Door Stijn de Wit en Daan van Monsjou

ASML's allernieuwste chipmachine gaat naar België, en wij mochten mee!

10-04-2026 • 19:00

53

De machines van het Nederlandse ASML zijn onmisbaar om de geavanceerdste chips ter wereld te maken. Er komt nu een gloednieuwe generatie aan: high-NA-euv. Wij mochten exclusief meekijken hoe een 25 ton wegende module van deze bizar grote machine naar de cleanroom van het Belgische imec werd vervoerd en naar binnen werd getakeld. In deze video leggen we precies uit hoe deze technologie werkt: van het verdampen van tindruppels met lasers om licht op te wekken, tot het gebruik van extreme spiegels van Zeiss om de allerkleinste transistors te printen.

00:00 - Zo werkt de allernieuwste chipmachine van ASML
00:46 - Hoe een lithografiemachine werkt
01:32 - Wat maakt ASML uniek
02:38 - De uitdagingen van euv-licht
04:07 - Optiek en spiegels van Zeiss
05:19 - Het proces versnellen
06:06 - Nieuwe high-NA-euv voor imec
06:52 - Transport naar imec in België
08:38 - Aankomst en 1,4nm-chips
09:34 - Waarom high-NA-euv beter is
10:33 - Uitdagingen met grote chips
11:13 - Anamorfische optiek
12:23 - Openingsceremonie bij imec
13:14 - Conclusie

Reacties (53)

Sorteer op:

Weergave:

Leuke video. Ik heb veel filmpjes bekeken van dit soort dingen maar hier zijn toch enkele unieke beelden, dat heeft Tweakers mooi gedaan.

Om toch wat extra context aan deze video te leveren: In de video lijkt te worden geïmpliceerd dat chips op High-NA aan elkaar geplakt moeten worden na productie, dat is niet het geval. In de video laten ze zien dat een chip uit meerdere lagen bestaat en niet alle lagen maken ze met High-NA. Je kunt dus gewoon je chip maken op het oude formaat maar de laag gemaakt door High-NA heeft daar dan dus 2 belichting stappen voor nodig in plaats van 1. De verwarring zit mogelijk in die 2 belichtingen want die moeten netjes op elkaar aansluiten; dat zou je "aan elkaar plakken" kunnen noemen. Ik heb volgens mij nog nooit 'dies' aan elkaar geplakt zien worden, wie weet is dat iets nieuws waarvan ik dan niet van op de hoogte ben.

Op het einde van de video vermeld de presentator dat het erg warm is in de cleanroom en dat hij geen baardmasker nodig heeft. De temperatuur in de cleanroom is stabiel en vergelijkbaar met een normale huiskamer in Nederland. Het grote verschil is dat de presentator een cleanroom pak aan heeft over zijn reguliere kleding en dan krijg je het inderdaad erg warm. De mondkap is niet verplicht bij imec, dat is inderdaad anders dan ik bij grote bedrijven heb gezien. Iets dat de presentator waarschijnlijk al weet als hij ook bij ASML in de cleanroom is geweest; die doen dat zover ik weet net als die andere bedrijven. Dat is maar goed ook want zo'n masker zou niet handig zijn geweest met de microfoon (dat is wat ik zag in andere videos) en je krijgt het dan extra snel warm.
Klopt, het werkt met 2 "halve" vierkante 150mm x 150mm maskers, die 2 rechthoeken projecteren (anamorfisch).

Die 2 rechthoeken worden op 0,6nm (!) nauwkeurig ten opzichte van elkaar geprint, met een klein beetje overlap. En dan heb je je vierkant weer.

Dat noemen ze "stitching". Waar de genaaide naad zit, zijn andere ontwerpregels, omdat daar dus 2 patronen 0,6nm versprongen over elkaar zitten. Dus daar kan je 'minder nauwkeurig' printen.

