Op EETimes staat een artikel over CED, een technologie die ontwikkeld is door twee Amerikaanse onderzoekers. Controlled Etching of Dislocations is een methode om silicium te bewerken zonder gebruik te maken van licht. In plaats daarvan vertrouwt men op de natuurlijke kristalgroei van silicium tussen twee wafers in. De wetenschappers demonstreerden een versie van de techniek die bergjes silicium met een doorsnede van 0.025 micron kon maken, zo'n 100 atomen dik. Door de hoek tussen de twee wafers te vergroten worden kleinere bergjes van 20 atomen mogelijk, de hiermee bereikte schaal van 0.0055 micron is bijna twee keer zo klein als die door de EUV machine wordt bereikt. In theorie kan men zelfs tot 7 atomen (0.002 micron) gaan:
The CED process starts with two identical polished silicon wafers instead of just one. The wafers are pressed against each other, slightly twisted at a precisely controlled angle and then bonded together to form what's called a bi-crystal. The identical rows of silicon atoms line up with one another where the rows cross, and the matchups form a tightly packed pattern across the wafer.
At each point in the pattern where the silicon atoms line up, a strong silicon bond, called a grain boundary, is formed. Sass has studied grain boundaries, and the checkerboard pattern they form, for 30 years.
By using a special etching solution of trioxide and hydrofluoric acid, Sass and Hines were able to wash away the weakly bonded atoms, called the dislocations, leaving only the strongly bonded nanobumps. For their demonstration, the researchers fabricated nanobumps approximately 100 atoms (25 nanometers) in diameter and 160 atoms (38 nanometers) apart using a fraction of a degree offset. By increasing the twist angle to 4°,the next-generation nanobumps could measure just 5.5 nm in width, or about 20 atoms.
De huidige implementatie van de techniek kan alleen bergjes in een vast patroon maken, dus echte chips kunnen nog niet gemaakt worden. Wel zijn er andere toepassingen denkbaar, plaats bijvoorbeeld een laagje magnetisch materiaal op de bergjes en je hebt de basis voor een harde schijf met extreme datadichtheid.