Britse onderzoekers van de universiteit van Cambridge hebben een nieuwe vorm van de halfgeleider hafniumoxide ontwikkeld. De verbeterde vorm van het veelgebruikte transistormateriaal zou kleinere transistors mogelijk maken.
De onderzoeksgroep van Andrew Flewitt van het Department of Engineering van de universiteit van Cambridge ontwikkelde een nieuwe vorm van hafniumoxide. Dat materiaal wordt normaliter in kristallijne of amorfe toestand gebruikt, maar Flewitts team maakte een nieuw type hafniumoxide door het te sputteren. De dunne laagjes die zo gecreëerd werden, bleken een hogere diëlektrische constante te hebben dan de kristallijne of amorfe vormen.
De diëlektrische constante van hafniumoxide is juist waar het materiaal om geroemd wordt; de hoge diëlektrische constante van hafniumoxide maakt het materiaal geschikt als tussenlaag in transistorgates, waar het lekstromen beperkt. Het gesputterde hafniumdioxde blijkt een twintig tot vijfentwintig procent hogere 'k' te hebben dan kristallijn of amorf hafniumoxide. Dankzij de hogere k-waarde kan het isolatielaagje dunner worden en kunnen daarmee ook de overige transistorcomponenten kleiner worden gemaakt.
De verbeterde hafniumoxide-laagjes werden geproduceerd met een aangepaste sputter-methode, die 'high target utilization sputtering' wordt genoemd. Dat proces, waarbij hafniumoxidedeeljes van een elektrode worden losgemaakt door deze met hoogenergetische ionen te bestoken, levert een dun laagje amorf kubisch hafniumoxide op dat een diëlektrische constante van ongeveer 30 heeft, terwijl die bij de normale monokliene amorfe toestand 20 is.
Het kubisch amorfe hafniumoxide zou onder kamertemperatuur geproduceerd kunnen worden, wat een toepassing in onder meer plastic elektronica mogelijk maakt. Bovendien zou het niet alleen voor transistors, maar ook voor optische toepassingen als zonnecellen gebruikt kunnen worden. Het materiaal zou op korte termijn in de halfgeleiderindustrie gebruikt kunnen worden, mits partners worden gevonden.
