NEC, Sony en Toshiba hebben vandaag details vrijgegeven over het samen ontwikkelde 45nm-procedé. Hiermee volgen de drie bedrijven IBM en AMD die gisteren informatie publiceerden over hun 45nm-procedé.
De drie Japanse bedrijven werken samen om zich klaar te maken voor de massaproductie van 45nm-chips. Volgend jaar wil de groep twee verschillende procedés introduceren: één geoptimaliseerd voor prestaties en één geoptimaliseerd voor een laag energiegebruik. Net zoals bij het procedé van IBM en AMD maken de Japanners gebruik van immersielithografie, low-k-materialen en strained silicium. Bij immersielithografie is de lucht tussen de lens en de wafer vervangen door water wat een hogere resolutie mogelijk maakt, licht met een golflengte van 193nm in lucht heeft in water namelijk een golflengte van 134nm. Het gebruik van low-k-materialen en strained silicium zorgen voor betere elektrische eigenschappen van de transistors wat resulteert in een lager energieverbruik en een hogere maximale klokfrequentie.