ASML komt met nieuwe apparatuur voor 0,07µ chips

Door Martijn Berkhoff, vrijdag 8 maart 2002 21:42, 31 reacties • Feedback
Bron: Silicon Strategies

Silicon Strategies meldt ons dat ASML MaskTools met een nieuw product op de markt komt, waarmee bestaande optische lithografische technieken een stukje beter getweakt kunnen worden. Nu worden gereedschappen van 193nm gebruikt om 90nm (0,09 micron) chips te maken. Met het nieuwe product Chromeless Phase Lithography (CPL) kunnen deze gereedschappen worden gebruikt om 70nm chips te produceren. ASML MaskTools, dat een dochteronderneming is van ASML Holding, zal de CPL technologie samen met eigen analyse en simulatiesoftware gaan leveren. Verwacht wordt dat met behulp van CPL technieken de optische lithografie nog een tijd vooruit kan:

SANTA CLARA, Calif. -- During the SPIE Microlithography conference here, ASML MaskTools Inc. entered the phase-shift software photomask market with a product that promises to extend optical lithography tools for next-generation devices.

The company's product, known as Chromeless Phase Lithography (CPL), is based on "soft" or attenuating phase-shift technology. CPL is a "full-chip" solution aimed to extend 193-nm lithography tools down to the 70-nm (0.070-micron) node. At present, 193-nm tools are generally geared for processing chips at the 90-nm (0.09-micron) node.

Onze dank gaat uit naar RawPeanut voor het melden van dit nieuws.

Reacties (31)

+2 jojo2k1
8 maart 2002 21:52

Mooie verbetering: oppervlakte, van 9^2=81 naar 7^2=49

+1 marsattacks
8 maart 2002 23:35

Als een van jullie het weet: probeer eens in lekentaal uit te leggen hoe dit phase-mask gebeuren ongeveer werkt. Ik beloof dit te belonen met een +1, informatief

Ik ben als nederlander best trots op ASML, het is eigenlijk het enige nederlandse bedrijf waarbij ik dat gevoel heb.

+3 windancer
@marsattacks • 9 maart 2002 00:23

Gewone (ofwel binary) masks hebben een patroontje van een laag van de chip en dat patroontje wordt binair afgebeeld. Dit betekent dat dat het licht in zijn geheel wordt doorgelaten of het wordt in zijn geheel tegengehouden.

Phase Shifting Masks hebben daarnaast ook patroontjes waarbij het licht wordt doorgelaten maar waar de fase van het licht wordt gewijzigd. Dit licht kan dan op wafer niveau interferen met het andere licht en hierdoor krijg de een beter beeld van je patroontje.

Meer info op http://www.photomask.com/tech/psm.html

+1 whazaaaa
@marsattacks • 8 maart 2002 23:38

ik ben ook trots op Heineken hoor

+1 Jan_IA
8 maart 2002 21:54

tering dat zal sneller gaan. Dat is iets meer dan de helft van die P4 core...

+2 CARman
@Jan_IA • 9 maart 2002 02:09

P4 core is toch nog 'gewoon' op 0,13 µm gebakken ?

Als je dan het oppervlakte verschil pakt is het nog wel ietsje groter hoor

Factor is dan 13^2=169 µm2 , tegen 7^2=49 µm2 . Dat is dus al bijna 3,5 keer zo klein kwa oppervlakte.

0 fernieling
@CARman • 9 maart 2002 17:11

Hey, kan mij iemand vertellen tot hoe ver we gaan. 18 13 9 en nu 7en.

tot hoe ver kan dit eigenlijk. er komt toch een moment dat we niet meer kleiner kunnen. wie kan mij een berekening geven. zodat er nu al wordt vast gesteld wat het maximale is.. moet ik nu gaan denken aan pico meter.. of zelfs nog kleinder ???

+1 oegaoega
@fernieling • 9 maart 2002 20:00

Ze hebben schakelingen kunnen bouwen die 0.1 nano-meter groot zijn.
http://www.tweakers.net/nieuws/18797

/typo

plok
@fernieling • 9 maart 2002 23:24

wie kan mij een berekening geven. zodat er nu al wordt vast gesteld wat het maximale is..

