ASML heeft een bestelling van minstens 15 euv-machines voor chipproductie in de wacht gesleept voor 'een van zijn grote Amerikaanse klanten'. De klant, waarschijnlijk Intel, gaat de lithografiemachines van de nieuwe generatie inzetten voor komende productieprocedés.
Het gaat om ten minste 15 euv-systemen waaronder twee NXE:3350B-modellen die nog eind dit jaar geleverd gaan worden. De betreffende klant, die ASML niet bij naam noemt, heeft al euv-testsystemen staan. "Euv nadert nu volume-introductie", zegt ASML-ceo Peter Wennink. De lithografietechnologie zou Moore's Law 'tot ruim in het volgende decennium' in stand houden voor de halfgeleiderindustrie, claimt ASML zelf.
De euv-machines moeten de huidige immersie-lithografiesystemen opvolgen en maken gebruik van licht met een golflengte van 13,5nm, waarmee kleinere structuren op wafers aangebracht kunnen worden. ASML werkt al meer dan tien jaar aan de technologie, maar ondervond diverse hobbels bij het productierijp maken van de systemen.
De klant waar ASML over spreekt is waarschijnlijk Intel. Momenteel maakt Intel zijn Broadwell-processors op 14nm en de Amerikaanse chipmaker verwacht begin 2017 over te stappen op de 10nm-productie. Waarschijnlijk is dat te vroeg om de nu bestelde euv-machines in te zetten, dus waarschijnlijk gaan die voor de 7nm-productie gebruikt worden.
In 2016 moeten de machines van ASML een productiesnelheid van 1500 wafers per dag halen, wat voldoende zou zijn om ze kostenefficiënt voor volumeproductie in te zetten. Begin dit jaar maakte ASML bekend een snelheid van 1000 wafers per dag te halen.
Meer over de Wet van Moore lees je in het achtergrondartikel: De Wet van Moore is jarig - Al vijftig jaar leidraad naar kleinere chips. Over euv bij ASML kun je meer te weten komen bij de videoreportage Verkleining chips is grote kunst.