ASML-duo wint publieksprijs European Inventor Awards met euv-vinding

De Nederlander Erik Loopstra en de Nederlands-Russische Vadim Banine hebben de publieksprijs van de European Inventor Award Publieksprijs 2018 gewonnen. De twee hebben met hun teams bij ASML en Zeiss een belangrijke bijdrage aan de ontwikkeling van euv-machines geleverd.

Het duo kreeg tussen 24 april en 3 juni de meeste stemmen voor de Popular Prize. Internetters konden in die periode via internet hun stem uitbrengen op een van vijftien genomineerden. De twee versloegen onder andere de Deense uitvinders van Lego Mindstorms en twee Fransen die een band hebben uitgevonden die zichzelf door zijn ontwerp 'vernieuwt'.

Erik Loopstra begon in 1991 bij ASML en speelde niet alleen bij het Veldhovense bedrijf een belangrijke rol bij de ontwikkeling van euv-lithografie, maar ook bij Zeiss, bij de ontwikkeling van de cruciale optica voor de systemen. Volgens Loopstra gaat het om het gladste spiegelsysteem ter wereld: "Als een van de spiegels van het euv-systeem vergroot zou worden tot de omvang van Duitsland, of 1000 km breed, zou de grootste afwijking minder zijn dan de breedte van een mensenhaar." De in Rusland geboren Vadim Banine begon in 1996 bij ASML en werd daar in 2010 Director of Research. Hij heeft 45 Europese octrooien op zijn naam staan.

ASML koos in 2001 om zich op extreem-ultraviolette lithografie te richten als opvolger van de huidige 193nm-immersielithografie. Bij de techniek schiet een laser op minuscule druppels tin om plasma te vormen, dat extreem ultraviolette straling genereert en in een vacuümomgeving via een stelsel van spiegels op het silicium wordt gereflecteerd. De euv-machines bleken extreem moeilijk om te maken en pas bij de 7nm-productie van chips zullen deze voor het eerst ingezet worden. De opvolger, high NA-euv, moet ook voor 3nm en wellicht verdere nodes te gebruiken zijn.

Bij de European Inventor Awards kreeg de Duitser Jens Frahm de prijs in de Research-categorie vanwege zijn uitvinding van realtime mri, de Zwitserse Ursula Keller kreeg de Lifetime Achievement Award voor de uitvinding van de semiconductor saturable absorber mirror voor snel pulserende lasers. De European Inventor Award wordt jaarlijks uitgereikt door het Europees Octrooibureau om uitvinders uit Europa en de rest van de wereld te eren, die een uitzonderlijke bijdrage hebben geleverd aan sociale ontwikkeling, technologische vooruitgang en economische groei.

Reacties (46)

[1nsane]

Mooi om te zien! Jaren geleden heb ik nog wel eens een uurtje gebabbeld met Vadim en heeft hij me rondgeleid.

Vanwege mn werk kwam ik daar af en toe, wat ik nog weet is dat hij niet alleen neteslim is maar het ook allemaal zo goed uit kan leggen, hulde!

[Grovdna]

Geweldig dat deze techniek in Nederland ontwikkeld is en wereldwijd bij de grootste spelers ingezet gaat worden. Chapeau.

[Dark_man]

In principe zou Nikon vooruit moeten lopen op ASML op dit gebied maar wat de Japanners tegenhoud is dat in Japan het dramatisch is gesteld met de Engelse taal.

Hierdoor kan er geen internationaal talent aangetrokken worden en daardoor red je het niet met alleen de knappe Japanse koppen.

[amigob2]

Je zou voor de grap eens de R&D budgetten van Nikon ( litho afdeling ) en ASML naast elkaar moeten leggen. Dan weet je meten waarom ASML zo ver voorloopt.

[Kevinp]

Nikon had alleen 20 jaar voorsprong op ASML.

Edit:
Nikon bestond pas 100 jaar(vorig jaar geloof ik).
ASML is in 1984 opgericht. Wel door Philips dus waarschijnlijk een flink startkapitaal.

