ASML heeft producten geleverd aan een bedrijf met banden met het Chinese leger, meldt Nieuwsuur. Het zou gaan om de China Electronics Technology Group Corporation, een Chinees staatsbedrijf dat de Chinese overheid omschrijft als 'militair-industriële groepsmaatschappij'.
Naast aan de CETC zou ASML volgens Nieuwsuur ook hebben geleverd aan chipmakers GTA Semiconductor, SiEn (QingDao), SMIC-dochter SMBC en de Shenzhen International Quantum Academy. Die laatste organisatie houdt zich onder andere bezig met quantum sensing, een geavanceerde sensortechnologie om met een zeer hoge mate van precisie metingen te kunnen uitvoeren.
De Nederlandse Militaire Inlichtingen- en Veiligheidsdienst waarschuwde in zijn jaarverslag dat deze technologie kan worden gebruikt om stealthvliegtuigen te detecteren die voor andere systemen onzichtbaar zijn. ASML leverde naar verluidt in februari 2024 een duv-machine aan het onderzoeksinstituut. Om welke machine het precies gaat, is niet bekend.
Sinds 2023 geldt een vergunningplicht voor de export van bepaalde lithografiemachines en die beperkingen werden vorig jaar uitgebreid. De exportbeperkingen gelden voor een aantal van AMSL's geavanceerde immersielithografiemachines, boven op de al langer bestaande restricties op de export van euv-apparatuur. ASML mag zijn minder geavanceerde duv-apparatuur nog altijd zonder vergunning exporteren.
ASML zegt in een reactie dat het zich houdt aan alle regelgeving en dat de geleverde onderdelen 'niet onderhevig zijn aan enige vergunningplicht in verband met exportcontrolbeperkingen of sancties'. Nieuwsuur deelde een lijst met onderdelen die verkocht zouden zijn aan China, maar ASML zegt dat dat gaat om 'oudere, generieke onderdelen en materialen' die niet onderhevig zijn aan een vergunningplicht of exportrestricties. De chipmachinefabrikant meldt verder dat hij niet kan inschatten of een bepaalde chipfabrikant in China onder een exportcontroleregime moet vallen: "Nationale veiligheid is een verantwoordelijkheid van overheden."