Delfts 'e-beam'-lithografiebedrijf krijgt Russische kapitaalinjectie

Mapper, de Nederlandse fabrikant van machines voor e-beam-lithografie, heeft een kapitaalinjectie van 80 miljoen euro gekregen, waaronder 40 miljoen van een Russische investeerder. Het bedrijf uit Delft wil met het geld de productie verhogen.

Het Nederlandse Mapper Lithography, een spin-off van de TU Delft, ontwikkelt technieken voor e-beam-lithografie. Door wafers met elektronenbundels te beschrijven, zouden kleinere proces-nodes binnen handbereik komen dan met traditionele lithografietechnieken mogelijk is. Het bedrijf meldt nu bij een financieringsronde 80 miljoen euro te hebben binnengehaald.

De helft van dat geld komt van de Russische investeerder Rusnano, die volledig in handen is van de Rusische staat. Deze onderneming probeert met investeringen in tal van projecten de Russische nanotechologie-industrie een duw in de rug te geven. De overige 40 miljoen euro komt van bestaande investeerders in Mapper, zoals ADP Industries, Hoving & Partners, Technolution en Demcon. Daarnaast draagt de Nederlandse overheid middels een lening van Agentschap NL, onderdeel van het ministerie van Economische Zaken, Landbouw en Innovatie, bij aan de financiering.

Mapper Lithography wil het geld gaan gebruiken om nieuwe Matrix-'electronbeamsystemen' aan klanten te leveren en om nieuwe infrastructuur te bouwen waarmee het minstens twintig nieuwe machines per jaar moet kunnen fabriceren. De Nederlandse overheid investeerde eerder in Mapper.

Helaas!
De video die je probeert te bekijken is niet langer beschikbaar op Tweakers.net.

Reacties (31)

[Edddd]

Spin-off van de TU Delft. Zo zie je maar weer hoe belangrijk kennis en educatie is. Door voorop te lopen behoud je kwalitatief hoogwaardige werkgelegenheid.

Mooie prestatie om ook de middelen bij elkaar te kunnen krijgen voor verdere groei. Zeker in tijden waarin de banken terughoudend zijn.

[Raptorial]

Ik doe zakelijk wel dingen met Mapper, sterker nog, ik zit er volgende week weer.

We hebben in het begin moeite gehad om te bedenken of je wilt leveren aan een club die geen inkomsten heeft, zeker als het tegen ASML moet gaan opboksen. Maar we hebben besloten hier wel in te stappen.
Maar de E-Beam technologie en hoe ver ze hier mee zijn schept goede hoop. De machines zijn langzamer kwa output van ASML, maar je kunt er bijvoorbeeld 10 schakelen, dan zijn ze wel duurder dan die van ASML, maar je hoeft weer niet peper dure maskers te maken, en je kunt naar veel kleinere nanometers.

ASML is toch wat zenuwachtig denk ik: http://tweakers.net/nieuw...o-investeren-in-asml.html. En dan willen ze nog extra investeerders. Eigenlijk knap dat Mapper zo ver komt met een relatief lage investering.

Er zijn nog 2 e-beam bedrijven in de wereld, als er dan toch geconcurreerd moet worden met ASML laat de concurrent dan ook maar Nederlands zijn.

[Reactie gewijzigd door Raptorial op 23 juli 2024 04:41]

[Rob Coops]

Kleinere nodes... mar hoe klein?

Intel claimt succes met de 14nm node en lijkt in samen werking met onder andere ASML, de 10nm ook nog als mogelijkheid te zien. Nog kleiner levert problemen op op het quantum mechanische vlak volgens vele.
Als het met e-beam technologie echt mogelijk is om nog kleiner te gaan dan zou dat natuurlijk mooi zijn maar lopen we dan niet tegen andere beperkingen aan? Daar naast zullen ze wel moeten opschieten met het produceren van hun hardware want zelfs als het ze allemaal lukt dan nog zal ook ASML niet stil zitten en het zou me niets verbazen als het ze lukt nog meer leven uit de lithografische machines te persen...

