ASML verkoopt productierijpe euv-chipmachines aan TSMC

ASML heeft bekendgemaakt dat het twee NXE:3350B-chipmachines op basis van euv-lithografietechniek aan TSMC heeft verkocht. Dit zijn de eerste euv-machines die TSMC gaat inzetten voor de productie. Het chipbedrijf had al wel testmachines.

De euv-machines, waarbij euv staat voor extreem ultraviolet licht, worden gebruikt om complexe schakelpatronen op chips te etsen. De euv-technologie moet de momenteel in gebruik zijnde immersielithografie bij de chipproductie opvolgen. Chipmachinebouwer ASML leverde de eerste euv-systemen vorig jaar aan onder andere Intel, Samsung en TSMC. Laatstgenoemde heeft nu opnieuw een grote order geplaatst: TSMC zal volgend jaar twee nieuwe euv-machines uit de NXE:3350B-serie ontvangen. De apparaten kosten 70 miljoen euro per stuk. Daarnaast zal ASML twee eerder aan TSMC geleverde machines uit de NXE:3300B-serie upgraden. Deze machines waren vooral bedoeld om de technologie te testen, terwijl de NXE:3350B als daadwerkelijke productiesystemen dienst moeten gaan doen.

Volgens ASML staat de chiptechnologie op basis van euv-lithografietechniek op doorbreken nu steeds meer bedrijven euv-apparaten bestellen. Euv maakt nog kleinere structuren op een chip mogelijk waardoor de transistordichtheid nog verder is te verhogen. De technologie is niet alleen voor processors toepasbaar maar ook voor dram- en nand-chips.

ASML denkt dat dankzij de euv-techniek de wet van Moore de komende tien jaar zal blijven gelden. Die wet stelt grofweg dat het aantal transistors in een geïntegreerde schakelingen elke twee jaar verdubbelt. Het bedrijf verwacht tevens dat de deep-uv-technologie gebruikt zal gaan worden om processors met meerdere lagen te ontwikkelen. Verder zou de chipproductie efficiënter uitgevoerd kunnen worden dankzij de zogeheten holistic lithography-productiemethodes van ASML.

Naast de bekendmaking van een nieuwe bestelling voor zijn euv-chipmachines spreekt ASML ook de verwachting uit dat de omzet de komende jaren sterk zal groeien. In 2020 zou deze zelfs rond de 10 miljard euro moeten liggen, bijna een verdubbeling van de omzet van 5,2 miljard euro vorig jaar.

Tegen 2016 of 2017 zal de inzet van euv volgens ASML kostendekkend zijn. In oktober maakte ASML bekend samen te werken met een klant om euv eind 2016 mid-node in te zetten bij 10nm-productie van chips. ASML zei toen te verwachten dat het half 2015 zes NXE:3350B-machines ging leveren.

Reacties (41)

[JSDJ]

Leuk om te lezen! Vorig jaar nog daar geweest, wat een gigantisch complex is het toch ook:)

Voor geïnteresseerden: kijk ook eens naar MAPPER, een ander, veel kleiner, Nederlands bedrijf die zich in deze sector bezig houdt. Waar ASML zich nog steeds bezig houdt met licht en vindt dat dit voorlopig de 'go to' technology is (getuige de nieuwe EUV technologie), hebben ze bij MAPPER het over een andere boeg gegooid en gebruiken ze hier elektronenbundels i.p.v. licht om mee te etsen. Elektronen hebben een veel kleinere golflengte dan licht en zouden dus veel nauwkeuriger kunnen etsen.

[knottnerus]

Een nadeel van deze techniek is echter wel dat het "etsen" 10x langer duurt. ASML heeft het doel om 100 wafers per uur te draaien per machine terwijl de e-beam machine van Mapper dit niet haalt.
Als je bedenkt dat dit proces de bottleneck vormt van de hele chipproductie, dan kan je je voorstellen dat dit niet echt acceptabel is.

Lithografie heeft 3 belangrijke pijlers:
- Resolutie (hoe smal kan je je lijntjes printen) (nu ongeveer 10nm)
- Overlay (hoe nauwkeurig kan je je machine positioneren) (nu ongeveer 1nm)
- Throughput (hoeveel wafers kan je machine per uur verwerken) (richtlijn: 100 per uur voor 300mm wafers)

[HesRuud]

Daar integen heb je bij ASML maskers nodig (volgensmij minimaal 5, welke €100,000 per stuk kosten). Bij de machine van Mapper heb je deze niet nodig. Dus bij het maken van prototypes heb je meer aan een machine van mapper dan aan ASML.

