ASML heeft in het afgelopen kwartaal acht nieuwe boekingen binnengekregen voor euv-chipmachines. In totaal bedraagt de backlog voor euv-machines nu 27 stuks. ASML profiteerde verder van de gestegen vraag naar geheugenchips.
Zes van de acht bestellingen van de euv-machine NXE: 3400B in de afgelopen drie maanden kwamen van een enkele fabrikant, die de machines wil inzetten om zowel geheugen als processors te maken. ASML maakt niet bekend om welke fabrikant het gaat, maar waarschijnlijk is het Samsung. De leider op de markt voor geheugenchips wil euv in 2019 inzetten voor 7nm-productie.
In totaal heeft ASML nu orders voor 27 euv-systemen; het bedrijf leverde in het afgelopen kwartaal 3 NXE: 3400B-exemplaren. ASML verwacht dit jaar meer bestellingen van de machines, nu alle grote chipfabrikanten toewerken naar euv-productie. Global Foundries en TSMC gaven eerder de verwachting aan net als Samsung in 2019 op 7nm met euv te kunnen produceren.
De fabrikanten willen op euv overstappen om rendabel kleinere structuren op het silicium aan te kunnen brengen. De inzet van de huidige 193nm-immersielithografie wordt vanaf 7nm te duur en tijdrovend. De euv-machines van ASML maken gebruik van extreem ultraviolet licht met een aanzienlijk kortere golflengte van 13,5nm, om dunnere lijntjes te kunnen beschrijven. De machines zijn echter nog niet klaar voor massaproductie. ASML stelt als doel dat de machines meer dan 125 wafers per uur kunnen bewerken en de beschikbaarheid van de machines moet op negentig procent of hoger liggen.
Tijdens Semicon 2017 vorige week meldde ASML een euv-belichtingsbron van 250W werkend te hebben gekregen. Aangenomen wordt dat een 250W-bron nodig is om het doel van 125 belichte wafers per uur te kunnen halen, schrijft EETimes. ASML maakte daarnaast bekend dat de NXE: 3400B aan de belichtingseisen voor 5nm-productie voldoet.
De bestellingen voor euv-machines vertegenwoordigen een waarde van 2,8 miljard euro. ASML profiteerde daarnaast van de grote vraag naar geheugenchips; de omzet van machines voor geheugen steeg met vijftig procent. De totale omzet van het bedrijf uit Veldhoven steeg in het afgelopen kwartaal tot 2,1 miljard euro. De winst bedroeg 466 miljoen euro.