Maar je hebt wel gelijk als iemand het ASML moeilijk moet maken laat het dan maar een Nederlands bedrijf zijn het zou zonde zijn als we ook deze industrie zouden verliezen aan het buitenland.

[metroappelsap]

Het gaat eigenlijk niet om de kleine nodes, maar om het feit dat je met e-beam lithography geen maskers meer nodig hebt. Dan zijn de eenmalige kosten voor een batch veel kleiner en dus kun je IC's met een kleine oplage goedkoper produceren.

[Verwijderd]

Heeft iemand een idee wat het nu kost om met die technologie een ge-package-de chip te maken in een oplage van 1, 10, 100, 1000 stuks?

[HesRuud]

Een "masker" maken gaat je zo ongeveer 3-5 ton kosten, per laag die in de microchip zit.
Voor een volledige microchip zit je zo op een paar miljoen aan maskers.
Het voordeel van de machine van Mapper is dat deze de maskers niet nodig heeft en dus prototypes veel sneller en goedkoper gemaakt kunnen worden.

[Verwijderd]

Ja maar mijn vraag ging dus over Mapper. Wat kost het maken van een chip in een kleine oplage?

Dit zou fantastisch zijn voor prototyping, voor research-doeleinden (studenten die voor hun project een chip maken), en voor niche-markten waar de oplage gewoon klein is.

[Sissors]

Als je het over de aantallen heeft die twop noemt, ga je natuurlijk geen masker enkel voor die chip maken maar ga je mee op een multi-project wafer. Dat kan wel vanaf iets van 15k per mm2 voor een 32nm node.

Het kost inderdaad wel flink wat tijd voordat je het terug hebt.

[Fireshade]

Nog kleiner levert problemen op op het quantum mechanische vlak volgens vele.

Jaren geleden konden we ook niet kleiner vanwege hitte, lekken en weet ik wat niet. En nu hoor je daar niets meer van, maar we hebben al wel kleinere nodes.
Dus er zijn altijd wel problemen, maar die zijn er om opgelost te worden

[Mathieu_Hinder]

Jawel hoor, de hitte en warmte-afvoer is nog steeds een probleem, en dat wordt alleen maar erger. Zoek eens de term Dark Silicon op, dan zie je dat wel degelijk een probleem vormt.

[HesRuud]

Thermische uitzetting zal altijd een probleem vormen, nu worden eenmaal trucjes gebruikt om die uitzetting te omzeilen. Je hoort er niks van omdat het niet interessant is voor de buitenwereld. Hier word nog altijd geworsteld met de problemen die de ongelofelijk kleine produce opleveren.

[Sissors]

Je kan wel kleiner dan 10nm, maar bij 4-5nm ga je toch wel redelijk tegen een grens aanlopen. We hebben ook al lang de machines die kleiner kunnen maken dan dat, de e-beams zoals ook door dit bedrijf worden gebruikt (alleen dan trager, en waarschijnlijk wel nauwkeuriger). Totaal ongeschikt voor massaproductie zijn die, maar je kan er wel prima meer experimenteren hoe klein je een transistor kan maken. En dan is het toch nog niet gelukt een 1nm transistor te maken, ook al kunnen ze dus wel features met die afmetingen maken, de transistor doet het gewoon niet.

[subroutine]

volgens mij, is het grote voordeel ook van de mapper machines (die trouwens intern allemaal leuke namen hebben oa uit asterix en obelix.) dat ze een kleinere footprint hebben en veel veel minder energy slurpen.

de nieuwe chipfabrieken hadden bijna een eigen kerreactor laten bouwen omdat anders hun nieuwe fab niet genoeg energy krijgen om de vele litography machines te voorzien van energy.

Ik heb hier iets van 4 jaar partime gewerkt, maar nu door afstuderen geen tijd meer om bij mapper te spelen ehh werken.

