Cookies op Tweakers

Tweakers maakt gebruik van cookies, onder andere om de website te analyseren, het gebruiksgemak te vergroten en advertenties te tonen. Door gebruik te maken van deze website, of door op 'Ga verder' te klikken, geef je toestemming voor het gebruik van cookies. Wil je meer informatie over cookies en hoe ze worden gebruikt, bekijk dan ons cookiebeleid.

Meer informatie

Nikon begint lab voor lithografisch onderzoek

Door , 9 reacties

Nikon is een samenwerking aangegaan met een bedrijf uit Singapore om gezamenlijk lithografieapparatuur te ontwikkelen waarmee kleinere transistors kunnen worden geproduceerd dan tot nu toe mogelijk was. In een testlab zal 193nm-lithografie worden ontwikkeld.

De onderzoeksactiviteiten van Nikon en het A*STAR Institute of Microelectronics worden ondergebracht in een r&d-laboratorium. De Japanners en Singaporezen zullen samen lithografische technieken ontwikkelen om 193nm-licht te gebruiken voor halfgeleiderproductie. Daarbij zouden argonfluoride-lasers gebruikt worden voor het uitzenden van diep-ultraviolet licht om wafers te produceren. Daarbij moeten technieken als multiple patterning en zelforganisatie een rol spelen.

Met de lithografische technieken moeten wafers met transistors van minder dan 20nm worden geproduceerd. De kleinste transistors die momenteel op 22nm geproduceerd worden, zouden met de huidige technieken lastig kleiner gemaakt kunnen worden. Met technieken als multi patterning en met nanobolletjes die het fotomasker spontaan vormen, moeten kleinere transistors mogelijk gemaakt worden.

Een concurrerende techniek, die fijnere patronen kan produceren door licht met een kleinere golflengte te gebruiken, is eveneens in ontwikkeling. Die euv-techniek laat echter vooralsnog op zich wachten; concurrent ASML heeft die techniek in ontwikkeling, net als Nikon zelf.

Willem de Moor

Redacteur componenten

3 januari 2013 13:17

9 reacties

Linkedin Google+

Reacties (9)

Wijzig sortering

Apple iPhone X Google Pixel XL 2 LG W7 Samsung Galaxy S8 Google Pixel 2 Sony Bravia A1 OLED Microsoft Xbox One X Apple iPhone 8

© 1998 - 2017 de Persgroep Online Services B.V. Tweakers vormt samen met o.a. Autotrack en Hardware.Info de Persgroep Online Services B.V. Hosting door True

*