ASML koopt maker controleapparatuur voor productie van 7nm-chips

De Nederlandse chipmachinefabrikant ASML neemt Hermes Microvision Inc. over voor 100 miljard Taiwanese dollar, omgerekend 2,75 miljard euro. HMI maakt systemen voor het detecteren van gebreken bij 7nm-chips en kleinere processen, waaronder voor ASML's euv-procedé.

ASML gaat de technologie van HMI integreren in wat het zijn aanbod van 'holistische lithografie'-aanpak noemt, waarmee het bedrijf het geheel van scannen, meten, computational lithography en optimaliseren bij het lithografieproces bedoelt. Met dit proces worden wafers belicht en ASML maakt de machines waarmee fabrikanten als Intel en TSMC chips kunnen produceren. HMI maakt op zijn beurt systemen voor het detecteren van gebreken aan geheugen- en logic-chips, maar ook voor 3d-geheugenchips met gestapelde lagen.

Met behulp van de foutdetectie en de informatie over patterning kan ASML zijn machines aanpassen om de yields van de chipproductie te verhogen, oftewel zorgen dat er meer chips zonder gebreken geproduceerd worden. De machines van het Taiwanese bedrijf zijn vooral bedoeld voor complexe chips die worden geproduceerd op een procedé van kleiner dan 10nm.

Daarnaast heeft HMI al technologie voor het detecteren van euv reticle defects. Euv is de opvolger van de huidige immersielithografie die voor het maken van chips op een procedé van 7nm en kleiner ingezet moet worden. Volgens ASML moet de massaproductie door euv-machines in 2018 van start gaan en de detectiesystemen van HMI moeten daarbij helpen.

De machines van HMI zijn gebaseerd op e-beam metrology. Met behulp van electron beams, zoals gebruikt voor elektronenmicroscopie, kunnen de systemen relatief snel beelden op nanoschaal maken van oppervlakken. Met behulp van de metingen kunnen algoritmes vervolgens fouten op wafers opsporen. Bij de 10nm-productie is optische inspectie nog mogelijk, op kleinere schaal komt e-beam-controle om de hoek kijken.

De twee bedrijven werkten al twee jaar samen. Volgens Peter Wennink, ceo van ASML, is de overname de beste manier om de samenwerking te versterken. Bij HMI werken ongeveer 700 medewerkers en het bedrijf heeft een jaaromzet van ongeveer 182 miljoen euro. Bij ASML werken wereldwijd 15.000 mensen, de jaaromzet bedroeg in 2015 6,3 miljard euro.

Reportage van Tweakers uit 2014 over de steeds kleiner wordende chips van ASML

Reacties (24)

[kzin]

Video van ASML over de overname.
Niet zo mooi als de video van Tweakers maar het geeft wel informatie over: waarom overname, en niet samenwerken e.d.

[[Roland]]

Een bedrijf met een jaaromzet van 182 miljoen euro word gekocht voor 2.75 miljard euro. Dan moet er wel heel veel potentie in hun techniek zitten wil het ooit terug verdiend worden.

Wel verbaasd dat we naar 7nm kunnen, dacht dat we al aardig richting het fysieke maximum gingen.

[AHappyKoalaBear]

ik weet niet of ASML zelf de techniek had om controleapparatuur te ontwikkelen voor de productie van >10nm chips, nu hebben ze de techniek gelijk in huis i.p.v. zelf te investeren in de ontwikkeling ervan, en misschien was de concurrentie ze dan voor, voor deze bedrijven is 2 miljard peanuts.
kijk je naar overnamen van Microsoft dan snap ik je punt van terugverdienen, Minecraft en recent Linkedin die bedragen gaan nergens over.

[teacup]

In het artikel staat dat ASML voor de overname al twee jaar met HMI samenwerkte. Hieruit leid ik af dat ASML de technologie van HMI niet in huis heeft. Het gegeven dat ASML HMI nu heeft gekocht versterkt mij in de indruk dat ASML van HMI afhankelijk was. Het lijkt er dus op dat de meettechniek van HMI van strategisch belang was voor de toekomstige produktontwikkeling.

Dit verklaart ook de waarde van de technologie voor ASML. Als de technologie een voorwaardelijkheid is voor de toekomstige produktontwikkeling van ASML dan kan deze waarde voor ASML in geld veel groter zijn dan de waarde die HMI op de beurs zou opbrengen. Anders gezegd: "De strategen van ASML kunnen een meer accurate inschatting maken van de toekomstige bedrijfswaarde van HMI en haar technologie dan de gemiddelde beurs handelaar dat kan." Om maar niet te spreken over het vuistregeltje van 3 of 4 keer de omzet als bedrijfswaarde.

