Brand in Duitse ASML-fabriek treft productie onderdelen voor euv-machines

De brand in een Duitse ASML-fabriek waar onderdelen voor lithografiemachines worden gemaakt, heeft mogelijk gevolgen voor de productie van euv-machines. ASML zegt dat de fabriek wafer clamps maakt voor euv-machines en de productie daarvan is nog niet hervat.

ASML schrijft dat het bedrijf momenteel bezig is om te kijken hoe de 'mogelijke impact' voor afnemers van euv-machines 'geminimaliseerd' kan worden. Daarbij doelt de fabrikant van chipmachines zowel op de productie van nieuwe euv-machines als het onderhoud ervan.

Of de brand zal zorgen voor vertraging van de levering van nieuwe euv-chipmachines, is nog niet duidelijk. ASML zegt nog bezig te zijn met herstellen van het getroffen productiegebied in de fabriek en de volledige impact van de schade moet nog beoordeeld worden.

Specifiek meldt ASML dat de fabriek wafer clamps maakt voor euv-machines en dat het gedeelte van de fabriek waar die geproduceerd worden nog stil ligt. Wafer clamps zijn de mechanische interfaces tussen de euv-machine en de wafers en ze moeten op de nanometer accurate precisie bieden, zonder de wafer verder te beïnvloeden. De fabrikant is in het getroffen deel van de fabriek nog bezig met het afronden van het herstelplan. Overige delen van de fabriek zijn weer operationeel of niet getroffen.

Het Nederlandse ASML is de enige fabrikant ter wereld die euv-lithografiemachines maakt voor chipproductie met extreem ultraviolet licht. Euv maakt kleine procedés mogelijk en dergelijke machines worden dan ook gebruikt door alle grote chipabrikanten, waaronder TSMC, Samsung en Intel.

In 2020 leverde ASML in totaal 35 euv-machines. Dergelijke machines kosten meer dan honderd miljoen euro per stuk. Volgens een eerdere planning had ASML de capaciteit om 55 euv-machines te leveren in 2022. Of die planning door de brand in gevaar komt, moet nog blijken.

ASML zal op 19 januari zijn kwartaalcijfers bekendmaken en verwacht dan ook meer informatie over het incident en de mogelijke gevolgen daarvan te kunnen geven. De brand vond eerder deze week plaats, in de nacht van zondag op maandag.

Volgens ASML heeft de brand geen invloed heeft op de productie van oudere duv-lithografiemachines. De fabriek maakt wel onderdelen die daarvoor gebruikt worden en er is een korte verstoring geweest, maar de productie is alweer hervat en ASML verwacht dat dit geen verdere gevolgen zal hebben.

Twinscan NXE:3600D, de nieuwste euv-lithografiemachine van ASML

Reacties (80)

[slowdive]

Hoe leg je iets tot op de nanameter nauwkeurig neer? Kan iemand daar iets over uitleggen?

[beerse]

Als je het logo van ASML bekijkt: Dat kan je met een digitale kamera heel goed registreren op de perfecte ligging. De eerste keer maak je de referentie foto, de volgende keren moet het plaatje er weer net zo bij liggen.
Met een beetje wiskunde kan je van de rij-en en kolomen aan pixels aflezen hoeveel en welke kant het opgeschoven moet worden.
Ja, het zijn bewust digitale lijnen en de pixels van de camera moeten een horizontaal/vertikaal raster hebben.

[update] Met asml-logo bedoelde ik het ' oude ' logo met de 4 blokjes met schuine streepjes.

[Reactie gewijzigd door beerse op 24 juli 2024 04:40]

[MrMarcie]

ASML

[slowdive]

Natuurlijk, maar ik bedoel concreet. Meet je met lasers een afstand en is er dan een mechanische methode om de positie te veranderen? Hoe krijg kun je zo een nauwkeurigheid met een mechanisch apparaat voor elkaar krijgen?

