High-NA-machines van ASML maken in de komende maanden hun eerste echte chips

ASML's high-NA-euv-machines zullen 'in de komende maanden' hun eerste producten belichten. Dat zei ASML-ceo Christophe Fouquet tijdens een conferentie. Dat is een grote mijlpaal: de machines deden al aan testproductie, maar werden nog niet gebruikt om 'echte' chips te maken.

"In de komende maanden zullen de eerste productwafers voor geheugen- en logicachips belicht worden met high-NA-systemen", zei Fouquet tijdens ITF World in Antwerpen, waarbij ook Tweakers aanwezig was.

Het is een belangrijke stap. High-NA is de afgelopen jaren al uitgebreid gebruikt in het lab, maar daarbij werden eerder alleen niet-functionele teststructuren geprint. 'Echte' werkende logic- en geheugenchips rolden niet eerder uit deze nieuwe chipmachines. Daar moet binnenkort dus verandering in komen. Welke fabrikanten deze werkende chips precies gaan belichten, is niet duidelijk.

Een high-NA-machine. Bron: ASML

Grootschalige productie volgt later

Het zal geen productie op grote schaal zijn. "Een aantal van onze klanten gaat High NA testen op echte productwafers", zei de ceo in april tegen aandeelhouders. Die testruns moeten aantonen dat ze de nieuwe machines kunnen gaan gebruiken voor het maken van echte producten, vertelde hij daarbij.

In de komende jaren zal high-NA op grote schaal toegepast worden in nieuwere procedés, al verschilt de planning daarvoor per chipmaker. Intel heeft als eerste grote fabrikant high-NA op zijn openbare roadmap staan. Zijn '1,4nm'-procedé, Intel 14A, gaat high-NA optioneel gebruiken. Dat moet vanaf 2028 in productie gaan.

High-NA naar de praktijk

High-NA is de volgende generatie van ASML's belangrijke euv-chipmachines. Die kunnen minuscule patroontjes afbeelden en zijn daarom onmisbaar voor het maken van de allerbeste chips. Alle grote chipfabrikanten, zoals TSMC, Samsung en Intel, gebruiken die machines van ASML daarom in hun fabrieken.

De nieuwere high-NA-varianten voeren een aantal verbeteringen door, die chips in de toekomst nóg krachtiger moeten maken. Er is tien jaar lang gewerkt aan deze nieuwe high-NA-tools. Vorig jaar werd de eerste machine geleverd die in theorie geschikt is voor commerciële productie. Die machines worden nu dus klaargestoomd voor de praktijk.

Terugkijken: ASML leverde eerder dit jaar een high-NA-machine aan Belgische onderzoeksinstelling imec. Tweakers mocht daarbij een kijkje achter de schermen nemen.

Reacties (10)

[DexterDee]

Goed om ook even technisch uit te leggen wat High-NA is, want dat staat dan weer niet in dit artikel:

ASML’s High-NA machines gebruiken nog steeds EUV-licht met een golflengte van 13,5 nanometer, maar vergroten de zogeheten Numerical Aperture (NA) van 0,33 naar 0,55. Die NA bepaalt hoeveel licht onder verschillende hoeken door het optische systeem kan worden opgevangen: hoe hoger de NA, hoe fijner de details die op de wafer geprojecteerd kunnen worden. Daardoor wordt de minimale lijnbreedte kleiner en kunnen transistoren dichter op elkaar worden geplaatst. Om dat mogelijk te maken moesten de spiegelsystemen volledig opnieuw ontworpen worden, omdat EUV-licht niet door gewone lenzen gaat maar alleen via extreem precieze multilayer-spiegels wordt gereflecteerd. Ook de wafer-stage moet veel nauwkeuriger bewegen, met positioneringsfouten van slechts enkele picometers tijdens hoge snelheden. Technisch gezien verschuift High-NA dus de grens van optische resolutie, zodat chipfabrikanten kleinere structuren kunnen printen zonder complexe multi-patterning stappen.

[batjes]

Veritasium heeft er een interesante video over YouTube: The World's Most Important Machine

[Bark_At_The_Cat]

Leuk detail is dat de hoofdredacteur/presentator van Veritasium de Nederlandse Casper Mebius is. Studeerde bedrijfskunde in Rotterdam en natuurkunde in Delft.

[litebyte]

Als ik het goed begrepen heb wordt deze meest hoogwaardige spiegel technologie in de VS gemaakt en is die bedrijf/onderdeel van ASML onmisbaar er is geen andere in de wereld.

[DexterDee]

Voor zover ik weet worden de spiegels niet in de VS gemaakt maar in Duitsland door Carl Zeiss. De SMT divisie van het bedrijf is hier verantwoordelijk voor. Wel klopt het dat Carl Zeiss vrijwel de enige partij in de hele wereld is die de spiegels met de vereiste precisie kunnen produceren.

[thomskipsp]

Cymer uit de US maakt de tin-laser, Zeiss uit Duitsland maakt de lenzen.

[Pasteis]

Cymer uit de US maakt de tin-laser, Zeiss uit Duitsland maakt de lenzen.

En Cymer is vervolgens weer onderdeel van de ASML-groep (https://www-asml-com.translate.goog/en/company/about-asml/cymer?_x_tr_sl=en&_x_tr_tl=nl&_x_tr_hl=nl&_x_tr_pto=rq&_x_tr_hist=true)

[AverageNL]

De spiegels komen uit Duitsland (Zeiss SMT, waar ASML wel een minderheidsbelang in heeft)! De lichtbron wordt wel gemaakt in de VS, bij het voormalige Cymer (tegenwoordig inderdaad onderdeel van ASML, onder de naam ASML San Diego)

[xxs]

En het voormalige Berliner Glass (ASML Berlin) maakt een hoop ander ‘glaswerk’.

[JaMaar]

Ik ben wel echt benieuwd of TSMC dezelfde kapitale fout maakt (of iig een vergelijkbare) als Intel dat deed met EUV. Ze zeggen wel leuk dat ze verder kunnen met de bestaande apparatuur en dat de nieuwste machines te duur zijn, maar precies die gedachte zorgde er uiteindelijk voor dat Intel op het beruchte 14nm-procedé (++++, zo u wilt) bleef haken...