Een tweede punt. De machines van ASML zijn veel groter (cleanroom vloer oppervlakte). Er kunnen meerdere machines van Mapper staan per m2. Als je per vloeroppervlakte kijkt komen de machines al veel dichter bij elkaar.

[Petertyuh]

De MAPPER machine is inderdaad heel klein in vergelijking met een EUV. Hier is een plaatje van de MAPPER machine bij Leti, waarbij hij gekoppeld is aan een Sokudo track. Dat glimmende stuk in het midden en rechts is de track en dat kleine witte doosje aan de linker kant is een enkele (FLX1200) unit. Qua footprint is de MAPPER machine 1/12 van de EUV, uitgaande van de 3100 zoals die bij TSMC staat. Naar verluid is de 3300 nog een stuk groter, maar die heb ik nog niet in het echt gezien dus daar kan ik weinig over zeggen.

De MAPPER machine is ontworpen om in een cluster te werken, dus 12 van die units aan elkaar, en dan eenzelfde footprint als een EUV te hebben. Hiermee hebben ze als cluster een vergelijkbare throughput terwijl de uptime veel hoger kan zijn (elke unit kan afzonderlijk werken).

De MAPPER machine heeft inderdaad geen maskers nodig en voor een complete chip kan dat een besparing zijn van miljoenen euro's (Intel's nieuwste 14nm chip heeft 13 lagen).

Het is dan wel weer jammer om te lezen dat de EUV een chip zou etsen....
Deze machines schrijven de patroontjes, in een track die aan deze machine vast staat wordt de wafer ontwikkeld waarna dit in een andere machine geëtst kan worden.

Edit:
Hier nog wat meer informatie over hoe een computer chip gemaakt wordt, voor de liefhebbers.

[Reactie gewijzigd door Petertyuh op 23 juli 2024 00:41]

[knottnerus]

2 hele goede punten. Ik ben geen chipfabrikant, maar ik kan me voorstellen dat het vertrouwen in ASML groter is. Ik wil Mapper uiteraard niet opzij vegen, maar ze moeten zich nou eenmaal meten aan ASML...

[Pe Nis]

Mapper heeft zich proberen te verkopen aan ASML. Ze hebben de deksel op de neus gekregen. En als het wel wat zou worden, dan worden ze alsnog overgenomen door Veldhoven.

[obimk1]

"Maskers van ASML" zijn nodig om de machine te kalibreren of uit te richten. De maskers die je nodig hebt om chips te maken (en productie), worden ontworpen en gemaakt door de chip fabrikant en niet door ASML. Daar zit ook het IP in van de chipfabrikant 'verborgen'. Het is niet zo dat chip fabrikanten produktie maskers bestellen bij ASML, die bedenken ze zelf. MAPPER is inderdaad een 'maskerloze' technologie en dat maakt bepaalde aanloopkosten een stuk lager tov conventionele lithografische processen, en je kunt vrij snel een prototype maken van een een nieuwe chip zonder een duur masker, alleen duurt het erg lang om 1 zo'n chip te maken.

En inderdaad de footprint van een ASML machine is groter dan een MAPPER machine, maar wil je bv dezelfde throughput halen met MAPPER bij bv een 10 laags chip dan heb je ook een heleboel MAPPER systemen nodig en dan wordt dan ook een flinke fabrieksoppervlak.

[Reactie gewijzigd door obimk1 op 23 juli 2024 00:41]

[Rudie_V]

Je linkje vertelt wel informatie uit 2012, we leven inmiddels eind 2014

http://www.techdesignforu...mc-ebeam-euv-lithography/
Het lijkt erop dat multiple e-beam lithografie toch meer in het voordeelt komt boven euv lithografie.

Ook op de site van Mapper staat dat de machines al schaalbaar zijn tot 100 wph, en dan gok ik er op dan wph wafer per hour betekent.

[knottnerus]

Klopt, maar die bewuste machine bestaat (simpel gezegd) uit 10 reguliere 10WPH machines.
Dat artikel stamt idd uit 2012, maar elders op deze pagina staat een reactie dat in 2005 al gesproken werd over EUV bij ASML. Deze technologieen zijn dusdanig complex dat het jaren, duurt voordat een idee helemaal uitgewerkt is.
Op de site van Mapper is te zien dat er vooralsnog geen andere plannen zijn (naar buiten gebracht zijn).

[Rudie_V]

Ja ik had al zo'n donkerbruin vermoeden dat de 100 wph met meerdere machines gehaald zou worden.

Maar vooral de laatste 2 alinea's in mijn linkje zijn toch redelijk veelzeggend betreffende euv en e-beam.

