ASML heeft bekendgemaakt dat het twee NXE:3350B-chipmachines op basis van euv-lithografietechniek aan TSMC heeft verkocht. Dit zijn de eerste euv-machines die TSMC gaat inzetten voor de productie. Het chipbedrijf had al wel testmachines.
De euv-machines, waarbij euv staat voor extreem ultraviolet licht, worden gebruikt om complexe schakelpatronen op chips te etsen. De euv-technologie moet de momenteel in gebruik zijnde immersielithografie bij de chipproductie opvolgen. Chipmachinebouwer ASML leverde de eerste euv-systemen vorig jaar aan onder andere Intel, Samsung en TSMC. Laatstgenoemde heeft nu opnieuw een grote order geplaatst: TSMC zal volgend jaar twee nieuwe euv-machines uit de NXE:3350B-serie ontvangen. De apparaten kosten 70 miljoen euro per stuk. Daarnaast zal ASML twee eerder aan TSMC geleverde machines uit de NXE:3300B-serie upgraden. Deze machines waren vooral bedoeld om de technologie te testen, terwijl de NXE:3350B als daadwerkelijke productiesystemen dienst moeten gaan doen.
Volgens ASML staat de chiptechnologie op basis van euv-lithografietechniek op doorbreken nu steeds meer bedrijven euv-apparaten bestellen. Euv maakt nog kleinere structuren op een chip mogelijk waardoor de transistordichtheid nog verder is te verhogen. De technologie is niet alleen voor processors toepasbaar maar ook voor dram- en nand-chips.
ASML denkt dat dankzij de euv-techniek de wet van Moore de komende tien jaar zal blijven gelden. Die wet stelt grofweg dat het aantal transistors in een geïntegreerde schakelingen elke twee jaar verdubbelt. Het bedrijf verwacht tevens dat de deep-uv-technologie gebruikt zal gaan worden om processors met meerdere lagen te ontwikkelen. Verder zou de chipproductie efficiënter uitgevoerd kunnen worden dankzij de zogeheten holistic lithography-productiemethodes van ASML.
Naast de bekendmaking van een nieuwe bestelling voor zijn euv-chipmachines spreekt ASML ook de verwachting uit dat de omzet de komende jaren sterk zal groeien. In 2020 zou deze zelfs rond de 10 miljard euro moeten liggen, bijna een verdubbeling van de omzet van 5,2 miljard euro vorig jaar.
Tegen 2016 of 2017 zal de inzet van euv volgens ASML kostendekkend zijn. In oktober maakte ASML bekend samen te werken met een klant om euv eind 2016 mid-node in te zetten bij 10nm-productie van chips. ASML zei toen te verwachten dat het half 2015 zes NXE:3350B-machines ging leveren.