ASML en universiteiten richten Instituut voor Nanolithografie op

Fabrikant ASML richt samen met onder meer de Universiteit van Amsterdam en de Vrije Universiteit het Instituut voor Nanolithografie op, dat zich moet gaan bezighouden met lithografie op nanometerschaal. In het derde kwartaal moet het instituut zijn deuren openen.

Het onderzoeksinstituut zal zich in het begin vooral bezighouden met Extreme Ultraviolet Litography, zo heeft ASML, de Nederlandse fabrikant van wafersteppers, bekendgemaakt. Welke onderzoeksprogramma's volgen, is nog niet duidelijk, maar gezien de naam van het instituut zal het zich met lithografie op nanometerschaal bezighouden. Het instituut moet in het derde kwartaal zijn deuren openen en wordt gehuisvest in Amsterdam, maar op welke locatie precies is nog niet bekend.

Het grootste deel van het geld voor het instituut komt van ASML, dat in de komende tien jaar 30 miljoen euro bijdraagt. Naast ASML leggen ook de UvA en de VU miljoenen bij, net als de Stichting voor Fundamenteel Onderzoek der Materie en de Nederlandse Organisatie voor Wetenschappelijk Onderzoek. Daarnaast verleent de gemeente Amsterdam een subsidie van 5 miljoen euro voor de start van het instituut.

In de eerste jaren zal het instituut onder een afdeling van de Stichting voor Fundamenteel Onderzoek der Materie vallen, maar in 2015 moet het verzelfstandigd zijn. Overigens waren naast Amsterdam ook de gemeenten Eindhoven, Nijmegen en het Duitse Aken in de race om het instituut te huisvesten. Een woordvoerder van ASML zegt tegenover het NRC dat voor Amsterdam is gekozen vanwege de 'doordachte onderzoeksagenda met diepgang en creativiteit'.

Reacties (27)

[MM99]

je verwacht eerder één van de TU's eigenlijk. hebben die niet meer kennis op dit gebied?

[frennek]

Dat zou ik niet te snel zeggen. Het LaserLaB aan de Vrije Universiteit is op het gebied van laserfysica het meest geavanceerde onderzoeksinstituut op het gebied van ultrasnelle en stabiele lasers van Nederland.

Natuurkunde is ontzettend breed en iedere universiteit heeft zo zijn eigen specialisme. De VU mag dan een kleine speler zijn op het gebied van Natuurkunde, maar door specialisatie op laserfysica zijn ze op dat gebied ontzettend ver gevorderd.

[Squee]

Plus dat het FOM er ook een zeer belangrijke rol in speelt, wat ook op het Sciencepark zit in Amsterdam. Naast het NIKHEF overigens, ook geen kleintje op dergelijk technisch gebied, aangezien ze nog mee hebben gebouwd aan de detectoren van de LHC in Cern.

[williewimp]

Aan de andere kant zit ASML, 'n TU en de Hightech Campus in (de omgeving van) Eindhoven.

[Nas T]

De TUe wordt een beetje gezien als hofleverancier voor ASML qua toptechneuten (korreltje zout mag). Ik sta er dan ook op zich raar van te kijken dat daar zo weinig geld in ASML wordt gestoken op dit gebied. Misschien ook omdat vooral de competenties (laser-fysica) elders beter gehuisvest zijn. De hightech campus levert vooral grond voor ASML volgens mij. Alle kennis zit voornamelijk intern, niet extern.

[klonic]

Wat doet NIKHEF dan dat hier relevant voor is? NIKHEF werkt inderdaad mee aan diverse zaken voor CERN en mag dus ook personeel leveren maar dat is toch een andere tak van sport. ASML heeft als grote uitdaging dat het licht dat ze willen gebruiken zo ongeveer alleen nog door vacuüm kan. Het maken van lenzen is dan een probleem omdat glas e.d. het licht dus absorberen.

[lasermen]

NIKHEF richt zich op de meest kleine deeltjes denkbaar. Technologie/kennis die ASML vroeger of later nodig zal hebben om steeds kleinere transistoren mogelijk te blijven maken. Valorisatie zoals dat zo mooi heet vanuit de wetenschap.

[mcmalden]

Quantum Optica is anders gewoon fundamentele natuurkunde. Bij lithografie loop je tegen diffractie limieten aan. Hiervoor worden maskers gemaakt die extreem 'slim' interfereren zodat bijv. 22nm gehaald kan worden. De rek is hier een beetje uit dus moeten ze naar een kleinere golflengte: extreme ultraviolet dus.
Er zijn natuurlijk nog kleinere golflengtes maar de interactie met de materie speelt hier een grote rol.. Vandaar dat ik expliciet quantum optica noem. Er zijn natuurlijk meerdere vakgebieden die hier meespelen zoals ook blijkt uit frennek's reactie
Wat ik meestal van TU's zie zijn voetballende robots en dingen als autonome auto's. Het idee dat TU's zo'n beetje alles betekenen op het gebied van beta sciences is onzin.

