Je broekzak vol mems

Het mechanische broertje van de chip belicht

Mems

Je smartphone bevat een hoop onderdelen die voor een belangrijk deel bepalen hoe blij jij met je telefoon bent. De een vindt de soc, of kort door de bocht 'de processor', het belangrijkst, terwijl voor een ander het juist de accu is of het formaat van het scherm. Als je een selfie met je smartphone maakt, kijk je naar een onderdeel waar we in deze achtergrond op inzoomen. De cameramodule is namelijk een van de vele componenten die van mems gebruikmaken.

Ook je accelerometer, gyroscopen en zelfs je microfoon zijn allemaal mems-devices. Dat zijn onderdelen die elektronica combineren met mechanica: de afkorting staat voor micro-elektromechanische systemen. Ze zijn dus een combinatie van elektronische en mechanische componenten, maar dan vervaardigd op een substraat van (meestal) silicium. De mechanische onderdelen, zoals kleine actuators, membranen en sensoren, zijn met dezelfde lithografische technieken gemaakt als waarmee chips worden gefabriceerd. Daarmee zijn mems een bijzondere groep onderdelen waar we op inzoomen in dit achtergrondverhaal.

Natuurlijk is je smartphone niet de enige plek waar je mems tegenkomt. Bijna iedereen die wel eens een printer in huis heeft gehad, heeft een mems-device in huis. En in je auto kom je ook overal mems-apparaten tegen, van je airbags tot je bandenspanningssensors. Maar misschien wel de mooiste implementatie van mems vind je in een speciaal type projectors, een dlp-projector. De spiegel daarvan bestaat uit miljoenen mini-spiegels die individueel bewogen worden met mems-techniek.

In dit verhaal kijken we naar de productie en de inzet van mems-hardware. Daarbij richten we ons vooral op de meestgebruikte plek waar je mens-onderdelen tegenkomt: je smartphone. Maar we maken natuurlijk ook een uitstapje naar die dlp-projectors, al was het maar wegens de wow-factor.

Mems in een telefoon. Bron: LG CNS

• Volgende pagina 2. Mems in je smartphone