Dat HMI patenten zou hebben die ASML niet heeft is denk ik in dit geval minder relevant. Los van de patenten vertegenwoordigd de technologie ontwikkeltijd. Los van of de ontwikkeling in huis wordt uitgevoerd of wordt uitbesteed. ASML is vooral heel gevoelig voor deze ontwikkeltijd. ASML heeft altijd haast, en als ze door de overname een bocht kan afsnijden dan doet ze dat. Patenten van HMI zouden die eventuele ontwikkeltijd wel negatief beïnvloedt hebben, omdat om die bestaande patenten heen gewerkt moet worden.

Edit:taal

[Reactie gewijzigd door teacup op 24 juli 2024 08:52]

[kidde]

In 2012 werd bekend dat niet alleen het laserbron-vermogen een van de drie belangrijkste problemen van EUV werd, maar ook het maken van defectvrije maskers [4].

Het zag ernaar uit dat de EUV-masker-makers hierdoor niet konden voldoen aan de vraag naar EUV-maskers als EUV eenmaal zou gaan draaien [1].

Er waren nog twee andere bedrijven (Multibeam, Carl Zeiss) met dergelijke producten en 1 startup (Maglen) in de R&D fase [2], de oplossing van Carl Zeiss genaamd AIMS [3] was echter complex en duur.

Met andere woorden: Zonder betere / snellere en goedkopere EUV-masker foutdetectie is het niet mogelijk voor masker-makers, ofterwijl "andere toeleveranciers van ASML-klanten" [7] om economisch foutvrije EUV-benodigdheden te kunnen leveren, en zonder die benodigdheden is EUV niet meer economisch rendabel.

Grote aandeelhouders van ASML zijn tegenwoordig TSMC, Intel [5] en Samsung, die hebben veel geld geinvesteerd in EUV en hebben het nodig om vanaf de 7nm-node economischer [6] te kunnen produceren. Immers, 7nm / 5nm kan men ook zonder EUV maken, maar daarvoor is mogelijk octuple patterning nodig [8], dat wil zeggen dat een aantal productie-stappen (o.a. belichten) 8x herhaald moet worden.

Dus het kan (speculatie! Neem met zak zout) ook dat TMSC, Samsung en Intel samen HMI wilden kopen en de kennis delen, de foundries bouwen namelijk samen met de voornoemde masker-bouwers de maskers, dus hebben er het meest baat bij. Het kan dat ze hiervoor ASML als een goede optie zagen om dit "deel-"concept praktisch vorm te geven; als het onder de vlag van ASML gebeurt kunnen ze er immers alle drie van profiteren en delen ze de kosten; en overheden accepteren op dit moment al dat ASML een monopolie op belangrijke stukken van de EUV-keten heeft.

[1] http://semimd.com/blog/20...lanks-next-euv-challenge/
[2] http://semiengineering.com/speeding-up-e-beam-inspection/
[3] http://www.euvlitho.com/2012/S51.pdf
[4] http://semiengineering.com/challenges-mount-euv-masks/
[5] http://www.pcworld.com/ar...ml_for_smaller_chips.html
[6] http://www.extremetech.co...v-deploys-at-the-7nm-node
[7] https://en.wikipedia.org/...l_photomask_manufacturers
[8] http://semiengineering.com/where-is-next-gen-lithography-2/

[Reactie gewijzigd door kidde op 24 juli 2024 08:52]

[kzin]

Vergeet niet dat men ook gelijk de patenten van Hermes hiermee in huis heeft. Zonder dat zal men een ander procede moeten ontwikkelen, want je gaat natuurlijk nooit een bijna concurrent van je gepatenteerde technieken gebruik laten maken.

[AHappyKoalaBear]

Ja denk ook dat het voornamelijk om de patenten zal gaan, de Google overname van Motorola is het beste voorbeeld, aankoop: 12 miljard, verkoop 3 miljard, 17.000 patenten in bezit van Google gebleven, ASML is de nummer 1 en zal dat ook willen blijven, slimme overname dus.

[matjojo]

soms is het niet een kwestie van moeten terugverdienen, maar het niet kunnen verder leven als je het niet koopt.

[David Mulder]

Misschien patenten? Geen flauw idee, maar patenten + kosten om het zelf te ontwikkelen erg duur waren. Voeg daar aan toe dat hun klanten mogelijk al deze controle apparatuur gebruiken en blijer zijn als ze dezelfde interfaces kunnen behouden en het word nog logischer.

Hoe dan ook, tenminste fijn dat er nog één puur Nederlands bedrijf is wat het goed doet .

[IplugNplay]

De waarde van HMI is hoog omdat zij een winstmarge van ruim 30% hebben, dat is goed voor de beurs handelaren.

[Pieter...]