Als je ziet hoe snel de ontwikkeling is gegaan met chips de laatste jareen dan moet iedereen zich afvragen hoe zou de wereld er zonder ASML uitgezien hebben. Want ik denk dat we dan wel eens 5-10 jaar minder ver zouden zijn geweest.

[Reactie gewijzigd door Kevinp op 25 juli 2024 08:19]

[jeronimo]

De mensen die ASML groot gemaakt hebben kregen niet bepaald een flink startkapitaal mee van Philips.
Lees online het stukje "Inside ASML - Hoe het bijna misging" voor een iets beter begrip.
Ook Natlab kraamkamer van ASML, NXP en de cd en De architecten van ASML zijn prima leesvoer.

[batjes]

Registreer nu en lees:
Inside ASML - Hoe het bijna misging

Jammer

[Fagussylvatica]

Ach kom, een beetje tweaker komt er ook zonder te registreren.
https://webcache.googleus...nk&gl=nl&client=firefox-b

[batjes]

Oh ik neem de moeite tegenwoordig gewoon niet meer.

edit: @Fagussylvatica alsnog gelezen, thx

[Reactie gewijzigd door batjes op 23 juli 2024 13:07]

[Mathi159]

Het maken van lenzen en die toepassen op lithografie zijn twee vakken apart vermoed ik hoor. Kodak liep ook zo ver voor .

[Kevinp]

Tja ik denk dat je toch even moet zoeken wat Nikon en Canon nog meer doen. Het zijn namelijk de voornaamste concurrenten van ASML ;-).

https://nl.wikipedia.org/wiki/ASML

[amigob2]

Concurrent heeft ASML niet echt meer, met > 80% markt aandeel
En die andere activiteiten hebben geen invloed op de Litho tak, het een gaat het anderen niet continue sponsoren.

[Reactie gewijzigd door amigob2 op 25 juli 2024 08:19]

[Tuningistweaker]

Markt aandelen kun je van het één op het andere moment weer kwijtraken. Daar moet je je nooit achter willen verschuilen. En vergeet niet, er wordt al 10 tot 15 jaar kei en kei hard geïnvesteerd in de EUV tak (en de nieuwe high-NA EUV) terwijl die tak voor een groot gedeelte gefinancierd moet worden door verkoop v.d. (minder lucratieve) DUV machines. Concurrentie hoeft maar iets kosten gunstiger te produceren en met hogere kwaliteit te assembleren (en dat kunnen ze echt wel in Japan!) en ze staan weer met beide voeten in de DUV markt. Zonder de financiële belasting van een EUV programma, kunnen ze dat geld allemaal investeren in optimalisatie van DUV productie.

Nu hoop ik dat ze in de toren aan De Run daar ook rekening mee houden...

[amigob2]

Dan moeten ze op schieten :-) EUV klopt eindelijk aan de deur. En jullie hebben nog niet kunnen lezen wat er aan komt :-)

[Tuningistweaker]

EUV is een aparte markt, en zal voorlopig maar selectief in het processen toegepast worden. De machine's zijn zo kapitaal intensief dat je ze alleen maar wilt gebruiken waar je ze echt nodig heb. Voor de andere stappen laat je liever een aantal DUV machines lopen. High NA gaat pas over 5 tot 10 jaar echt lopen, net als dat de EUV pas dit jaar volwassen vormen begint aan te nemen. De DUV markt is echt nog niet weg de komende decenia, en de Japanners kunnen ASML nog echt pijn doen omdat op vanuit DUV de EUV ontwikkeling nog vooral een last is. Neemt niet weg dat alle chipbakkers ondertussen geloven in EUV en niet zomaar ASML een pootje willen/kunnen lichten.

Ik heb overigens een vrij aardig beeld van wat er aankomt

[Reactie gewijzigd door Tuningistweaker op 25 juli 2024 08:19]

[Pe Nis]

In die toren zitten 2 toppers: Van den Brink en Wennink.

[Pb Pomper]

De investeringen en risico's zijn ongekend. Voorlopig loopt het nog niet echt lekker met EUV. Het is te hopen voor ASML dat ze het nog vlot kunnen trekken.