[arnem_]

Ik weet niet helemaal van het hoe en het wat maar volgens mij doet MAPPER Lithograph iets wat op hetzelfde neerkomt en is eigenlijk een zakelijke concurrent van ASML. MAPPER is meer verbonden (en gevestigd) aan de TU Delft dan ASML en ontvangt ook/vooral investeringen uit het buitenland.

[Reactie gewijzigd door arnem_ op 22 juli 2024 17:03]

[mcmalden]

Het is toch ook juist logisch dat een bedrijf dat waversteppers bouwt verbonden is met een technische universiteit? Zo ver ik weet ontwikkelt MAPPER technieken.

Fundamenteel onderzoek is vaak niet rendabel voor een bedrijf. Altans, de overheid lijkt hier zo over te denken gezien zij onder het mom 'wetenschap is slechts belangrijk wanneer het voor de markt gebruikt kan worden' al het fundamentele onderzoek aan het weg bezuinigen zijn. Ofwel, meer geld naar de TU's.

De toepassingen van een dergelijk fundamenteel onderzoek laten makkelijk 15jaar op zich wachten. Ervan uitgaand dat er nuttige resultaten zijn. Het is dus begrijpelijk waarom ASML zich wel met dit soort risicoprojecten kan bezighouden en een klein bedrijf als MAPPER niet.

Nu moet de kanttekening gemaakt worden dat al het toegepaste onderzoek uit het fundamentele onderzoek voortkomt(niet per se een vaste oorzaak-gevolg-relatie). Wat de overheid dus in feite doet is intensieve landbouw verrichten op het Nederlandse wetenschapklimaat zodat we nu kunnen oogsten maar ook zodat er over 15 jaar niks meer wilt groeien. De overheid is dan ook totaal inadequaat om over dingen als wetenschap te beslissen naar mijn mening.

Kleine joint-ventures tussen particulieren en universiteiten kunnen het wel eens moeilijk gaan krijgen in de toekomst. Bijvoorbeeld wanneer ASML wel op 10nm kan bakken en MAPPER 15 jaar aan onderzoek achterloopt. Dit zien we toch precies hetzelfde bij Intel en AMD?

edit:
De vergelijking met AMD en Intel gaat dus om het belang van fundamenteel onderzoek, niet om de rol van de overheid hier in.

[Reactie gewijzigd door mcmalden op 22 juli 2024 17:03]

[ATS]

Ik had de UTwente hier ook wel bij verwacht, gezien het toch vrij geavanceerde mesa+ nano lab...

[frennek]

Juist niet.

Het instituut gaat onderzoek doen naar lithografie op nanometer schaal en daar heb je zeer specialistische lasers voor nodig die deze golflengtes kunnen maken. Dit zijn geen lasersystemen die je bij een bedrijf kan bestellen, maar moeten zelf gebouwd en ontwikkeld worden door de wetenschappers aan het instituut.

In Twente is weinig technische kennis op het gebied van dit soort lasersystemen ontwikkelen, dus daarom zou het vreemd zijn als Twente mee zou doen.

[Verwijderd]

EUV lasers worden gewoon ingekocht bij Cymer in de USA. Sinds kort trouwens eigendom van ASML. En er worden geen lasersystemen ontwikkeld in Twente? Onzin, Laser Pulsed Depositie is een van de vakgebieden daar. Trouwens, ze hebben ook nog de vakgroep Laser Physics and Non-Linear Optics

[Aham brahmasmi]

In het FOM in Nieuwegein werd onderzoek gedaan naar Xenon laserplasma (en ook ontladingsplasma geloof ik) als EUV lichtbron (13.5nm) toen ik daar stage liep in 2003. Voor zover ik mij kon herinneren was het doel toen om een EUV-bron te ontwikkelen die krachtig genoeg was om een EUV wafer steppers fatsoenlijk korte belichtingstijden te geven en ik denk dat het toen geen optie was om "gewoon" een EUV laser bij Cymer in te kopen. Ik weet niet hoe dat in de tussentijd veranderd is maar het zou best kunnen (zeker als ASML ze nu ingelijfd hebben).

[Reactie gewijzigd door Aham brahmasmi op 22 juli 2024 17:03]

[Verwijderd]

Toevallig werk ik daar (Nieuwegein, sinds 2001, dus ik moet je kennen dus kan ik je wat meer melden:
Het onderzoek dat in ons lab gedaan wordt begon inderdaad met het ontwikkelen en testen van bronnen voor EUV lithografie.
Door de tijd heen heeft het onderzoek zich echter meer gericht naar de speciale spiegels bestaande uit honderden gestapelde nanometer dikke laagjes, die gebruikt worden om het door een EUV bron opgewekte licht te transporteren naar een masker en de ontstane afbeelding te focuseren op de photoresist.
Het insituut zoals het nu in Amsterdam opgericht wordt zal zich vermoedelijk in eerste instantie richten op ontwikkeling van de bron voor de nieuwe generatie steppers, dat is op dit moment de grootste bron (pun intended) van zorg. Zoals je al aangaf is er niets van de plank te koop, lasers zijn ondertussen vervangen door stralende plasmas en men denk zelfs aan x-ray vrije electronen lasers voor de nieuwe generatie EUV bronnen, genoeg ruimte voor onderzoek, dus!

