Intel heeft een tipje van de sluier opgelicht over zijn plannen op lithografisch gebied voor chipproductie. Tijdens een bijeenkomst over lithografische technieken liet Intel weten te verwachten de huidige technieken voorlopig te kunnen blijven gebruiken.
Voor 45nm-lithografie gebruikt Intel lichtbronnen met een golflengte van 193nm. Voor zijn nieuwste 32nm-chips wordt dezelfde golflengte gebruikt, maar om de kleinere structuren te kunnen etsen dompelt Intel de wafers onder: deze techniek wordt immersielithografie genoemd.
De volgende generatie 22nm-processors staat ook al op de rol; Intel liet in oktober vorig jaar tijdens het IDF al de eerste wafers op deze zogeheten 'node' zien. In 2013 zouden dan de eerste 15nm-chips moeten volgen.
Zowel het 22nm- als het 15nm-procedé zou, zo voorspelde Intel al in juni vorig jaar, met immersielithografie met 193nm-licht gerealiseerd kunnen worden, al dan niet in combinatie met dubbele etspatronen. De volgende node, 11nm, zou aanvankelijk niet haalbaar zijn met uv-lithografie met maskers, maar Intel heeft inmiddels aangegeven dat 193nm-technologie mogelijk ook hiervoor gebruikt kan worden.
Immersielithografie zou tegen die tijd gecombineerd kunnen worden met andere technieken, zoals euv-lithografie. Intel wilde die techniek, op basis van ultraviolet licht met een golflengte van slechts 13,5nm, al voor de 22nm-node gebruiken. De techniek blijkt echter niet zo eenvoudig te implementeren.
Toch laat Intel euvl niet verstoffen: het zou in combinatie met immersielithografie toch voor de 11nm-node gebruikt kunnen worden. Een andere kandidaat in de door Intel voorgestelde 'mix and match'-strategie zou een maskerloos proces zijn. De euvl-techniek zou zich in 2011 of 2012 als alternatief moeten bewijzen; de maskerloze techniek zou tot 2012 de tijd hebben.