Wetenschappers hebben een nieuwe methode toegepast om volledige chips te scannen op bijvoorbeeld defecten of manipulatie. Door middel van speciale röntgenscans zijn 3d-beelden te maken waarmee tot op transistorniveau is in te zoomen.
De onderzoekers van het Zwitserse Paul Scherrer-instituut en de Amerikaanse Viterbi School of Engineering van de University of Southern California hebben een systeem op basis van ptychographic X-ray laminography, of PyXL, ontwikkeld om gehele chips te scannen. In combinatie met algoritmes om data te reconstrueren is zo een 3d-dataset op te bouwen.
De methode maakt het mogelijk platte oppervlakken op hoge resolutie in 3d vast te leggen zonder dat eerst samples van die oppervlakken gereed hoeven te worden gemaakt. Bovendien is met het systeem in te zoomen op details van de oppervlakken. Voorheen waren hier verschillende technieken voor nodig en moeste delen van de chipoppervlakken losgetrokken worden om details te kunnen scannen.
De wetenschappers hebben bij de eerste PyXL-test een op 16nm geproduceerde finfet-chip gescand met daarop bevestigd een klein onderdeel van een chip. 'Korte tijd' nadat de oppervlakken waren vastgelegd was een 3d-dataset beschikbaar en te zien is dat hiermee alle chiplagen en interconnects op nanometerniveau inzichtelijk worden. De chip had een oppervlak van 300x300µm en het systeem zoomde in op het onderdeel met een diameter van 40µm voor een meting met een resolutie van 18,9nm.
De methode is volgens de onderzoekers onder andere bruikbaar voor chipverificatie. Chipfabrikanten en andere partijen kunnen er chips mee controleren zonder dat die chips fysiek vernield hoeven te worden. Zo kunnen ze garanderen dat de chips volgens specificatie en zonder fouten zijn geproduceerd en dat er niet mee geknoeid is.
/i/2003126398.jpeg?f=imagenormal)
Bij ptychographic X-ray laminography combineren de onderzoekers enkele technieken. Ze hielden eerder al testen met ptychographic X-ray computed tomography, of PXCT. Hierbij worden samples van alle kanten bestraald met röntgenstralen, waarna reconstructiealgoritmes op basis van diffractiepatronen afbeeldingen kunnen berekenen. Zo wisten ze al delen van een 22nm-chip van Intel in kaart te brengen, maar het nadeel is dat delen van de chip losgebroken moesten worden om de samples van alle kanten te kunnen beschijnen.
Door die techniek te combineren met laminography werd dit nadeel teniet gedaan. Deze techniek is met name voor platte oppervlakken die daarvoor enigszins gekanteld worden en vervolgens roteren voor de ct-scans. Zo kunnen de oppervlakken onder verschillende rotatiehoeken vastgelegd worden.
De onderzoekers beschrijven hun methode in een artikel in het wetenschappelijke tijdschrift Nature Electronics onder de titel Three-dimensional imaging of integrated circuits with macro- to nanoscale zoom.