[wild_dog]

Meestal met meerdere stappen. Je hebt een frame dat je met een normale motor/actuator op pak hem beet 1-0.1 mm precies kan plaatsen. In dat frame zit dan een piezoelectrische actuator die dan een 2e frame/klem met de chip/wafer kan bewegen op een precisie van 1-0.1 nm, maar dat slechts over een afstand van millimeters bereik heeft. Het gaat er dan voornamelijk om dat hij trillingsvrij en absoluut secuur op de plaats ligt. Vervolgens gebruik je dan markers/identificatie punten op de wafer om de daadwerkelijke uitlijning te controleren, met behulp van camera's/(interferentie)microscopen. Does is je piezoelectrische element met die feedback aan te sturen en gecontroleerd de uitlijning opnieuw vinden, in plaats van elke keer op exact de zelfde plaats de wafers te plaatsen.

[Whiskeyjack]

heel precies meten en heel veel kalibreren

[spokje]

Hoe groot is de schaal van dat plaatje? Het lijkt een beetje een keuken achtige constructie, of is het veel kleiner?

[dragonhaertt]

De nieuwe EUV machines in ontwikkeling zijn te groot om vervoerd te worden in één vliegtuig. Ze gebruiken 3 boeing's om ze naar Amerika te vervoeren.

Hier staat bijvoorbeeld een mooi plaatje van de EXE:5000 (met touchscreens op ooghoogte)

[Reactie gewijzigd door dragonhaertt op 24 juli 2024 04:40]

[AlphaBlack_NL]

Dat is de NXE.

EXE is nog veel groter

[dragonhaertt]

Dat is inderdaad het plaatje wat ik zocht. Ik ga hem even schaamteloos stelen
NXE past nog in de cleanroom in veldhoven. De EXE zal op locatie in elkaar gezet moeten worden vanwege het grotere formaat.

(dit is trouwens ook maar 1/3 van het apparaat. De Power Supply Units staan niet in de cleanroom maar onder de grond, en zijn nog twee keer zo groot als wat er wel in cleanroom staat)

[Reactie gewijzigd door dragonhaertt op 24 juli 2024 04:40]

[OxWax]

kost ook iets meer dan de gemiddelde keuken

Each EUV machine has over 100,000 parts and costs $150 million

[wildhagen]

Volgens deze reactie is het apparaat 9 meter in lengte en 4.5 meter in hoogte.

[amigob2]

En dat is de scanner, de subfab is vele malen groter en daar staan nog een hele hoop elektronica en lasers , die direct met de scanner te maken hebben.

[ricardo89]

inderdaad, en achter de scanner zit ook nog de source/co2

[bouwfraude]

filmpje:
https://www.youtube.com/watch?v=jJIO7aRXUCg

[Immutable]

Als je toch die gehele supply chain in kaart zou brengen om een chip te maken. Dat is echt gigantische ketting als ik dat filmpje zo hoor. 500 tot 600 leveranciers in het B2B netwerk.

[BrtH]

Ongeveer de grootte van een container, of inderdaad een keuken dus.

[Blokmeister]

Het is ongeveer een zeecontainer. Volgens mij ietsje hoger en breder, maar zo goed ken ik zeecontainers niet.

[Keypunchie]

Ik moet denken aan dat XKCD plaatje dat recent veel langskwam in de context van de 'log4shell' kwetsbaarheid.

https://xkcd.com/2347/

Met flink wat complexe fysieke supply chains begint hetzelfde gevoel je te bekruipen. Ergens in de hele keten zit een kwetsbare schakel. Het idee van veel verbindingen is juist dat het zou versterken, maar het lijkt er juist dat 1 los draadje op het hele netwerk kan ontrafelen...

Een brandje in Duitsland en de hele werelwijde high-end processor keten is mogelijk in het geding.

[Reactie gewijzigd door Keypunchie op 24 juli 2024 04:40]

[JackDaniel]

De xkcd cartoon is dan ook niet helemaal toepasselijk, denk ik. Deze onderdelen zijn absoluut essentieel, dat wel, maar alles dat er van afhankelijk is sort niet meteen in op het moment dat de productie stopt. En het feit dat het een relatief kleine schakel is in een lange keten betekent dat je die schakel ook relatief makkelijk kunt vervangen.