Net als bij een electrische typemachine vroeger, als je een letter type, terugging en hem nog een keer eroverheen typte was hij net wat onduidelijker, dus het minimale lettertype voor leesbaarheid en de letter ernaast niet te raken (kortsluiting) moet dan net iets groter zijn.

Dus Intel heeft al gevraagd om 2x zo grote maskers ;)

https://substackcdn.com/image/fetch/$s_!8bQj!,f_auto,q_auto:good,fl_progressive:steep/https%3A%2F%2Fsubstack-post-media.s3.amazonaws.com%2Fpublic%2Fimages%2Fafa92cc5-4670-490b-bf53-d7ab67d6cbab_1024x567.png
Volgens mij ging het er om dat het chip-oppervlak kleiner wordt met High-NA en dat als je dus een even grote chip wil, je ze moet samenvoegen.

Dat gebeurt nu ook al - om andere redenen - met bijvoorbeeld het 3D V-change op de AMD CPU's met de Hybrid bond techniek.

[Reactie gewijzigd door djwice op 11 april 2026 11:18]

Ze worden alleen aan elkaar geplakt als de chips groter lijken te zijn..

Zal wel eens willen weten wat die belgen daarvoor betaald hebben.
ik denk vrij weinig. Zou zelfs kunnen zijn dat ze volledig door het collectief samsung, TSMC, intel etc betaald worden om die machine draaiende te houden en experimenten uit te voeren. ASML zal het waarschijnlijk zelf ook als nodig achten om hem bij imec te hebben omdat bijvoorbeeld TSMC nog steeds niet overtuigd is van de economische toegevoegde waarde van high na. Zou jammer zijn als er over een paar jaar een productiecapaciteit overschot is bij ASML dus ze moeten nog even aan de bak op dat vlak.
Neen hoor da's gewoon regulier onderzoek...TSMC doet daarin gewoon mee.
Is vermoed ik eerder een kwestie van kunnen leveren
Waar reageer je nou precies op met je nee?
Ooh jawel hoor. Het is ook niet echt aan elkaar plakken, Maar het design is zo veranderd. dat alle contactgaten aan een zijde zitten. en deze worden als de dies op ene leadframe zijn vastgezet, gewoon met een bonderingsmachine op elkaar aangesloten. Is oudere techniek, en relatief gewoon bij heel exclusief materiaal. zoals Co-en processoren die soms zelf nog een encryptie die erin hebben zitten.
Dat hebben we in 2000 in Nijmegen al gedaan, voordat ook daar de productie van dit soort zaken weg werden bezuinigd.


Zie het maar als 2 printplaten met elkaar verbinden dmv wat draad en zoldeer techniek.
Fout gevoelig ja. maar het werkte destijds al. Dus het zal me niets verbazen als ze dit opnieuw hebben uitgezocht. Zo moeijlijk hoeftd at niet te zijn
Ik ben bekend met bonding, maar in de animatie van de video lijken ze twee 'dies' te fuseren aan hun zijkanten. Iets wat weer anders lijkt dan het besproken 'stitching' verhaal. Je kunt twee dies verbinden via een interposer maar een rechtstreekse verbinding zoals in die animatie heb ik nog nooit gezien.
Moet er niet zo'n ding gewoon in Nederland staan??
Ze hebben deze in Nederland staan: https://www.asml.com/en/news/press-releases/2024/asml-imec-opening-high-na-euv-lithography-lab
Imec, a world-leading research and innovation hub in nanoelectronics and digital technologies, and ASML Holding N.V. (ASML), a leading lithography supplier to the semiconductor industry, today announced the opening of the High NA EUV Lithography Lab in Veldhoven, the Netherlands, a lab jointly run by ASML and imec. After a build and integration period of years, the Lab is ready to provide leading-edge logic and memory chip makers, as well as advanced materials and equipment suppliers access to the first prototype High NA EUV scanner (TWINSCAN EXE:5000) and surrounding processing and metrology tools.
Ooh, OK! Gek dat ik dat niet weet en ook gek dat er kennelijk alleen een engelstalig artikeltje is op de website van ASML zelf. Als ik google op TWINSCAN EXE:5000 zie ik het ook nergens staan op de eerste 3 pagina's. Ook gek dat Tweakers er voor naar Belgie is gegaan als er al een in Nederland staat.

