Wetenschappers van het Amerikaanse National Institute of Standards and Technology hebben aangetoond dat, ondanks wat tot nu toe werd aangenomen, silicium wel degelijk materiaalvermoeidheid kan vertonen.
Bij vermoeiing bezwijkt een materiaal door een wisselende belasting. Vermoeiing kan al optreden bij een belasting die lager is dan wat het materiaal continu aan zou kunnen. Lange tijd zijn wetenschappers ervan overtuigd geweest dat silicium geen vermoeiingsgedrag zou vertonen en dat werd ondersteund door praktijktests. Wetenschappers van het NIST hebben bij proeven met silicium nu echter toch vermoeiing geconstateerd.
In conventionele tests wordt een kerf gekrast in het materiaal om vervolgens een cyclische kracht op beide uiteinden te zetten, zodat het proefstuk afwisselend wordt uitgerekt en ingedrukt. Deze proeven doorstond silicium altijd met glans, maar praktijkervaringen met MEMS leerden dat silicium door trillingen in kleine tandwielen en assen wel degelijk vermoeide: er traden scheuren op in het materiaal. Er bestaan twee theorieën die de oorzaak van het probleem kunnen verklaren. De ene theorie gaat ervan uit dat wrijving het probleem is en de andere theorie ziet corrosie als de boosdoener.

Wetenschappers van het NIST hebben daarom een nieuwe test bedacht die de vermoeiingseffecten van silicium beter in kaart moet brengen. In hun test werd een bolvormig wolfraamcarbide-stempel met een diameter van 3mm op een siliciumkristal gedrukt. Na enkele dagen was er geen schade te zien, wat de corrosietheorie zou uitsluiten. Vervolgens werd de stempel cyclisch op het materiaal gedrukt en werd de gebruikte kracht gehalveerd. Na 5.000 cycli was er al schade zichtbaar en na 85.000 cycli was het oppervlak zwaar beschadigd.
De wetenschappers denken dat de toevoeging van schuifspanningen in de belasting de oorzaak is van de vermoeiing. In conventionele proeven was deze belasting niet aanwezig, waardoor de siliciumkristallen niet langs elkaar schoven. De onderzoekers willen hun test nu herhalen, maar dan op micrometerniveau. De tot dusver behaalde resultaten zullen in ieder geval al grote gevolgen voor het ontwerp van micro-elektromechanische systemen hebben, omdat vermoeiing voortaan in het ontwerp meegenomen moet worden.