ASML heeft in het laatste kwartaal van 2016 zes bestellingen ontvangen voor euv-chipproductiemachines. Daarmee komt het totaal in het afgelopen jaar op achttien machines. ASML spreekt van een mijlpaal wat betreft zijn euv-doelstellingen.
Bij de bekendmaking van de jaarcijfers meldt ASML de doelstelling van 1500 met euv belichte wafers per dag behaald te hebben. Dat gebeurde bij een klant met een NXE:3350B-machine, waarbij de 1500wpd een gemiddelde over drie dagen betrof. Daarnaast werkten twee NXE:3300B-machines gemiddeld 90 procent van de tijd naar behoren gedurende een maand.
Volgens ASML hebben die resultaten voor voldoende vertrouwen gezorgd bij klanten om op grote schaal euv-machines te bestellen. Hoewel de resultaten nog niet voldoen aan de eisen voor massaproductie, zal ASML vanaf nu geen cijfers meer geven over hoe de euv-machines presteren. Volgens ceo Peter Wennink waren die prestatiecijfers bedoeld om vertrouwen te wekken en is dat doel behaald. Hij spreekt daarom van een mijlpaal.
De ASML-ceo claimt dat na het lange traject om euv geschikt te krijgen voor massaproductie, nu de relatief korte laatste stappen te zetten zijn. Eind 2018, begin 2019 moet die massaproductie volgens hem beginnen en alle chipfabrikanten zouden verklaard hebben dat komende chipgeneraties op euv-machines geproduceerd worden.
ASML's doel was om in 2016 zes of zeven euv-machines te leveren. Dat zijn er uiteindelijk maar vier geworden. Een klant wilde een upgrade van zijn bestelde machine naar een nieuwe generatie, waardoor die pas in 2018 geleverd wordt. Een andere machine die in 2016 geleverd zou worden, moet nog wel in 2017 verschijnen. ASML zegt in 2017 twaalf euv-machines te kunnen produceren en leveren. In 2018 zou de capaciteit groeien naar vierentwintig machines.
Naast de euv-bestellingen heeft ASML ook nog bestellingen voor achtendertig lithografiemachines op basis van de huidige immersietechnologie ontvangen, voor een totaal van 1,2 miljard euro. In totaal staat er voor een waarde van bijna 4 miljard euro in bestelling, waarvan de helft voor rekening van euv komt.
Met de euv-lithografietechniek wordt gebruikgemaakt van extreem ultraviolet licht, dat door de kleinere golflengte voor kleinere structuren bij de chipproductie kan zorgen dan met immersie-lithografie. Momenteel gebruiken chipfabrikanten nog machines van ASML op basis van immersie-lithografie, maar met die technologie is het binnenkort niet meer rendabel om op kleinere procedés overstappen.
De kwartaalomzet van eind 2016 kwam uit op 1,9 miljard euro, tegenover 1,4 miljard euro van het vierde kwartaal van 2015. De nettowinst bedroeg in het kwartaal 524 miljoen euro. Dat was een jaar eerder 292 miljoen euro.