Samsung meldt dat het de eerste miljoen ddr4-modules heeft geleverd die met behulp van euv-chipmachines zijn gemaakt. De fabrikant verwacht volgend jaar op grote schaal ddr5 te maken met euv, of extreme ultra violet.
Samsung gebruikt de euv-machines nu nog voor de productie van zijn eerste generatie 10nm-class ddr4-geheugen. Het bedrijf verwijst met de aanduiding D1x naar deze generatie. Samsung is momenteel bezig om euv bij de productie van zijn vierde generatie 10mn-class dram, oftewel D1a, te integreren. Dit is een verbeterd productieprocedé dat tot zuiniger en hoger presterend geheugen leidt.
De ontwikkeling van D1a moet ertoe leiden dat volgend jaar op grote schaal ddr5 en lpddr5 met euv kunnen worden geproduceerd. Volgens de fabrikant verdubbelt daardoor de productiviteit ten opzichte van D1x. Niet bekend is hoeveel chiplagen Samsung met euv maakt. Wel meldt het bedrijf dat euv bij de ddr5-productie 'volledig ingezet' wordt. In de tweede helft van dit jaar neemt Samsung een tweede halfgeleiderproductielijn in Zuid-Korea in gebruik om de nieuwe dram-generatie te produceren. Samsung is de eerste fabrikant die euv-machines inzet bij de dram-productie. Bij de productie van processors wordt euv al wel langer ingezet voor enkele kritische chiplagen.
Bij traditionele immersielithografie wordt gebruikgemaakt van licht met een golflengte van 193nm. Bij die methode moeten fabrikanten tijdrovende multipatterningstappen maken met hun machines om steeds kleinere chipstructuren aan te brengen op wafers. Euv-machines gebruiken voor de belichtingsstap een kleinere golflengte van 13,5nm, waardoor nauwkeuriger en sneller kleinere structuren aan te brengen zijn.