[Pe Nis]

Outdated info. 250W EUV source geen issue meer. Op naar 300-500W regime i.c.m. high NA. Nu EUV op zelfde maturity niveau als de immersie krijgen. Ook dat gaat ons lukken. EUV is niet meer te stoppen. Klanten als TSMC en Samsung zijn al aardig aan het investeren in nieuwe EUV fabs. Heb zelf met beide heren samengewerkt en aantal gezamelijke patentjes ;-)

[amigob2]

Met EUV ?

[Kevinp]

Met chips. EUV is een gevolg van het kleiner worden van de chips en de vraag naar nog kleinere chips.

EUV bestaat in de praktijk (in theorie misschien al veel langer) nog maar erg kort.

[amigob2]

ASML heeft Nikon niet alleen met EUV verslagen, Alle betere high end machines van ongeveer de laatste 10 jaar komen van ASML. ASML heeft zich volledig gefocust op Litho en dat heeft er voor gezorgd dat Nikon geen goed antwoord heeft. ASML heeft 80% markt aandeel in Pre EUV en 100% markt aandeel in EUV.
EUV is de toekomst want met DUV kun je alleen nog maar sneller en hogere yield en dat heet uitmelken. Een verklein stap zit er niet echt meer in.

[Dark_man]

Nogal logisch als je op een gegeven moment meer verdient.

Het word een vicieuze cirkel.

Bovendien heeft Nikon andere markten waar ze zich op kunnen focussen eenmaal ze realiseerden dat ze achterstand niet meer konden goedmaken.

R&D budgetten zijn sowieso nooit alled zeggend, kijk maar naar AMD vs Intel met de Ryzen en GPU's.

[Toine1]

Ben ik het niet mee eens. Want die zetten dan gewoon een studio op ineen ander land, voorbeelden bv in de auto design branche.

[Dark_man]

Zo makkelijk gaat dat natuurlijk niet.

Waarom denk je dat er in Eindhoven een hele industrie is ontstaan? Dat zijn allemaal bedrijven die met, via, dankzij, samen of indirect met ASML samen werken.

Als je niet alle knappe koppen bij elkaar kunt krijgen en dan ook nog op de plek waar het moet gebeuren ga je het moeilijk krijgen.

Sowieso zou je op zijn minst in je hele bedrijf minimaal op zijn minst op een minimale niveau in Engels moeten communiceren en dat is bij Japanse bedrijven al een lastig verhaal met of zonder studio in het buitenland.

[Toine1]

In de automobiel industrie zie je dit dus wel gebeuren en let op dit gaat ook gebeuren met die fabrikanten uit China. Die gaan ook her en der design studios op zetten, natuurlijk wel op weloverwogen plekken.
Maar ook buiten de automobiel maaksector, Fuji heeft dit bv ook gedaan, met TRL in Tilburg.Die mannen uit Azie zijn echt niet gek.

Trouwens de hele industrie rond Eindhoven is ontstaan rond Philips, later is die aanjagende rol pas overgenomen door DAF, ASML, VDL en diverse andere firma’s.

[Dark_man]

Ja maar voor de auto industrie hoef je niet overal in de wereld knappe koppen bij elkaar te verzamelen.

Als je echter onderzoek doet naar wat de natuurkundige limieten opzoekt dan moet je recruteren over de hele wereld.

[Horatius]

Ik ben bij ALSI geweest waar ze euv ontwikkelen (plasma dicing), gaat alles in het Engels.
Denk dat je prima kan aantrekken als er alleen maar Engels wordt gesproken, je moet er alleen wat meer voor neerleggen om een internationale werknemer te verkrijgen.

[Dark_man]

Dat bedoel ik dus juist.

In Japan word vrijwel geen Engels gesproken.

Daarom kunnen ze dus nooit op dezelfde maniet internationaal talent aantrekken.

[rboerdijk]

Heb hetzelfde gehoord van een oud-kollega, die ging in Japan aan de slag bij een game-development firma (ondertussen alweer 8-10 jaar geleden). Hij kwam toen met het opmerkelijke verhaal dat niemand daar de documentatie van DirectX of de MSDN kon lezen. Ik vond dat wel opmerkelijk, dat verzin je toch niet dat zoiets "triviaals" een probleem is.