Kan zijn omdat de andere business van ASML meer waard wordt in combinatie met deze aankoop, zoals het computational lithografie stuk.
ASML is jaren meer dan chipmachinefabrikant, en die ontwikkeling zet zich voort, want in marktaandeel in lithografiemachines zit weinig groei meer.

[CAPSLOCK2000]

Een bedrijf met een jaaromzet van 182 miljoen euro word gekocht voor 2.75 miljard euro. Dan moet er wel heel veel potentie in hun techniek zitten wil het ooit terug verdiend worden.

Wel verbaasd dat we naar 7nm kunnen, dacht dat we al aardig richting het fysieke maximum gingen.

Misschien is dit bedrijf daarom wel een koopje, ze kunnen iets wat niemand anders kan en waar nóg geen behoefte aan is. ASML moet het product eerst nog maken. Als dat eenmaal op de markt is zou de belangstelling voor deze controleappartuur wel eens enorm kunnen stijgen.

Ik weet niks van het bedrijf maar het zou zomaar kunnen dat die 180 miljoen omzet helemaal van ASML komt, hoeveel andere zijn er nu die dat soort apparatuur nodig hebben? Als ze zo jaarlijks 100 miljoen besparen dan halen ze de kosten er wel uit, zeker als je er van uit gaat dat de omzet flink zal stijgen zodra 7nm gemeengoed wordt.

Het zou ook nog kunnen dat ASML dit bedrijf opkoopt om de concurrentie dwars te zitten. Nu kan ASML wel gebruik maken van de mooie moderne apparatuur maar de concurrenten niet, die zullen het zelf moeten gaan bouwen en dat is duur en kost tijd. Zo kan ASML z'n voorsprong vast houden.

Het kan ook dat het ze niet gaat om het product zelf maar om de mensen of de patenten die het bedrijf heeft. Het zou ook omgekeerd kunnen, namelijk dat ze het zelf kopen om te voorkomen dat een concurrent het inpikt.

[Reactie gewijzigd door CAPSLOCK2000 op 24 juli 2024 08:52]

[T_E_O]

15x de jaaromzet. Ze zaten er wel echt om verlegen blijkbaar

[XO101]

Gewoon de concurrentie voor zijn en deze techniek ASML only maken, daar mag je wel een kleine premium voor betalen.

[Timmy]

Als jet het vergelijkt met de koers van HMI vorig jaar dan zou je kunnen zeggen dat het een koopje was. Toen stond het aandeel namelijk op TWD 2400 tegen over een bod van TWD 1410 vandaag.

[Reactie gewijzigd door Timmy op 24 juli 2024 08:52]

[Jermak]

als het weg is is 15x de jaaromzet laag, de omzet kan ook nog omhoog en de technologie wordt crucialer, voor de productie van een perfecte chip

[Neuron Collider]

welk nummer is het in het begin van de film?

[DirtyBird]

Darude - sandstorm

[JvS]

Wat gezien silicium (zand) erg toepasselijk is

[Neuron Collider]

Bonobo - Terrapin
https://www.youtube.com/watch?v=-0U_yqcNqR8
is eens iets anders dan sandstorm

[Reactie gewijzigd door Neuron Collider op 24 juli 2024 08:52]

[trogdor]

Het valt me op dat asml 420k omzet per medewerker genereert, en HMI 260k per mederwerker.
Daar zal dan wel een 'reogranisatie' gaan plaatsvinden.

[bvdbos]

De branches zijn wel sterk gerelateerd maar toch compleet ander werk. Kan je dus niet vergelijken. In mijn werkveld ben ik al blij als we 120K per werknemer maken.

[codebeat]

Straks heb je alleen nog maar een plakje silicium met wat connectoren, 7nm jeemig. Mooie uitzending, had het idee dat ik het al een keer had gezien? Wat ik grappig vond dat informatrice zoiets zei als "De plaat lijkt vlak maar er zijn nog kleine oneffenheden, zeker in nanoland.." haha, nanoland.

Maar we gaan er wel steeds meer naartoe dat apparaten steeds lichter worden en dat apparaten absoluut niet meer te repareren zijn. Dat heb je al met SMD componenten, sommige componenten zijn zo ontiegelijk klein, dat kun je met een pincet niet eens normaal vasthouden laat staan solderen.

Ik ben nu ook gedoken in de wereld Arduino en heb een paar Sparfun Kickstarter Attiny85's, man wat klein en wat je er allemaal mee kan. Onbegrijpelijk haha.
http://nl.aliexpress.com/...nt-board/32409396629.html

Dit ook, als je terug zou flitsen met de teletijdmachine van prof Barabas naar bijvoorbeeld de 80e jaren zouden helemaal perplex staan:
https://www.kickstarter.c...-sized-gaming/description

[Verwijderd]

Ach valt wel mee, die zullen denken wat is dat voor naaperij, kunnen ze niks zelf bedenken.