[mark-k]

Dat vervangen kun je je toch flink op verkijken, vergeet niet hoe geavanceerd deze machines zijn en wat voor nauwkeurigheid erbij komt kijken om onderdelen ervoor te produceren. Er zijn genoeg onderdelen waarbij het geen keuze is om maar 1 supplier te hebben, omdat er gewoon maar 1 bedrijf is die hier de benodigde skills en tools voor heeft. Mocht Zeiss ooit problemen krijgen dan is er niemand anders die de lenzen of spiegels die nodig zijn kan maken.

[satya]

Dat is al het geval door een brand in een chipfabriek in het oosten. Steeds meer dominostenen in de keten krijgen een tikje uitgedeeld. Dat just in time delivery om de kosten te verlagen betaald zich prima uit 🤭

[Dooxed]

Naast High Tech machines is ASML ook heel goed/groot op het gebied van Supply Chain Engineering, waarbij je dus de risico's die je benoemt probeert te beheersen.

[Mushroomician]

Ben wel nieuwschierig naar de oorzaak. Bij dit soort concurrentieposities en investeringen is het risico op (eventueel zelf) sabotage doorgaans hoog.

Een 'glitch' is gewoon erg onwaarschijnlijk. (Money Monster, 2016)

[Reactie gewijzigd door Mushroomician op 24 juli 2024 04:40]

[rob12424]

Sabotage zou dan door concurrentie moeten komen en volgens mijn je hebben ze die niet....

[mark-k]

Op de DUV machines is er natuurlijk wel concurrentie, maar die zijn dus volgens dit artikel niet getroffen. De EUV machines zijn nog geen andere fabrikanten in staat gebleken om ook te fabriceren of een alternatief voor te bieden.

[Bramtweakers]

Maar genoeg landen die hard hun best doen in te halen. Kan natuurlijk ook een gevalletje 'geef ons info of verwacht nog een brandje' zijn......

[Groningerkoek]

Al zou je een andere partij de volledige tekeningen van de machine geven, tegen de tijd dat het ze gelukt is er 1 te bouwen (als het ze al zou lukken) is ASML alweer 1 of 2 generaties verder.

[Sissors]

Het is nogal naiief om te denken dat een ander niet ASML kan bijhalen/inhalen. Dat gezegd zie ik geen enkele reden om ervan uit te gaan dat dit iets anders is als gewoon een brandje. Die gebeuren nou eenmaal weleens, ook al zullen ze vast heel goed proberen dat te voorkomen.

[Groningerkoek]

Het is ook naïef om te denken dat men dat in een paar jaar kan bewerkstelligen. ASML wil in 2025 met de Next-Gen machines komen. Gaat niemand lukken om in die tussenliggende tijd zelfs maar een huidige machine na te bouwen. Wat ASML doet is 1 ding, maar er zit een hele industrie omheen zonder wie ASML zijn ding niet zou kunnen doen.

Daarnaast zijn er hooguit een paar partijen die dit ooit zouden kunnen bewerkstelligen en het is maar de vraag of die de investeringen willen maken in een poging om de leiding over te nemen. Naast de top machines is er een nog grotere markt voor de iets mindere machines welke het overgrote deel van de chips in de wereld maken, best kans dat anderen het prima vinden om wat achter ASML aan te hobbelen.

[Reactie gewijzigd door Groningerkoek op 24 juli 2024 04:40]

[obimk1]

"Men" heeft jaren geleden een ASML DUV machine proberen na te bouwen (inclusief de verf)
"Men" kreeg die machine niet aan het werk, oa door gebrek aan correcte software.

De "concurrent" uit China van ASML (lopen nog een beetje achter)

https://www.youtube.com/watch?v=DtOyW-JpJjM

Ben ook benieuwd of dit effect gaat hebben op"chip tekorten"

[Yalopa]

Ik vind het wel zeer hard insinueren / speculeren....

[mark-k]

In China zijn al machines uit elkaar getrokken om ze te reverse-engineeren en dat lukt ze nog steeds niet, dus het is niet alleen een kwestie van info.

[Bramtweakers]

Betekent dat niet juist dat je niet alle informatie kan halen uit reverse engineeren? Maar dat je nog extra info nodig hebt?