[Dark_man]

Als je ziet dat ze de 3e economie ter wereld zijn en lange tijd de 2e economie waren heeft het ze niet echt tegengehouden.

Vandaar dus misschien dat er weinig motivatie was om Engels te leren.

Het verandert nu wel langzaam maar er gaan nog wel een paar generaties overheen.

Ik ben er nu op vakantie en zelfs nu zijn er jongeren die geen woord Engels spreken.

[Grovdna]

Een voorsprong is niets waard als je het niet kan waarmaken/uitvoeren.

[Dark_man]

Dat is toch wat ik zeg?

Ik probeer aan te geven dat wanneer je op de top van wat natuurkundig op dit moment mogelijk is je moet innoveren je de creme de la creme uit de hele wereld bij elkaar moet kunnen krijgen.

En voor Nikon is dat dus lastig door de communicatie in Engels.

Kijk naar het Manhattan project, dat was ook niet mogelijk zonder alle knappe koppen bij elkaar.

Ik heb het helemaal niet over de bedrijfsvoering, waarmaken of innovatie.

Ik heb het over communicatie tussen mensen die samen aan iets moeten werken dat de grenzen van de Natuurkunde opzoekt.

[totaalgeenhard]

ASML-duo wint publieksprijs European Inventor Awards met euv-vinding

Welk publiek kent ASML en welk publiek kent überhaupt EUV ?

[kzin]

Ik zou zeggen in ieder geval iedereen van enig belang in de semiconductor industrie, en een groot gedeelte van de tweakers

[Tuningistweaker]

Of elk serious metaalverwerkend bedrijf in de regio Eindhoven. ASML heeft er een handje in om niet afhankelijk te zijn van één leverancier. of van leveranciers die te afhankelijk zijn van orders van ASML. Lithografie is toch best wel conjunctuur gevoelig. Het zou jammer zijn dat als jij het zelf lastig heb, je halve toeleveranciers keten ondersteboven gaat.

[Reactie gewijzigd door Tuningistweaker op 25 juli 2024 08:19]

[mark033nl]

en de tech investeerders !

[Pe Nis]

Ga eens naar het Verre Oosten, daar heeft ASML een godenstatus.

[Reactie gewijzigd door Pe Nis op 25 juli 2024 08:19]

[Idunno_WhyNoT]

Jij kent ASML en EUV nu ook! Welkom op tweakers.net.

Even serieus. Wat is je punt? Ter overpeinzing: Zonder EUV houdt schaalverkleining in chips echt heel snel op. Dus hun impact op de samenleving is misschien wel veel groter dan in eerste instantie gedacht... Daarom vind ik het juist goed dat deze mensen in het zonnetje worden gezet.

Proficiat Eric and Vadim!

[killerfreak]

Wat dacht je van zo'n beetje elk bedrijf dat ook maar een beetje te maken heeft met chipproductie?

Ben je nou serieus? Kom op zeg, ga ergens anders trollen.

[MrHankey]

Cool! Gefeliciteerd allebei

[loekf2]

Erik

[thoravatahr]

Even checken:
1 menselijke haar is tussen de 0.017 en 0.181 mm dik. Laten we voor het gemak even uitgaan van 0.1 mm.
Hoe groot zou de spiegel zijn? 0.1 m doorsnede? Dus terugrekenend van 1000 km naar 0.1 m is 10^7. De afwijkingen zouden dan 1*10^-11 zijn. Dat is een orde kleinder dan de diameter van de kleinste atoom. Dat lijkt me onwaarschijnlijk.

Ze geven zelf aan dat ze tot op enkele atomen gladde spiegels kunnen maken. dus dat is toch 1 tot 2 ordes van grootte verschil. Misschien moet ik wat schappelijker zijn, deze beeldspraak geeft inzicht in de orde van grootte van de orde van grootte. (wat maakt een paar ordes van grootte nu uit op een tiental ordes van grootte )