Tijdens een bijeenkomst in Japan heeft TSMC zijn roadmap voor chipproductie getoond. De Taiwanese producent begint volgend jaar met de testproductie van chips op 20nm. Twee jaar later moet een 14nm-procedé volgen.
In het afgelopen kwartaal rondde de Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, beter bekend als TSMC, de ontwikkeling van zijn 28nm-procedé voor mobiele chips af en begon het met de testproductie van deze processors volgens zijn CLN28HPM-proces. Volgend jaar, in het derde kwartaal van 2012, verwacht het bedrijf aan te vangen met zijn high performance-procedé voor 20nm-chips, ofwel het CLN20G-proces. Het bedrijf zal beginnen met testproductie, alvorens het procedé voor massaproductie in te zetten.
De low-powervariant van het 20nm-procedé moet in januari 2013 volgen. Om het 20nm-proces mogelijk te maken, waarbij de gate-dichtheid tweemaal zo hoog is als bij het 28nm-proces, maakt TSMC gebruik van een aantal innovatieve technieken. Voor de lithografie zet het bedrijf een combinatie van ArF-immersielithografie en double patterning in. De elektronenmobiliteit in de transistors wordt met strained silicon vergroot en een tweedegeneratie-hkmg vervangt het gate-diëlektrum en de gates. In 2014 of begin 2015 moeten vervolgens de eerste 14nm-procedés worden getest. Daarbij zouden finfets, of transistors met verschillende gates, geïntroduceerd worden en zou TSMC wellicht ArF-immersielithografie blijven gebruiken. De alternatieve patterningmethodes met euv en elektronenbundels zouden vooralsnog te weinig wafers per uur opleveren.
Voor de aflevering van chips, ofwel de 'packaging', richt TSMC zich voor 2012 op het combineren van identieke chips op een ondergrond. Dat is een techniek die als 'homogene 2D-verpakking' bekendstaat. Tegen 2013 of 2014 moeten verschillende chips met elkaar in een 2d-structuur, of heterogene 2D-techniek, worden gecombineerd. TSMC zou dan bijvoorbeeld complete soc's kunnen leveren. Niet eerder dan in 2014 zou TSMC driedimensionale chipverpakkingen leveren, met verschillende chips op elkaar gestapeld.
/i/1322647012.jpeg?f=imagenormal)