Lithografie

Mapper: simulatie e-beamlithografie

08-'12 - Het Delftse Mapper geeft een virtuele demonstratie van zijn e-beamlithografietechniek.

'Nederlandse elektronenbundel-machine is in staat tot 10nm-lithografie'

02-'12 - Volgens een Frans technologie-onderzoekscentrum zou de lithografiemachine die door het Delftse bedrijf Mapper Lithography ontwikkeld werd, geschikt zijn voor 14nm- en 10nm-transistors.