[Sn0zz]

We hebben in het begin moeite gehad om te bedenken of je wilt leveren aan een club die geen inkomsten heeft, zeker als het tegen ASML moet gaan opboksen. Maar we hebben besloten hier wel in te stappen.

Dat heb je toch al snel met startups in de research hoek? Daar investeer je in de waarschijnlijkheid dat het proces wat ze onderzoeken daadwerkelijk kans van slagen heeft. Met Mapper lijkt dat intussen aardig de goede kant op te gaan.

Hoop dat ze nog verder kunnen komen. Ook hulde aan de bedrijven / investeerders die het aandurven om dit soort initiatieven te steunen!

[Reactie gewijzigd door Sn0zz op 25 juli 2024 20:01]

[bRight]

Het is inderdaad een kwestie van lef en geduld hebben.
Mapper is met 3 man gestart vanuit de kelder van het Elektrogebouw in Delft.
Nu 12 jaar later is het team doorgegroeid tot een paar honderd mensen, wat nog steeds bizar klein is ten opzichte van de reuzen uit Azië die veel meer geld en middelen tot hun beschikking hebben.
Ik vind het geweldig te zien hoe Marco en zijn mannen zich steeds weer staande weten te houden tussen al dit geweld!

[slow whoop]

...en je kunt naar veel kleinere nanometers.

Revolutionair! Een machine die nanometers kleiner kan maken

[Verwijderd]

Veel interessanter is de vraag waarom ASML dit bedrijf niet heeft overgenomen. Ik las een tijd geleden een artikel waarin stond dat Mapper dit zelfs aangaf. Ze prefereerden overgenomen te worden door ASML.
ASML werkt immers altijd al aan zijn volgende systeem als de 'eerst volgende' nog niet eens is uitgebracht. Op dit moment komt er een nieuwe methode aan, maar daar zijn nog wat problemen mee.
Het probleem met hun huidige methode is dat ze met licht werken. Ze werken nu niet met lenzen maar met spiegels. Je moet dan werken met de golflengte van het licht, die, eigenlijk best wel groot is, rood is bijvoorbeeld ongeveer 700nm, dus 0,7 micrometer, en dat is dus een duizendste millimeter. een mensenlijk haar is gemiddeld 50micrometer. De techniek van Mapper maakt het mogelijk waanzinnig klein te printen.

In hun board zit bijvoorbeeld Arthur del Prado, oud-CEO van ASMI, en hij is medeoprichter van ASML. Die heeft er persoonlijk kennelijk vertrouwen in. Uit een nieuwsbericht van vorig jaar:

ASML ziet geen brood in de e-beam-machines van Mapper. ‘E-beam is fundamenteel beperkt in doorvoer. De enige manier om die verhogen, is om het aantal elektronenkolommen te vergroten, maar daarmee wordt het geheel uiteindelijk duurder dan EUV-lithografie’, zei ASML-CEO Eric Meurice

Verder is 80mio natuurlijk verre van genoeg deze techniek te ontwikkelen, dit is echt seed-stage voor de wafersteppers, die echt absurd duur zijn. Die steppers van ASML beginnen geloof ik bij een miljoen of 10. Die laatste besteed 0.5 miljard per jaar aan R&D, en heeft onlangs een investering van Intel gekregen van 2 miljard.
Leuk om te weten is ook dat ASML de hele industrie bezit, ik geloof zeker 80% of meer. Dit omdat concurrenten zoals Canon en Nikon een beetje zijn afgehaakt bij de huidige techniek, die hebben besloten misschien later nog bij te komen als er een nieuwe techniek is ontwikkeld.

[Durandal]

ASML ziet geen brood in de e-beam-machines van Mapper. ‘E-beam is fundamenteel beperkt in doorvoer. De enige manier om die verhogen, is om het aantal elektronenkolommen te vergroten, maar daarmee wordt het geheel uiteindelijk duurder dan EUV-lithografie’, zei ASML-CEO Eric Meurice

Duidelijk dat ASML alleen denkt aan de wereld waar ze nu in leven, waarbij er een beperkt aantal grote chipbakkers op de wereld zijn waar ze voor grof geld grote machines aan leveren voor hoge producties.

