zo'n apparaat toch al of dat technisch mogelijk is?

Ik koop een monochroom-printer en ik ga eens onderzoeken of ik er ook kleur mee kan printen? Of klopt mijn aanname niet?

[Reactie gewijzigd door DigitalExorcist op 18 maart 2026 15:28]

[Mini-me]

Het productieproces van een chip omvat vele processtappen en de machines van ASML zijn goed in sommige van die stappen. Voor andere stappen heb je andere machines nodig. IMEC helpt ASML en de fabrikanten van de andere machines in het lithografieproces te optimaliseren en zo het maximale uit de machines te kunnen halen. En met dat recept stappen ze naar TSMC om dit op grote schaal met hoge yield te kunnen uitvoeren.

[DigitalExorcist]

Kijk, dat soort antwoorden kan ik al meer mee dank je!

[Yalopa]

IMEC onderzoekt hoe het dat moet doen, hier leert ook ASML van, net als chip ontwerpers als arm en Intel chip makers zoals TSMC, en uiteindelijk afnemers. IMEC Brengt al die actoren samen zodat ze kunnen samenwerken zonder elkaars IP te delen. Dat is de core van wat ze doen en dat is net de reden waarom een vzw de eerste machine in Europa geleverd krijgt.

[CivLord]

Grof gezegd maakt zo'n machine geen chips, maar projecteert het een foto van een chip op een fotogevoelig gemaakt schijfje silicium.

Dat de machine de foto kan projecteren staat buiten kijf.
De vraag is welke chip-architectuur werkt het beste met de dunne lijntjes die geprojecteerd kunnen worden.
Simpleweg de huidige 'foto's' kleiner projecteren werkt niet (altijd) of levert niet de beste performance.

Ik geloof dat ik 20 jaar geleden al iets gelezen heb dat de verdere verkleining van chips onmogelijk was vanwege kwantumtunneling, waarbij een elektron door het onzekerheidspricipe zomaar van de ene geleider naar de andere geleider over kon springen, wanneer die geleiders maar dicht genoeg bij elkaar liggen, ook al zit er een oisolator tussen die twee geleiders. (Kort door de bocht.) Ondertussen zijn we die grens al ver voorbij, maar hebben we door een slimme architectuur die effecten kunnen voorkomen.

Bij iedere verdere verkleinstap moeten er andere maatregelen genomen worden binnen de architectuur van de chip om dit soort effecten tegen te gaan. Daar is onderzoek voor nodig. Chipfabrikanten willen graag weten wat wel en niet werkt, voordat ze zelf de productiemachines geleverd krijgen. Het inregelen van het hele proces levert al genoeg vertraging op, waarbij de dure machine geen geld opbrengt. Het uitvissen hoe je je chips het beste kunt ontwerpen voor de nieuwe machine zou nog veel meer vertraging opleveren.

[DigitalExorcist]

Ja snap ik, maar ASML weet toch wat de fijnst mogelijke “resolutie” is die ze kunnen “printen”? En dan weten ze toch al of 1nm mogelijk zal zijn of niet?

[CivLord]

Natuurlijk weten ze dat. Dat staat ook in de specificaties.

Maar nu moeten de chipfabrikanten uitvogelen hoe ze een chip met die resolutie moeten maken, zonder dat de lijntjes of andere onderdelen op 1 nm afstand elkaar negatief beïnvloeden.
Natuurlijk hebben ze daar ideeën over, maar die ideeën zullen ze toch eerst uit willen proberen in een proefopstelling.

[Tarique]

Oprecht een mooie en interessante bijdrage . De levering van de eerste high-NA-euv-machine van ASML markeert een indrukwekkende mijlpaal voor de chipindustrie. Met deze technologie kan onderzoek gedaan worden naar chips op 1 nanometer-schaal en zelfs daar voorbij, wat de weg opent naar krachtigere, efficiëntere en innovatievere toepassingen. Dat Europa als eerste deze machine ontvangt, onderstreept de sterke positie in hightech innovatie. Deze samenwerking versnelt niet alleen technologische vooruitgang, maar legt ook een solide basis voor de toekomst van AI, energiezuinige elektronica en next-gen computing.

Voor next-gen computing betekent dit concreet dat chips veel kleiner, sneller en energiezuiniger worden, dat is mijn hoop. Theoretisch zou dat betekenen door meer transistors op dezelfde oppervlakte te plaatsen, kunnen computers en AI-systemen complexere berekeningen uitvoeren met minder energieverbruik. Dit maakt nieuwe toepassingen mogelijk, zoals geavanceerdere AI-modellen, real-time data-analyse en krachtigere apparaten in kleinere formaten.

[SpamLame]

De eerste High NA EUV modules zijn in 2023 naar Intel gegaan https://www.asml.com/en/news/stories/2024/5-things-high-na-euv

Het is de eerste High NA EUV voor IMEC.
Mogelijk is het de eerste in de EU/Europees Continent buiten ASML.

[Moi_in_actie]

Leuk artikel en interessant bijbehorend filmpje. Was toevallig recent zelf op werkbezoek bij ASML en het is fascinerend wat voor technologie er allemaal bij komt kijken. Tijdens mijn bezoek werd er, net als in het filmpje, aangestipt dat er helaas nog geen "lokale" fabrikant van chips is zoals een TSMC of Intel. Hopelijk dat er op dat vlak in de komende jaren wat vooruitgang geboekt kan worden, zodat we als Nederland c.q. Europa ook op dat vlak kunnen meedraaien met de rest van de wereld.

[Pietopdeheuvel]

Kunnen we eens ophouden met NM aanduidingen en het daadwerkelijke oplossende vermogen vermelden?

[uiltje]

Je bedoelt MTr/mm²? Dat is een betere maat, maar hangt sterk af van hoe compact de chip is ontworpen en zegt dus ook niet alles.

[Pietopdeheuvel]

Transistoren per mm² ?

[uiltje]

Ja, dat was mijn unit. OK, maar natuurlijk hangt dat er ook vanaf waarom en hoe de transistoren worden gebruikt. Ik bedoel: je kan zo veel mogelijk transistoren naast elkaar plaatsen maar samen moeten ze ook nog wat doen. En bijvoorbeeld SRAM heeft een andere dichtheid dan logica. Chips bestaan voor een flink gedeelte uit cache.

[Pietopdeheuvel]

Mmm, ja, blijft lastig een goed objectieve metric te bepalen,

[viktorvm]

Benieuwd hoe de grote modules worden getransporteerd? Kijk dan eens hier: VRR.aero

Helaas geen foto's van het eindproduct, want ja, contracten...