ASML levert zijn eerste lithografiemachine voor geavanceerde packaging

ASML heeft zijn eerste XT:260-scanner geleverd aan een klant. Dat bevestigde de Veldhovense chipmachinemaker op woensdag. Die machine is voornamelijk bedoeld om interposers mee te maken, die chipfabrikanten kunnen inzetten voor geavanceerde packaging.

Met de XT:260 brengt ASML voor het eerst een machine uit die gericht is op geavanceerde packaging. De machine werd vorig jaar al aangekondigd, maar is nu daadwerkelijk geleverd aan een klant, zo vertelt ceo Christophe Fouquet tijdens de presentatie van de kwartaalcijfers. Aan welke klant die eerste machine precies is geleverd, is niet bekend.

De machine is voornamelijk bedoeld voor het produceren van zogeheten interposers, zo meldde Bits & Chips eerder dit jaar. Dat zijn een soort ondergronden waar fabrikanten weer andere chips bovenop kunnen stapelen, om ze zo onderling met elkaar te verbinden. Chipmakers gebruiken interposers steeds vaker in hun producten. Intel gebruikt ze bijvoorbeeld in zijn Lunar Lake- en Panther Lake-cpu's voor consumenten om meerdere chiplets met elkaar te verbinden. Nvidia en AMD gebruiken ze ook in hun datacenter-gpu's.

Verschillende andere fabrikanten bieden al machines aan die hiervoor gebruikt kunnen worden, zoals Canon. De nieuwe XT:260 heeft echter een focus op de productiviteit en is volgens ASML aanzienlijk sneller dan bestaande machines op de markt, met een throughput van 270 wafers per uur. De XT:260 heeft daarbij een resolutie van 400nm; daarmee is hij fors minder precies dan de moderne euv- en duv-machines die gebruikt worden voor de frontendproductie, maar dat is ook niet nodig voor deze packagingdoeleinden.

Fouquet vertelt in een toelichting van de kwartaalcijfers dat het bedrijf zich wil gaan richten op geavanceerde packaging, zoals 3d-integratie, omdat het steeds belangrijker wordt om chips sneller te maken. Daarbij kunnen veel van de technieken die het bedrijf eerder ontwikkelde voor zijn 'gewone' lithografiemachines, ook gebruikt worden voor machines voor deze doeleinden. De topman bevestigt dat er na de XT:260 ook andere machines zullen volgen.

Bron: ASML

Reacties (13)

[kami124]

Ik heb zelf meegeholpen aan het ontwikkelen van deze specifieke machine. En het grote voordeel is dat de field size veel groter is. Bron: https://x.com/lithos_graphein/status/1858193841100337544

[Zombaya]

Zou je kunnen uitleggen wat het voordeel is van een grotere fieldsize en wat je hierdoor meer of beter kan?

Als leek heb ik geen idee wat dit als voordeel inhoudt, gezien ik al niet weet wat een fieldsize is .

[kami124]

Ja. Kort gezegd belicht je normaal je reticle (=blauwdruk van je chip) waarna je dat beeld dat vanaf je reticle komt, 4* keer verkleint en dan op de wafer schijnt om zo je chip te maken. Deze machine verkleint het beeld van je reticle maar 2 keer. Hierdoor is het oppervlakte van het beeld dat op je wafer schijnt 4 keer zo groot (2x breedte, 2x lengte) en kan je in theorie 4 keer zo snel een gehele wafer belichten. Of grotere chips maken dan nu van toepassing is (= advanced packaging). **

*je verkleint normaal het beeld van de reticle, zodat de structuren van je chip kleiner worden.

**alles is hier versimpelt uitgelegd.

[dasiro]

is de uiteindelijke resolutie van 400nm en de throughput van 270 wafers per uur vergelijkbaar met andere machines van voorgangers en/of andere fabrikaten?

[kami124]

De resolutie is niet echt hetgeen waar het gaat bij deze machine. De 270 wafers/h wel. Om het in perspectief te zetten kan onze XT:400M (dit is onze laatste versie, maar wel met een 4 keer beeldverkleining, die in ongeveer hetzelfde segment zit) machine 245 wafers/h aan. Bron: https://www.asml.com/en/products/duv-lithography-systems/twinscan-xt-400m

[MikeyVonG]

Waarom maar 270 wafers per uur? Ik bedoel de concurrentie wordt goed verslagen zie ik. Maar waarom is een machine die een stuk minder accuraat hoeft te zijn op resolutie en overlay niet de snelste uit het portfolio?

[Blokmeister]

Misschien een domme vraag, maar kan je met een isomorf (dus gewoon 4x4 reductie) systeem niet gewoon je lichtbron harder zetten en gewoon wat sneller scannen? Daar heb je toch geen andere lens voor nodig? Of is het echt een probleem met de acceleratie van de motoren? Ik zie namelijk dat de NXT 2000 wel gewoon dezelfde throughput haalt, dat lijkt me gewoon een isomorf 4x systeem.

[tedades]

Dat klinkt als goed nieuws. ASML heeft een monopolie op de EUV markt maar er is zeker nog concurrentie op de DUV markt. Met deze nieuwe machine breiden ze hopelijk weer veel in een mark-segment uit. De concurrentie tussen Canon, Nikon en ASML in deze DUV segmenten zal er hopelijk voor zorgen dat de kosten voor ons consumenten zal dalen en de tegelijkertijd de kwaliteit van het product verbeterd.

[i-chat]

met de hoeveelheid kapitaal die nodig is om dit soort machines te ontwikkelen en de drang naar kleiner zuiniger sneller nóg sneller NEE ECHT nog VÉÉÉÉL sneller!!!! denk ik niet dat de prijzen snel zullen gaan dalen.

pas op het moment dat de Iphone's 200+ pro max extreme samsung Universe ultra xl 25TB Fold's en de pixel ultra nextgen AI super XXL niet meer als warme broodjes over de toonbank vliegen en men gewone telefoons (zoals een iphone SE of een Galaxy FE gaat kopen (liefst ook nog bij een 3 jarig (en niet meer een 2jarig abo). pas dan zul je zien dat ook bedrijven als ASML kunnen gaan investeren in duurzamer, meer solide, goedkoper etc.

bovendien zou de introductie van 3jarige contracten wellicht kunnen zorgen.
A: dat meer mensen op krediet kunnen/mogen kopen (want lagere maadlasten), en men dus vaker een wat beter toestel kan kopen.
B: dat men zuiniger moet doen met een toestel (want je moet er een jaartje langer mee doen)
C: dat de afvalbergen dus kleiner worden (zie bovenstaande redenen).

en dan heb ik het alleen nog maar over mobieltjes, bedenk je eens in hoe het zou gaan als we alle consumenten electronica zo zouden gaan ontwerpen/bouwen/verkopen.

[Reactie gewijzigd door i-chat op 15 oktober 2025 18:34]

[kami124]

De voornaamste reden dat deze machine ontwikkeld is, is om de productiekosten ervan omlaag te krijgen….

[Netrunner]

En dan zo meer winst overhouden door verkoopprijs hetzelfde te houden. Aandeelhoudersfeestje.

[Gelomidor1]

Ik ben aandeelhouder, dus dit klinkt top!

Jij kan ook gewoon aandeelhouder worden en mee proviteren hoor.

[latka]

Waarom beperken tot 3 jaar. Doe gewoon 8 jaar dan zijn we in software land wellicht ook af van de steeds trager wordende software omdat de hardware het gat wel weer dicht loopt.