[mark-k]

Het betekent vooral ook dat er een hoop kennis zit in bepaalde zaken waarom iets is, dus als je weet hoe je hem moet bouwen moet je ook nog weten hoe je t precies in elkaar moet zetten, en wat er verandert als je iets aanpast (want ze zullen niet dezelfde leveranciers qua materiaal hebben, de meest basale dingen kunnen gigantische impact op de performance hebben), en je moet ook maar zien dat je de onderdelen daadwerkelijk zo strak in de specificatie geproduceert krijgt.

Bij iets simpels als een fiets is het een kwestie van dezelfde onderdelen en maten maken en dan werkt het wel, hier kun je alles bijna exact namaken en toch nergens op uitkomen.

[Frame164]

Met reverse engineeren zie je alleen hoe anderen het gebouwd hebben. En er zit nog een hele grote stap tussen zien wat anderen hebben gebouwd en het zelf kunnen bouwen. Zeker als er ook nog eens een hele grote softwarecomponent in zit.

Ik kan prima een auto uit elkaar halen en snappen wat ze hebben gedaan. Maar daarmee kan ik nog niet zomaar een auto bouwen.

[z1rconium]

De gehele chip industrie financiert productie van deze apparaten, want niemand anders kan dit. Verlies voor iedereen als dit stil blijft staan.

[Aerophobia1]

Zet je alu hoedje modus maar af.
De meeste van dit soort ongelukken hebben heel stomme menselijke nalatigheden als oorzaak.

[tweaker2010]

Ah, dus toch. Er werd eerder nog gesuggereerd dat het allemaal wel meeviel. Kan dus flinke gevolgen hebben dit 'brandje'. Impact is al snel groot als jij zo'n beetje de enige fabrikant bent die dit soort onderdelen levert.

[Dooxed]

In het vorige bericht stond dat ASML deze fabriek nog maar relatief kort in handen heeft. Ik verwacht dus eigenlijk logischerwijs dat daardoor ASML nog weinig afhankelijk is van de productie van deze locatie, en dus dat de impact beperkt is.

[Brinkiewestland]

Het was hiervoor al een belangrijke leverancier voor asml. In het nrc stond recent dat de eigenaren de gewenste investeringen niet meer wilde / konden opbrengen en dat asml ze daarom heeft overgenomen

[THEVGE]

Eh nee, dit is namelijk de enige leverancier van wafer clamps voor EUV voor ASML.

[Pe Nis]

Berliner Glas was dit. en die maakt cruciale onderdelen. En partijen die dit doen worden vaker door ASML overgenomen.

[Groningerkoek]

Dit is nooit gesuggereerd, ASML heeft vanaf het begin al aangegeven dat ze de situatie aan het bekijken zijn en dat een situatierapport minimaal dagen zou kosten.

[tweaker2010]

Dat is wel gesuggereerd door diverse mensen hier op Tweakers die riepen dat het maar een klein brandje was. ASML had inderdaad aangegeven meer tijd nodig te hebben voor een rapport.

[Groningerkoek]

Volgende keer voor de duidelijkheid misschien even aangeven wie de suggestie deed, op mij kwam het over op dat ASML dit had gesuggereerd volgens jou,

[tweaker2010]

Ik heb de naam ASML helemaal niet genoemd, dat heb je zelf ingevuld.
Moet je de reacties onder het vorige artikel maar eens lezen, dan snap je wel wat ik bedoel.

[Groningerkoek]

Ik heb de naam ASML helemaal niet genoemd, dat heb je zelf ingevuld.
Dat zeg ik...

Moet je de reacties onder het vorige artikel maar eens lezen, dan snap je wel wat ik bedoel.
Kan toch niet zo zijn dat ik reacties bij een ander bericht moet gaan lezen om jouw bericht goed op te vatten

[tweaker2010]

Heb een paar reacties voor je opgezocht. Zal ze er de volgende keer bijzetten.

wjwithagen in 'nieuws: ASML meldt brand in Duitse fabriek, schade is nog onbe...
caspervc in 'nieuws: ASML meldt brand in Duitse fabriek, schade is nog onbekend'

[Groningerkoek]

Oh ik geloof je dat die berichten er zijn, mijn opmerking was meer dat het handig kan zijn om erbij te zetten waar je naar verwijst, misverstanden op het internet zijn zeer snel gemaakt.