[Reactie gewijzigd door BasHouse op 11 april 2026 20:10]

Imec is dan ook het toonangevende instituut voor chiptechnologie, heel de wereld komt in België voor Imec voor de kennis en onderzoek. Nederland heeft de machines (die ook een enorme kennisbasis nodig hebben), dus er is een goeie wisselwerking.
ASML, gevestigd in Nederland, bouwt de machines die foundries als TSMC in Taiwan, Samsung in Zuid-Korea en Intel in de VS gebruiken om chips te maken op silicium wafers.

Die chips zelf worden ontworpen door allerlei partijen zoals AMD, Intel, nVidia, Apple, Samsung, etc., die over de hele wereld zitten. Dan heb ik het voornamelijk over het neusje van de zalm als het op chips aankomt. 'Simpelere' procedés worden ook binnen Europa op vele plaatsen toegepast, met 'simpelere' machines van o.a. ASML. Dat soort chips gaan bijvoorbeeld je auto in.

Zoals je ziet is het een intercontinentaal ecosysteem. Als we het hebben over gebruikers van dit soort machines in Nederland, dan zijn dat er niet belachelijk veel. Het feit dat ASML in Nederland is gevestigd is al machtig indrukwekkend.
Dit is toch wel de natte droom van elke IT'er en tech-journalist om eens mee te mogen maken! :+
Niet alleen IT'ers, ook technische en optische natuurkundigen staan hier van te kwijlen.
Als je er nog iets dieper in wilt duiken hoe het werkt:

YouTube: The World's Most Important Machine

Echt toffe techniek, en dat gemaakt in Nederland!
jup. en dit keer zonder natte voeten te krijgen. haha :*)
Die video van Vertasium paar week geleden gezien, echt knap staaltje engineering.

En dat deze machines dus zoveel jaar in het voren voor chips voor in de toekomst moet gaan maken. In principe lopen we met de nieuwste chips die nu gemaakt worden al weer jaren achter op de ontwikkeling.
Dit is gewoon magie! Hoe zo'n machine nog verbeterd kan worden, en die uitleg over de austronaut op de maan die een euro munt met een laser weet te raken is gewoon briljant.
We maakte vroeger bij eerdere types al eens een vergelijking mbt de snelheid, nauwkeurigheid en versnellingen tussen reticle- en waferstage met 2 747’s die gelijktijdig opstijgen en Amsterdam - New York vliegen met een snelheid van 1000km/h met een onderlinge afstand van 1 meter.

Dus ja de lichtbron is een knap staaltje techniek maar er zijn meerdere subsystemen die minstens zo indrukwekkend zijn maar minder tot de verveelding spreken.
Wat een leuke en interessante video. Werking van zo'n machine gaat echt boven mijn pet maar je hebt het begrijpelijk uitgelegd waardoor ik er nu een beetje meer van begrijp. Dank je wel :)
Dit is wel mega vet om te zien zeg! Dankjewel voor het goede verslag Stijn en Daan! Top werk! mogen jullie vaker doen ;)
Echt een vet filmpje met leuke voorbeelden, die wat meer zeggen (voor de leek) dan de specs alleen.