Ik denk dan ook dat e-beam best wel een zonnige toekomst tegemoet gaat, zeker ook gezien dat er meerdere bedrijven met de technologie bezig zijn waar asml voor zover ik weet de enige is die met euv bezig is.
Vergeet ook niet dat asml een miljarden injectie heeft gekregen in 2012, intel $4,1 miljard, tsmc $1,4 miljard en samsung iets van €500 miljoen. In 2012 kreeg mapper maar €80 miljoen injectie
nieuws: Delfts 'e-beam'-lithografiebedrijf krijgt Russische kapitaalinjectie

[JSDJ]

Volledig met je eens; niets voor niets is ASML een veel grotere speler, MAPPER staat nog in de kinderschoenen. Alleen wat ik zeg: ASML heeft straks misschien een flinke bottleneck als ze tegen de fysische limieten aankomen, waar MAPPER dan (kort door de bocht gezegd) meer transistors mee mm^2 kwijt kan.
Vooralsnog is ASML de grootste speler!

En, correct me if I'm wrong, maar wat MAPPER doet valt toch niet meer onder de lithografie, omdat dit niet met licht/EM straling werkt?

[Reactie gewijzigd door JSDJ op 23 juli 2024 00:41]

[knottnerus]

Er zijn sowieso grenzen aan deze vorm van transistoren. Deze grens zijn we nu onderhand aan het merken.
Quantum tunneling

[mraix]

kwestie van hoe duur is dat langzame apparaat ? als je er 10 naast elkaar kan zetten voor de prijs van 1 van de concurrent, is het probleem weg ................

[jDuke]

Wow, toen ik langs ASML ging tijdens een open dag / career dag waren ze al bezig met EUV (en dit was in 2005!) ASML is haar voorsprong wel mooi aan het uitbouwen op deze manier. De immersion technology (met water als tussen laag ipv lucht, deze heeft een andere brekingsindex) waren ze hun tijd ook mooi op vooruit. Chapeau voor een top Nederlands bedrijf.

[Kevinp]

Leuke opmerking die mogelijk wel waar is, maar de manier waarop je het schrijft is wat vreemd. Immers zijn ze dan bijna 10 jaar ( of mogelijk ruim ) bezig om zo ver te kunnen komen.

Ik weet niet hoe ver andere zijn.

De grote vraag blijft "whats in it for me". Wat merken wij als consumenten. Eigenlijk niks, nou ja gewoon dat de vooruitgang door gaat.

Ik hoop eigenlijk nog eens op een "echte" doorbraak, aka een nieuwe chip die compleet anders werkt.

Tot die tijd, mogen we als Nederland trots zijn op dit schitterende bedrijf.

[Nas T]

Hoe ver zijn anderen: niet zo ver. ASML heeft zover ik weet ergens tussen de 80 en 90% van de markt in handen en een redelijk toekomstrijp product. De concurrentie niet.
Ja, ze zijn al tien jaar (en langer) bezig met EUV. EUV biedt zeer veel uitdagingen en een bottleneck wordt langzaamaan steeds beter aangepakt. Wat merk je als consument: Dat de huidige reguliere productie (ongeveer 20nm resolutie) redelijk hard voorbijgestreefd kan worden door 10nm en kleiner waar EUV heer en meester is.

Wat moet je je daarbij voorstellen? Stel dat Ferrari, Porsche, Lamborghini tegen de max van 320km/uur aanlopen en ze kunnen maar niet harder. Dan komt McLaren met een auto die 370km/uur kan. En nu steeds minder vaak met brokken langs de weg staat.

[Dark_man]

Dit soort ontwikkelingen geven dus aan dat de tijdperk van de volledig nieuwe technieke steeds dichterbij komt.

Immers hoe eerder EUV en opvolgende technieken doorbreken hoe eerder we bij de natuurkundige grenzen komen en dus hoe eerder we chips met grafeen of optische interconnects zullen zien.

Maar ach al heb je een grafeen CPU in je PC zitten over 10 jaar, dan zul je daarmee ook weer gewoon surfen op het internet en wat photoshoppen of documenten tikken.

Al die rekenkracht zal nog steeds alleen voor bepaalde taken echt nodig zijn.

[sandeman]

Ja, ze hebben wat geld te besteden daar. Zaterdag vierden ze hun dertigjarig bestaan nog met een flink feest in de Brabanthallen.

[boooootje]

Ja.Was gezellig.

[crackletinned]

Zouden de kloksnelheden van processors dan ook weer echt omhoog kunnen?
De laatste tijd schiet het wat dat betreft niet erg op.

[Chip.]

Nee, lees daarvoor http://www.quora.com/Why-...eased-in-the-last-5-years

[kidde]

Intel, Samsung, Glofo en TSMC gebruiken uit kostenoverweging inferieure transistor-ontwerpen.