[KeesAlderlieste]

En 'euv' betekend...?

[grobbel]

Extreme Ultra Violet, 13.5 nm oid. Ver buiten het zichtbaar spectrum dus. Filmpje van Intel: https://www.youtube.com/watch?v=Jv40Viz-KTc

[Reactie gewijzigd door grobbel op 24 juli 2024 04:40]

[jctjepkema]

Extreem UV, nog een lagere golflengte licht in het UV spectrum
Zie figuur 2:
https://www.edmundoptics....treme-ultraviolet-optics/

Edit: verduidelijking met afbeelding

[Reactie gewijzigd door jctjepkema op 24 juli 2024 04:40]

[g4wx3]

Een kortere, dus hogere golflengte, infrarood is een langere en dus een lagere golflengte, fm radio is een immens veel lagere en dus langere golflengte, met een frequentie tussen 88 en 108MHz, dat is je welbekend, hetzelfde geld dus voor de golflengte van licht.

[Alex3]

Je maakt er wel een potje van. Euv heeft een kortere golflengte, dus een hogere frequentie, infrarood heeft een langere golflengte dus een lagere frequentie, FM-radio gebruikt een veel lagere frequentie en dus een langere golflengte.

[angelina]

Je kunt moeilijk in ieder artikel alles gaan uitleggen wat een lezer mogelijk niet weet. ASML, lithografie, wafer, euv, duv, yield. Ze gaan er een beetje vanuit dat je eea wel weet en anders zelf opzoekt/googlet.
De volledige naam van euv staat overigens wel in het artikel, dus auteur was niet te lui

[torp]

Dat kan natuurlijk geheel automatisch. Ik weet even niet meer waar, maar er zijn wel websites die dat doen. Maar al die mouse-overs lezen niet echt prettig. Dus dan zou je er een instelling van kunnen maken (wel/niet). Of het de moeite waard is, is de vraag.

[Reactie gewijzigd door torp op 24 juli 2024 04:40]

[jctjepkema]

Kan ik me voorstellen, komt overigens ook niet in ieder licht spectrum afbeelding voor. Niet iets wat je ff snel vind;p

[OxWax]

Vroeger stond onder afkortingen en termen 3 puntjes waar een mouse over? aan gekoppeld was met een definitie.

[ewoutw]

Dat is gewoon een standaard html tag. Maar de auteur moet het wel toevoegen.

https://www.w3schools.com/TAGS/tag_abbr.asp

[e.dewaal]

Helaas moet die tag dood of gefixt worden, want de ondersteuning voor mobiel gebruik is een drama. 'mouseover events' zijn nogal lastig zonder muis...

[Unsocial Pixel]

Neen, EUV valt onder het stukje, we verwachten simpelweg dat je deze info weet als het over asml en dergelijke (chipproductie) gaat. Dit is namelijks een beetje basis info die je op pagina 1 tegenkomt als je je ook maar 1% verdiept.

*Niet bedoeld om te bashen, snap dat zo over kan komen echter is dit echt echt echt basis info omtrent dit onderwerp.
Vind netjes dat men wel netjes je vraag heeft beantwoord. Hulde voor deze tweakers

[OxWax]

Toch geen kantinebrandje dus

[ATIradeon8500]

Nou, op de foto lijkt het toch echt in de keuken te zijn geweest

[Blokmeister]

Chips bakken doe je toch in de keuken?

[OxWax]

Zou dat snel gaan zo'n Miele EUV?

[mark-k]

Ik denk dat met het vermogen dat deze machine verstookt je kroketjes al verbrand zijn voordat je doorhebt dat je m hebt aangezet

[beerse]

Maar dan wel heel precies alleen op specifieke delen van de korst.

[evilution]

Gelukkig hebben we geen tekorten aan chips en kunnen we eventuele problemen wel op vangen /s

[nutty]

O een foto van de keuken er zelfs bij.
Tja waar plakjes aardappel tot chips worden gefrituurd daar kun je zo af en toe een brandje krijgen..
Niks bijzonders lijkt mij...

[Juice2000]

't Is wat, met die supply chain.