Snap overigens nog steeds niet hoe die machine werkt :+
Wat voor muziekje is eronder gemixt? ASML, is onze nationale trots, jah, klopt, ergens wel jammer dat bijna al de mooie dure banen naar importwerknemers gaan.
ASML is een grote sponsor van de TU Eindhoven en dat is dan weer de hofleverancier van het technisch personeel. Een heel groot deel daarvan is gewoon Nederlands. ASML haalt wel veel mensen uit het buitenland, maar die vormen echt geen meerderheid.
Al jarenlang zijn er meer Chinezen dan Nederlanders als new hires. Maar kwa absolute aantal hebben de meeste de Nederlandse nationaliteit
Ik weet dat er heel wat Chinezen naar ASML komen, maar uit mijn informatie komen Chinezen (en Indiërs) meestal voor een periode van 3 tot 6 maanden en worden Nederlanders na een jaar in vaste dienst genomen. In nieuwkomers tellen die Chinezen dat wel hard door, maar op het totale personeel bestand is het maar een klein deel. ASML haalt zijn personeel overigens uit heel de wereld. maar de UT Eindhoven is wel de grootste leverancier van het technisch personeel wat de machines ontwikkeld en bouwt.
Je laat het klinken alsof zij de voorkeur geven aan buitenlandse werknemers. Dat lijkt mij onzin. Misschien is het probleem (als er al een probleem is) dat er niet genoeg Nederlanders zijn met een mooi CV die ze kunnen of willen aannemen. Misschien leiden we ze wel op, maar gaan ze in het buitenland werken oid. Er is misschien ook niet mega veel werk in Nederland in deze branche, en in het buitenland werken staat ook weer goed op je CV.

Het is niet zo zwart/wit als je opmerking klinkt.
Als er voldoende Nederlanders waren die dit konden doen zouden ze niet eens een werkvergunning krijgen voor bijvoorbeeld alle Aziaten die daar komen werken, vooralsnog is het heel simpel. Geen importwerknemers geen ASML.
Nou nou, da's wel heel kort door de bocht
EN jij weet het dan wel allemaal ? Solliciteer dan...
Ik werk er al dik 13 jaar, en zie dat dat allemaal niet zo is.
Weinig chinese collega's en zij die datw el zijn hebben talenten die anderen missen.
Jij bent goed in andere dingen.
Ongeveer 20% van de huidige werknemers in Nederland heeft geen Nederlandse nationaliteit, ongeveer de helft van alle nieuw ingevulde posities gaat naar buitenlanders.

Cijfers die jouw werkgever zelf communiceert. Diezelfde werkgever die aangeeft niet voldoende personeel in Nederland te kunnen vinden.

En dit "EN jij weet het dan wel allemaal ? Solliciteer dan..."

Is gewoon een dome opmerking die mij doet betwijfelen of je mijn post wel begrijpend hebt gelezen, of dat je halverwege al zo getrieerd was dat je er niets meer van begreep.
Hoe kom je daarbij ? Ik werk bij asml inVeldhoven en daar hebben we veel Nederlandse collega's
Ja sommigen die niet van hier komen, willen en kunnen met hun expertise aanvullend werk doen.
of sommigen onder hen, zijn gewoon goed geschoold en doen fantatsische ontdekkingen.
Veel samenwerkingsverbanden tussen allerlei disciplines. En goede oa. buitenlandse collega's
Meer niet

Hoe dan ook het is er dankzij de samenwerking van enorm veel disciplines.
Laat maar iemand zien met expertises zoals fysica, plasmafysica, Natuurkunde, Mechatronica, It... Hoogvacuum techniek, expertise in waterstof, tribologie etc etc.
Die ASML machinne is een culmunatie van al dit soort kennis, wordt goed uitgewerkt.
Waarom in Belgie en niet in Nederland?
Omdat Leuven in België ligt en niet in Nederland.
Nederland had er al een en België nog niet.
Maakt niet uit, Veldhoven en Leuven is allebei Brabant ;)
Er bestaat een samenwerking tussen Imec en ASML, dus is het logisch als daar ook een ASML machine naartoe gaat. Imec zal dat ding flink aan de tand voelen om de maximale prestaties uit de machine te halen.

Om te kunnen reageren moet je ingelogd zijn