Je bent iig gelimiteerd tot de afmeting van 1 enkel atoom. Die fundamentele grootte ligt bij de huidige technologie waarop electronica is gebouwd dus rond de 1E-10 m. Ofwel 0.1 nanometer. Als je nog kleiner zou willen gaan dan is de eerste gedachte om iets te gaan doen met atoomkernen. Deze hebben een afmeting die weer een factor 1000 kleiner zijn dan atomen zelf. Het probleem is dan echter dat er geen electronen zijn voor het transport van de lading en bovendien moet je dan de kernen strippen van de electronen (soort plasma dus). Misschien een idee voor de Sci-fi fanaten, niet echt realistisch voor onze generatie.

+2 oegaoega
@Jan_IA • 9 maart 2002 00:34

nop... veel minder BxHxD 6,4 keer kleiner!
We laten de nut zulke berekeningen buiten de beschouwing natuurlijk.

skunkah
8 maart 2002 22:15

Zo dit is mooi nieuws dit betekent dus dat chipbakkers met deze technologie van ASML de zelfde apparatuur kunnen gebruiken als voor de 9nm chipjes geweldig zeg...zou een mooie kosten besparing betekenen voor de chipboeren als Intel en AMD betekenen, productie prijs wordt persaldo lager omdat de machines die ze eerst gebruiken voor 9-nm straks ook voor 7-nm kunnen gebruiken en dat scheelt toch een hoop geld een nieuwe machine of het uitbreiden van een al bestaand product!

Alleen ben ik bang dat dit niet direct voordeel voor de consument oplevert aangezien dit soort kosten besparingen niet doorberekent worden in de kostprijs.

+2 windancer
@skunkah • 8 maart 2002 22:22

Zo dit is mooi nieuws dit betekent dus dat chipbakkers met deze technologie van ASML de zelfde apparatuur kunnen gebruiken als voor de 9nm chipjes

Dat moet ook wel want de volgende generatie lithografische machines (met een lichtbron die 157 nm licht uitzendt) laat nog wel een tijdje op zich wachten.

+1 Dry Ice
@skunkah • 8 maart 2002 22:29

Misschien niet in de kosten, maar wel in de performance.

Trouwens, als al die technische vooruitgang zich zo snel achter elkaar opvolgen, dan kunnen we behoorlijk wat verwachten voor de toekomst.

Stewie!
8 maart 2002 22:38

Dat is mooi! Nu zullen ze niet meer zo snel een conract verliezen met bijvoorbeeld Intel. Misschien dat AMD ook eens bij dit nederlandse bedrijfje gaat shoppen

joker1977
@Stewie! • 8 maart 2002 23:52

AMD shopt al (lang) bij ASML en Intel (nog) niet. Intel heeft nog wel offertes lopen bij ASML, maar de uitslag daarvan, naar wie die opdracht gaat, is nog niet bekend.

+1 The_Master_of_Oers
@joker1977 • 9 maart 2002 19:46

Intel shopt al zeker wel bij ASML alleen de order die ze nu proberen binnen te slepen (en wat waarschijnlijk niet gaat lukken) is de laatste tijd veel in het nieuws.

Ik weet niet precies waar het om gaat maar het gaat om een flinke hoeveelheid machienes. Maar ASML heeft niet genoeg productie-capaciteit om het op tijd af te krijgen, dus gaat de order naar een of andere yap.

+1 Laptom
@The_Master_of_Oers • 10 maart 2002 13:39

Productiecapaciteit is nog voldoende bij ASML...

Maar Intel en AMD kopen hun machines niet bij 1 fabrikant maar hebben verschillende merken machines.

JJJ
8 maart 2002 22:20

Dit kan ook niet oneindig doorgaan, met die micronverkleining. Vroeg of laat moet er een alternatief komen, en daar merken we momenteel weinig van.

(Of lul ik nu slap?)

Dennizz
@JJJ • 9 maart 2002 01:28

eeehm 1 woord, quantum processoren ofzoiets

als die ooit gaan werken....das heel goed voor seti/dpc

precies weet ik niet hoe t zit, maar zoek er maar eens naar

ColdRain

@Dennizz • 9 maart 2002 15:31

precies weet ik niet hoe t zit

Moest je wèl weten hoe het precies zit, dan was je nu de gelukkige eigenaar van een Nobelprijs

Hiro Shima
@Dennizz • 10 maart 2002 07:20

ja leuk, DPC is dan ten einde, gewoon in een keer alle mogelijkheden checken, tadaa!