P.S. Toeval wil dat onze afdeling dus steeds meer in de richting van nany-fysica en oppervlaktefysica is gegaan, iets wat bijv. goed matched met de campus van de Universiteit Twente (MESA+, nano-lab, ...) en wat een reden is geweest om dit deel van het onderzoek op de UTwente verder voor te zetten. Elke (T)U heeft dus wel iets met ASML te maken!

[Aham brahmasmi]

Interessant. Ik wist dat die gestapelde (Bragg) spiegels idd erg belangrijk waren want dat lijkt de enige methode te zijn om met EUV de reticle op de wafer af te beelden.

Ik vond net deze video van Cymer, waarbij ze met een (20kW) CO2 laser plasma's van een bolletjes tin maken: http://www.youtube.com/watch?v=8xJEs3a-1QU
Maar dat is dus geen cutting-edge technologie meer zeker?

Welkom op tweakers trouwens.

[Reactie gewijzigd door Aham brahmasmi op 22 juli 2024 17:03]

[Verwijderd]

Dat wordt natuurlijk 1 groot succes, twee universiteiten, waarvaan er 1 in grote problemen verkeert een fusieafdeling laten oprichten samen met een derde grote partij (FOM). Amsterdam weet gelukkig hoe je grote projecten (fietspad onder een museum) succesvol en op tijd moet opleveren. Het geheel projectmatig aansturen vanuit Eindhoven en de deuren voor eind september open?

Hoop dat de wetenschappers geduldige types zijn.

[frennek]

De bestuurlijke crisis bij de VU staat geheel los van het functioneren van de diverse onderzoeksgroepen bij de afdeling natuurkunde, die juist op dit moment ontzettend goed bezig zijn.

Een onderzoeksgroep die zelfstandig voldoende geld kan vinden voor haar onderzoek is erg autonoom en heeft weinig te maken met het bestuur van de universiteit zelf in de dagelijkse gang van zaken.

[Maartenre]

Het zal ongetwijfeld te maken hebben met de ambitieuze plannen van de UvA en de VU om hun betafaculteiten samen te voegen.

[frennek]

Dat zal er ook alles mee te maken hebben. In het artikel van nrc staat ook dat nog deze zomer de deuren van het instituut zullen openen en heb vernomen dat aan het einde van 2013 er al 60 mensen aan het werk zullen zijn.

Nu is er al een hoog tekort aan hoogopgeleide technici in Nederland, maar 60 natuurkundigen vinden voor het einde van het jaar lijkt me een ontzettend moeilijk. Amsterdam is mede daarom een zeer aantrekkelijke locatie. Op het sciencepark zit enorm veel fundamenteel onderzoek bij elkaar geclusterd.

[Xerras]

Absoluut!

Door de samenwerking van VU en UvA tot 1 betafaculteit lijkt me dat ASML deze partner ineens erg serieus neemt (zeker als ook FOM nog deelneemt hieraan)! Los zou het denk ik niet gelukt zijn om dit instituut binnen te halen.

[Verwijderd]

"Naast ASML leggen ook de UvA en de VU miljoenen bij, net als de Stichting voor Fundamenteel Onderzoek der Materie en de Nederlandse Organisatie voor Wetenschappelijk Onderzoek. Daarnaast verleent de gemeente Amsterdam een subsidie van 5 miljoen euro voor de start van het instituut."

ASML draait honderden miljoenen winst en onlangs hebben intel en samsung ook nog in het bedrijf geinvesteerd, onzin dat de overheid hier belastinggeld insteekt.

[a fly]

ASML heeft een winst van ruim 1 miljard op een omzet van een krappe 5 miljard. Een stuk meer dan honderden miljoenen dus.
Naar mijn inzien is dit een van de beste investeringsmogelijkheden voor de overheid. Kennisuitbreiding in eigen land, (deels) voor een Nederlands bedrijf die internationaal aan de top staat in de sector. Dat belastinggeld verdiend zichzelf wel terug.

[Sua]

Die 5 miljoen van Amsterdam zal ook wel een stimulerende factor zijn geweest in de keuze.

Althans, ik ga ervan uit dat niet alle gemeentes dezelfde bijdrage zouden leveren.

[Mellow Jack]

De overheid moet ervoor zorgen dat de kennis binnen ons land zichzelf blijft ontwikkelen

Zou de Unies en de gemeente hier niet aan meewerken is de kans groot dat ASML hun miljoenen ergens anders insteken (zoals bijv Duitsland)

[smitae]

Idd. ben blij te zien dat er ook geïnvesteerd gaat worden in een echte "maak" industrie. Hebben ze toch nog het licht gezien ;-)

De laatste jaren stoppen ze kapitalen in transport, vervoer, etc. En daar blijft veel minder geld voor de BV Nederland van over dan als je echt iets maakt.
Transport ook leuk, maar verdienen we als land toch echt veel minder mee.