Ik weet niet hoe groot die ebeam machines zijn, maar de techniek is simpeler en ze vreten minder energie. Wellicht zijn die te miniaturiseren tot een niveau waarbij eerst kleine bedrijven en uiteindelijk consumenten hun eigen ICs kunnen bakken in kleine aantallen, analoog aan wat de printer heeft gedaan tov de drukpers en wat van de 3D printer wordt verwacht dat hij gaat doen.
Dan zou de markt er wel eens heel anders uit kunnen zien en de omzet groter.

[zonoskar]

En wat als de consument zijn/haar eigen chips kan bakken? Het 'beschrijven' van de silicium is een klein gedeelte van een chip. Je moet ook etsen, metaal opdampen enzovoorts. Daarna moet je de chip nog uitsnijden en in een package stoppen. Dit zijn allemaal precisie en/of gevaarlijke stappen. Niet iets wat je even in je keuken wil doen.

[Reactie gewijzigd door zonoskar op 25 juli 2024 03:12]

[metaal]

Het zou ook wel dom zijn als ASML nu gaat roepen dat ze het kunstje van Mapper fantastisch vinden, dan schieten de aandelen Mapper skyhigh en wordt een eventuele aankoop voor ASML alleen maar duurder.

De jongens bij ASML weten ook wel dat zo'n e-beam stukken kleiner, zuiniger en goedkoper kan worden dan die grote EUV kanonnen. Mogelijk zoveel zelfs dat het nog maar de vraag zal zijn of onder de streep de e-beamers niet juist meer wafers per uur per vierkante meter fabriekshal doen dan EUV steppers. En dan hebben we het niet eens over energiegebruik en yield, laat staan flexibiliteit.

Wat de heren sigarenrokers echt denken over Mapper zal je dus nooit weten. Ik denk dat ASML hier een spelletje blufpoker aan het spelen is.

[equit1986]

Concurrent voor ASML? wel vette techniek !

[MSalters]

Niet echt. Deze techniek maakt gebruik van elektronen, en die stoten elkaar af. Je kunt dus wel kleinere details maken, maar als je veel details wil maken (bijvoorbeeld een miljard transistoren) dan schiet dat niet op.

[subroutine]

ehh waarom zou je als elektronen elkaar afstoten kleinere detail kunnen "schrijven" op de silicium wafers ?

[HesRuud]

Omdat je electronen precieser (en dus een kleiner produce) kunt besturen dan de breedte van de golflengte van extreem ultra violet (waar ASML nu dus tegen aanloopt). Je kan met spiegels de golflengte gedeeltelijk "gelijktrekken" maar dit loopt ook tegen zijn beperkingen aan.

[Aham brahmasmi]

Ja, maar wat is nou de snelheidsbeperking met e-beam? Kun je minder goed (dan met EUV) een intense straal maken omdat de elektronen elkaar afstoten?

[haarbal]

EUV is nog steeds een hele chip in 1x belichten, met een ebeam doe je elk componentje los.

[Reactie gewijzigd door haarbal op 25 juli 2024 20:01]

[freaq]

sorrry als het een domme vraag is maar kan ASML dan niet gewoon naar nog hogere stralings groep gaan?

of is die limiet echt bereikt door wat silicium "doorlaat" aan licht ofzo?

[Verwijderd]

En wat als de consument zijn/haar eigen chips kan bakken? Het 'beschrijven' van de silicium is een klein gedeelte van een chip. Je moet ook etsen, metaal opdampen enzo voorts. Daarna moet je de chip nog uitsnijden en in een package stoppen. Dit zijn allemaal precisie en/of gevaarlijke stappen. Niet iets wat je even in je keuken wil doen.

RIght, but apart from the lithography machine there is some more equipment involved in making chips...

[Aham brahmasmi]

That's what he's actually saying in his post...

[RobjeDopje]

ben ik nu de enige die niet snapt waar dit precies voor is?