IBM Power8 processoren gebruiken wel het volgens Intel duurdere maar minder dan TriGate lekkende SOI-ontwerp en halen daardoor tot 5gHz.

[XO101]

Vanuit een toeleveranciers perspectief (ik werk bij de bouwer van de nieuwbouw) is dit ook goed nieuws. Er hangt een waanzinnige rits van Nederlandse en internationale toeleveraciers aan ASML. Als het met ASML goed gaat, dan gaat het met die keten ook goed.

[Verwijderd]

Goed nieuws.

[Evil.bean]

Kijk voor de grap ook een naar de koers over 5 jaar, dat laat een stuk positiever beeld zien. Ook dit jaar zijn ze aardig vooruit gegaan.

Het is inderdaad mooi om te lezen dat de grootste chip-fabrikanten van de wereld machines van een in de basis Nederlands bedrijf afnemen. Ik ben benieuwd of hun stelling wat betreft die Wet van Moore gaat kloppen. Elke 2 jaar verdubbelen is een fikse uitdaging, vooral nu de grootte van de transistors richting de golflengte van het licht gaat. Dat vormt volgens mij een van de grootste uitdagingen.

Edit: 1 jr naar 2 jr. Thank voor het opmerken.

[Reactie gewijzigd door Evil.bean op 23 juli 2024 00:41]

[Yamotek]

Even een leuke toevoeging op deze post, 10nm is al een stukje kleiner dan zichtbaar licht (350nm is al zwart). Dus het zit al op veel kleinere golflengte dan licht en de wet van Moore is iedere twee jaar een verdubbeling, dus iets minder veel dan ieder jaar.

Heb op de universiteit laatst ook een lunchlezing over ASML gehad: 'Waarom het euv genoemd wordt? Dit klinkt een stuk prettiger dan soft x-rays', dit was de zin die mij bijgebleven is en vind het wel grappig klinken.

De vooruitzichten van het bedrijf zijn goed, vind het ook raar dat je als aandeelhouder dit dan juist wilt verkopen.

[Reactie gewijzigd door Yamotek op 23 juli 2024 00:41]

[kidde]

Voor de minder ervaren en reguliere RTLZ kijkers onder u die pump n dump niet snappen, het gaat als volgt:
1) Oplichters investeringsbank (GS, MS, JPM) zoekt hype, en kopen aandelen in bedrijf X
2) Oplichters bank vertelt hun klanten dat koers van bedrijf X gaat exploderen wegens hype, hun analisten geven hoge koersdoelen
3)Klanten kopen massaal aandelen X
4) bank verkoopt X met veel winst en gaat nu short op X, dwz leent en verkoopt aandelen X voor veel geld
5) kwartaalcijfers bedrijf X komen uit en blijven achter bij overhypte verewachting van bank
6) bankanalisten zeggen sorry, X presteert ondermaats, we stellen koersdoel naar beneden bij.
7) klanten worden bang, verkopen X, koers daalt
8 ) oplichtersbank koopt X voor weinig geld terug en geeft ze terug aan uitlener, en maakt weer superwinst.

GS deed dit oa bij Apple: Zelf aandelen AAPL verkopen, en klanten wijsmaken dat aandeel zou exploderen, zodoende voor overprijsd bedrag eigen AAPL aan eigen klanten verkopen.

[Reactie gewijzigd door kidde op 23 juli 2024 00:41]

[Rixter223]

Ze gaan hard onderuit op de beurs, beleggers vertrouwen de cijfers niet en geloven het toekomst verhaal van ASML niet. Beurs is emotie geloof ik?

[FiRePaTH]

Was net op RTL-Z (met een heerlijke cynische ondertoon verteld door die presentator )

Beleggers waren niet tevreden over een verdubbeling van de winst over 6 jaar, want ze hadden verwacht dat het binnen een kortere termijn zou verdubbelen... Dat kan inderdaad echt niet, wat een slecht bedrijf is het nu!!! Must sell all stocks right away!!!

De hedendaagse aandelenbeurzen zijn gewoon gokmachines geworden en hebben weinig meer te maken met het investeren in het bedrijfsleven om gezamenlijk vooruit te gaan.

ASML is een prachtbedrijf waar Nederland zeer trots op mag zijn!!!

[Reactie gewijzigd door FiRePaTH op 23 juli 2024 00:41]

[mukkel]

Zekers een mooi bedrijf (Trots dat ik er werk).
De aandeelhouders moet je niet al te veel op letten, die willen snel en makkelijk geld verdienen.