Stewie!
9 maart 2002 01:19

Reactie op joker1977
* 786562 DaMorpheus

0 TheGhost
@Stewie! • 10 maart 2002 19:29

ASML heeft idd een amerikaans bedrijf overgenomen namelijk: de Silicon Valley Group.

[quote]De Nederlandse toeleverancier voor de chipindustrie heeft 1,6 miljard dollar over voor SVG[/qoute]
http://www.webwereld.nl/nieuws/6946.phtml

0 PHi_Mephisto
10 maart 2002 18:03

Als AMD nyu écht lef heeft, skippen ze de 0,09 Hammer en maken ze er meteen een 0,07 Hammer van! Met een beetje geluk precies genoeg om die inhaalslag richting Intel te maken.

Lijkt me grappig; 0,18 limited to +/- 1,5Ghz, 0,13 to 4Ghz, 0,09, say, 9Ghz, 0,07 delivers a max. of 12Ghz!

Zou het zo kunnen werken?

Komt AMD eind van dit jaar met de Hammer op 0,07, op 4,2Ghz! "Sledge Hammer"

Beaves
@PHi_Mephisto • 10 maart 2002 19:05

Als AMD nyu écht lef heeft, skippen ze de 0,09 Hammer en maken ze er meteen een 0,07 Hammer van!

Dat zal niet meer lukken, ten eerste zit er een levertijd op de machine's van ASML, en als ASML die machine's al voor het eind van het jaar af kan hebben (want dat komt de Hammer uit volgens de roadmap), dan moet AMD nog gaan testen etc. en dat kost ook tijd.

Je hebt niet zo maar een fabriek met nieuwe apparatuur uitgerust, voordat een fabriek op volledige snelheid kan draaien met redelijk goede yields, ben je toch minstens een jaar verder en die tijd heeft AMD niet.

Voor Intel zou dat makkelijker zijn, die hebben meer fabrieken waardoor ze in fase's kunnen overstappen, AMD kan dat niet, die hebben maar 1 fabriek.

Met een beetje geluk precies genoeg om die inhaalslag richting Intel te maken.

De Hammer zal denk ik ook genoeg zijn, ook al wordt die niet op 0,07 gefabriceerd.

Lijkt me grappig; 0,18 limited to +/- 1,5Ghz, 0,13 to 4Ghz, 0,09, say, 9Ghz, 0,07 delivers a max. of 12Ghz!

Bij Intel wel, die hebben een ontwerp (de P4) die erg hoog kan schalen, AMD heeft een ontwerp (K7 en K8) die het meer van de IPC zullen moeten hebben. Intel heeft daarnaast de technieken ook (o.a. BBUL)
om die hoge kloksnelheden te halen, want de verpakking moet al die GHz,en ook aankunnen.

Komt AMD eind van dit jaar met de Hammer op 0,07, op 4,2Ghz! "Sledge Hammer"

Dat zal dus niet gaan.

nerd-o-matic
10 maart 2002 22:46

Als een procesor al zo snel zou kunnen worden, dan loop je ook tegen andere hele vreemde problemen aan:

- Een processor die op 10 gHz zou lopen straalt dan namelijk magnetron golven uit, en zal weer speciaal afgeschermd moeten worden.

0 AlphaZulu
@nerd-o-matic • 11 maart 2002 12:30

En dan koelt de boel weer een stuk minder....

RRRobert
8 maart 2002 22:04

waarmee bestaande optische lithografische technieken een stukje beter getweakt kunnen worden...

LOL! Zo blijft er dus uiteindelijk niets meer over voor ons eerlijke amateurs, als de hardware fabrieksmatig al zover is "opgerekt"

1 2 Volgende

Op dit item kan niet meer gereageerd worden.

Cookies op Tweakers

ASML komt met nieuwe apparatuur voor 0,07µ chips

Lees meer over

Gerelateerde content

Sorteer op:

Weergave:

Reacties (31)