Als je de aandelen van ASML de afgelopen 5-jaar bekijkt blijft er een goede stijgende lijn in zitten. van +/- 10-15 euro naar 80+.

Als EUV een beetje loopt, dan komen de QXT's / 450mm.
maw komende jaaaren zit ASML nog wel goed.

[kasper79]

Dat aandeelhouders snel en makkelijk geld willen verdienen is natuurlijk onzin, dat geldt slechts voor een deel van de aandeelhouders. De meesten zijn echter partijen die er voor langere tijd inzitten, zoals pensioenfondsen, institutionele beleggers en fondsbeleggers. Die weten dat aandelen enkel op langere termijn geld opleveren door op het juiste moment in te stappen en op het juiste moment te verkopen. Dat kan enkel bij bedrijven waar op lange termijn een groei wordt verwacht.

En die verwachting is waar het om gaat: beleggers hebben gebaseerd op informatie van het bedrijf, van vergelijkbare bedrijven en van de markt van semi-conductors blijkbaar meer verwacht dan nu wordt geleverd. Dat heeft onherroepelijk invloed op de koers van een bedrijf op de beurs, aangezien verwachtingen nu naar beneden worden bijgesteld.

Een lager bedrijfsresultaat op langere termijn betekent een lagere waarde van dat bedrijf, dus een lagere waarde van een aandeel in dit bedrijf. Vrij logisch allemaal.

[supertheiz]

ASML is een bedrijf met een ongelooflijke kennis en voorsprong op de concurrentie. Maar de analysten zijn ook niet gek:
1: Organisatorisch is er nog wel heel wat te verbeteren. De basis van het bedrijf is nog redelijk gelijk aan hoe het was in 1998 (toen er 1000 mensen werkten) en volgens mij is er op dat vlak gigantisch veel potentieel voor verbetering. ASML kan de groei maar moeilijk aan, mensen worden aangenomen en binnen enkele weken overgeplaatst of weer ontslagen. De sfeer is niet fantastisch, je hebt de oude garde en de nieuwe werknemers maar dat mengt maar bar slecht. Afdelingen doen dezelfde dingen zonder het van elkaar te weten. Etc.
2: Ze hebben een fabriek overgenomen in de VS voor een speciaal soort lasers. Dit levert ASML nog niet op wat het zou moeten doen. Als dit wel zou opleveren wat het zou moeten doen was het omzetdoel wellicht wel haalbaar geweest.
3: De afgelopen jaren is de groei gigantisch geweest doordat zowel de oude markt (computers) als nieuwe markten (smartphones, en smart devices) naast elkaar liepen. Analysten kunnen (wellicht terecht) twijfels hebben bij de groei van deze markten en hierdoor de vraag naar machines van ASML. Daarnaast kan het zijn dat de vraag op deze markten minder specialistisch is, waardoor concurrenten van ASML wellicht machines kunnen gaan leveren.

[Pe Nis]

De complexiteit binnen EUV is dat het zo complex is dat er geen menselijk brein is die snapt hoe het allemaal werkt. Vele condities zijn nieuw te ontdekken werkgebieden waar geen kennis van is, ook niet op academisch niveau.

Het duurt ongeveer een jaar of 2 tot 3 voordat je op je werkgebied snapt waar het over gaat, dus je kan wel mensen aannemen, maar 1) die zijn pas na een paar jaar op het niveau dat ze een bijdrage kunnen leveren, b) de ervaren mensen de nieuwe moeten opleiden hetgeen netto een achteruitgang betekent de eerste jaren na een hire-wave.

[aicaramba]

Niet iedereen bij ASML werkt aan die technieken. Er zijn ook mensen die de frames ontwerpen, of software schrijven, etc. Daar heb je niet dat inwerk traject nodig.

[Pe Nis]

Dat klopt, maar het systeem werkt niet als de archtectuur niet klopt. En als die niet klopt, kan je designen wat je wilt. Je moet het grote bouwwerk begrijpen.

[Verwijderd]

Je hebt ook schoonmakers!

[Pinkys Brain]

het EUV laser verhaal is vanaf het begin een groot drama geweest, om te verwachten dat het ineens anders zou worden na de overname is naïef. Er is ingezet op laser plasma lichtbronnen en er is nu gewoon geen weg terug meer, het kost wat het kost in tijd en geld. Ze zijn pot committed.

Persoonlijk denk ik dat de industrie wat gevarieerder had moeten investeren (FEL bijv.) maar het het is nu te laat.

[Pe Nis]

De beurs wordt bepaald door de psyche van de mens en geruchten. Niet serieus te nemen dus.

[GeoBeo]

Beurs is totale willekeur.